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내부에 수납공간을 형성하는 몸체부;상기 몸체부의 하부에 배치되며, 피측정물과 접촉하여 이물질의 형상에 따라 변형되고 내면에 미세 영역으로 분할하는 메쉬유닛 또는 마커부가 형성된 터치부를 포함하는 터치패드부; 상기 수납공간의 내부에 고정되어 상기 터치부의 모양을 촬영하는 측정부; 상기 측정부에서 촬영된 영상으로부터 상기 이물질의 형상을 추출하는 영상 처리부; 상기 터치패드부와 연결되어, 상기 이물질이 상기 터치부에 접촉한 경우 상기 터치패드부에 로드(load)를 인가하는 로드 인가부; 및상기 수납공간의 내부에 고정되어 상기 터치부의 내면에 마커부를 형성하도록 광을 전사하는 전사부를 포함하고, 상기 전사부는 상기 이물질의 크기에 따라 상기 마커부의 크기 및 간격 배열을 변화시키는 것을 특징으로 하는 이물질 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 터치패드부는 상기 몸체부의 하면과 상기 터치부의 경계를 형성하고, 상기 로드 인가부로부터 하부 방향으로 로드를 인가받는 플레이트부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이물질 측정장치
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제2항에 있어서, 상기 터치부는 내부에 유체가 채워지며, 반구형 형상으로 외부로 돌출된 것을 특징으로 하는 이물질 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 터치패드부에 로드가 인가되는 경우, 상기 영상처리부에서 추출된 영상에서 상기 로드의 인가 전후(前後)에 변형되지 않은 상기 터치부의 면적으로부터 상기 이물질의 크기를 측정하는 크기 측정부를 더 포함하는 이물질 측정장치
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제4항에 있어서, 상기 크기 측정부는 상기 메쉬유닛 또는 상기 마커부의 개수로부터 상기 이물질의 크기를 측정하는 것을 특징으로 하는 이물질 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 측정부는 서로 이격된 제1 및 제2 카메라들을 포함하며, 상기 영상 처리부는 상기 제1 및 제2 카메라들의 촬영 영상으로부터 스테레오 비전(stereo vision) 방식으로 상기 이물질의 형상을 추출하는 것을 특징으로 하는 이물질 측정장치
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