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텅스텐 카바이드 나노플레이크를 이용한 수소 생산용 전극의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 수소 생산용 전극(METHOD FOR MANUFACTURING ELECTRODE FOR HYDROGEN PRODUCTION USING TUNGSTEN CARBIDE NANOFLAKE AND ELECTRODE FOR HYDROGEN PRODUCTION FABRICATING THE SAME)

  • 기술번호 : KST2018001839
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 텅스텐 카바이드 나노플레이크(nanoflake)를 이용한 수소 생산용 전극의 제조 방법은, 수소 플라즈마가 인가되는 화학기상증착 공정을 이용하여, 나노결정다이아몬드 박막 상에 텅스텐 카바이드 나노플레이크를 제조하는 단계; 및 상기 텅스텐 카바이드 나노플레이크의 표면으로부터 산화물층 또는 그래핀층을 제거함으로써 상기 텅스텐 카바이드 나노플레이크의 수소 발생 반응에 대한 활성을 증가시키는 단계를 포함한다. 텅스텐 카바이드 형성 후 사이클릭 세정(cyclic cleaning)을 통하여 텅스텐 카바이드 표면의 산화물층 및/또는 그래핀층을 제거함으로써, 텅스텐 카바이드의 수소 발생 반응(Hydrogen Evolution Reaction) 활성을 증가시켜 촉매 전극으로서의 활용도를 높일 수 있다.
Int. CL C23C 16/32 (2016.09.08) C23C 16/50 (2016.09.08) C23C 16/505 (2016.09.08) C23C 16/56 (2016.09.08) C23C 16/52 (2016.09.08) C25B 1/04 (2016.09.08) C25B 11/04 (2016.09.08) C01G 41/00 (2016.09.08)
CPC C23C 16/32(2013.01) C23C 16/32(2013.01) C23C 16/32(2013.01) C23C 16/32(2013.01) C23C 16/32(2013.01) C23C 16/32(2013.01) C23C 16/32(2013.01) C23C 16/32(2013.01) C23C 16/32(2013.01) C23C 16/32(2013.01)
출원번호/일자 1020160100552 (2016.08.08)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0016786 (2018.02.20) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.08.08)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이욱성 대한민국 서울특별시 성북구
2 고영진 대한민국 서울특별시 성북구
3 백영준 대한민국 서울특별시 성북구
4 박종극 대한민국 서울특별시 성북구
5 이경석 대한민국 서울특별시 성북구
6 김인호 대한민국 서울특별시 성북구
7 정두석 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김 순 영 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)
2 김영철 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2016-0766220-48
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.10.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.12.20 수리 (Accepted) 9-1-2016-0052004-44
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0454366-02
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.08.17 수리 (Accepted) 1-1-2017-0791401-26
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.08.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0791400-81
7 등록결정서
Decision to grant
2017.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0902069-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
수소 플라즈마가 인가되는 화학기상증착 공정을 이용하여, 나노결정다이아몬드 박막 상에 텅스텐 카바이드 나노플레이크를 제조하는 단계; 및 상기 텅스텐 카바이드 나노플레이크의 수소 발생 반응에 대한 활성을 증가시키도록 상기 텅스텐 카바이드 나노플레이크를 세정 용액에 담지하여 소정의 전압을 인가함으로써 상기 텅스텐 카바이드 나노플레이크의 표면으로부터 산화물층 또는 그래핀층을 제거하는 단계를 포함하는, 텅스텐 카바이드 나노플레이크를 이용한 수소 생산용 전극의 제조 방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 수소 플라즈마가 인가되는 화학기상증착 공정은, 챔버 내의 양극 상에 나노결정다이아몬드 박막이 형성된 기판을 구비시키고, 기판의 상부 이격된 위치에 표면이 탄화된 텅스텐 음극을 구비시킨 상태에서, 챔버 내에 수소 플라즈마가 인가되는 것인, 텅스텐 카바이드 나노플레이크를 이용한 수소 생산용 전극의 제조 방법
3 3
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 텅스텐 카바이드 나노플레이크를 제조하는 단계는, 텅스텐 카바이드가 나노월(nanowall) 구조로 성장되도록 텅스텐 카바이드의 성장면에서의 과포화 정도를 조절하는 단계를 포함하는, 텅스텐 카바이드 나노플레이크를 이용한 수소 생산용 전극의 제조 방법
4 4
제 3항에 있어서, 상기 텅스텐 카바이드의 성장면에서의 과포화 정도를 조절하는 단계는, 수소 플라즈마가 인가되는 화학기상증착 공정의 공정 온도 조절을 통하여 성장족의 유입량을 조절하는 단계를 포함하는, 텅스텐 카바이드 나노플레이크를 이용한 수소 생산용 전극의 제조 방법
5 5
제 3항에 있어서, 상기 텅스텐 카바이드의 성장면에서의 과포화 정도를 조절하는 단계는, 수소 플라즈마가 인가되는 화학기상증착 공정에서 수소 플라즈마 발생을 위해 인가되는 방전전압과 전류의 조절을 통하여 성장족의 유입량을 조절하는 단계를 포함하는, 텅스텐 카바이드 나노플레이크를 이용한 수소 생산용 전극의 제조 방법
6 6
제 2항에 있어서, 상기 표면이 탄화된 텅스텐 음극은, 텅스텐 음극을 일정 온도의 탄소 분위기 하에 노출시켜 표면으로부터 일정 깊이만큼 탄화층이 형성된 것이며, 상기 탄화층은 WCx 구조를 이루는, 텅스텐 카바이드 나노플레이크를 이용한 수소 생산용 전극의 제조 방법
7 7
제 1항에 있어서, 상기 수소 발생 반응에 대한 활성을 증가시키는 단계 후에, 상기 텅스텐 카바이드 나노플레이크의 표면을 부분적으로 덮는 보호막을 형성하는 단계를 포함하는, 텅스텐 카바이드 나노플레이크를 이용한 수소 생산용 전극의 제조 방법
8 8
기판 상에 위치하는 나노결정다이아몬드 박막, 및 상기 나노결정다이아몬드 박막 상에 위치하는 텅스텐 카바이드 나노플레이크를 포함하는 전극 몸체; 및 상기 전극 몸체를 부분적으로 덮는 보호막을 포함하되,상기 텅스텐 카바이드 나노플레이크의 표면의 산화물층 또는 그래핀층은, 수소 발생 반응에 대한 활성을 증가시키기 위해 제거된 것을 특징으로 하는, 텅스텐 카바이드 나노플레이크를 이용한 수소 생산용 전극
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제 8항에 있어서, 상기 텅스텐 카바이드 나노플레이크는 상기 나노결정다이아몬드 박막 상에 배열된 2차원 나노구조를 갖는, 텅스텐 카바이드 나노플레이크를 이용한 수소 생산용 전극
10 10
제 9항에 있어서, 상기 텅스텐 카바이드 나노플레이크는 나노월(nanowall) 구조를 갖는, 텅스텐 카바이드 나노플레이크를 이용한 수소 생산용 전극
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US10697073 US 미국 FAMILY
2 US20180038003 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US10697073 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US2018038003 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.