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기판;상기 기판의 양쪽 면들 위에 각각 배치되는 제1 멤브레인 및 제2 멤브레인;상기 제1 멤브레인 위의 일부 영역에 배치되는 히터 전극 패턴 및 온도 센서 패턴;상기 히터 전극 패턴 및 상기 온도 센서 패턴을 덮으면서 상기 제1 멤브레인 위에 배치되는 절연 막;상기 절연 막 위의 전체 영역 중에서 상기 히터 전극 패턴의 상부의 일부 영역에 배치되는 감지 전극 패턴; 및상기 감지 전극 패턴과 전기적으로 연결되도록 상기 감지 전극 패턴을 덮으면서 상기 절연 막 위에 배치되는 감지 막을 포함하는, 마이크로 가스센서
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제1 항에 있어서,상기 히터 전극 패턴 및 상기 온도 센서 패턴은,각각이 주름이 지고 S 형상을 가짐으로써, 넓은 단면적을 갖도록 배치되는, 마이크로 가스 센서
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제1 항에 있어서,상기 히터 전극 패턴 및 상기 온도 센서 패턴의 상대적인 위치는,상기 히터 전극 패턴 내부에 상기 온도 센서 패턴이 배치되거나,상기 히터 전극 패턴 주변에 상기 온도 센서 패턴이 배치되도록 결정되는, 마이크로 가스 센서
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히터, 감지 전극 및 상기 감지 전극과 전기적으로 연결된 감지 막이 포함되도록 MEMS 공정으로 제조되는 복수의 마이크로 가스 센서들; 및상기 히터의 온도를 측정하는 온도 센서를 포함하는, 마이크로 가스 센서 모듈
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제4 항에 있어서,상기 온도 센서는,하나 또는 복수의 상기 마이크로 가스 센서에 포함된 상기 히터 주변에 온도 센서 패턴 형태로 배치되는, 마이크로 가스 센서 모듈
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제4 항에 있어서,상기 온도 센서의 저항, 히터의 소비전력을 측정하는 제어부를 더 포함하는, 마이크로 가스 센서 모듈
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