맞춤기술찾기

이전대상기술

2차원 나노박막을 전사시키는 방법(TRANSCRIPTION METHOD OF TWO DIMENSIONAL NANO THINLAYER)

  • 기술번호 : KST2018004562
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 2차원 나노박막을 전사시키는 방법에 있어서, 방법은 모기재 상에 2차원 나노박막을 형성하는 단계; 2차원 나노박막 상에 금속 박막을 형성하는 단계; 금속 박막 상에 지지체층을 형성하는 단계; 2차원 나노박막, 금속 박막 및 지지체층이 순차적으로 적층된 모기재를 물에 침지시켜, 모기재로부터 2차원 나노박막을 박리시키는 단계; 2차원 나노박막, 금속 박막 및 지지체층이 순차적으로 적층된 구조에서 2차원 나노박막이 새로운 기판과 접촉하도록 새로운 기판 상에 부착시키는 단계; 및 지지체층 및 금속 박막을 제거하는 단계를 포함한다.
Int. CL B32B 7/06 (2006.01.01) B32B 15/04 (2006.01.01) B32B 43/00 (2006.01.01) B32B 7/12 (2006.01.01) B32B 37/06 (2006.01.01)
CPC B32B 7/06(2013.01) B32B 7/06(2013.01) B32B 7/06(2013.01) B32B 7/06(2013.01) B32B 7/06(2013.01) B32B 7/06(2013.01)
출원번호/일자 1020160131502 (2016.10.11)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0039999 (2018.04.19) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.10.11)
심사청구항수 5

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이성주 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 라이센 중국 경기도 수원시 장안구
3 최승혁 대한민국 경기도 성남시 수정구
4 전재호 대한민국 경기도 부천시 소사구
5 송영재 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.10.11 수리 (Accepted) 1-1-2016-0984661-16
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.09.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0061883-91
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.05.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0309375-80
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.07.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0647706-92
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.07.02 수리 (Accepted) 1-1-2018-0647669-90
8 등록결정서
Decision to grant
2018.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0787594-50
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
모기재 상에 2차원 나노박막을 형성하는 단계;상기 2차원 나노박막 상에 금속 박막을 형성하는 단계;상기 금속 박막 상에 지지체층을 형성하는 단계;상기 2차원 나노박막, 상기 금속 박막 및 상기 지지체층이 순차적으로 적층된 모기재를 물에 침지시켜, 상기 모기재로부터 상기 2차원 나노박막을 박리시키는 단계;상기 2차원 나노박막, 상기 금속 박막 및 상기 지지체층이 순차적으로 적층된 구조에서 상기 2차원 나노박막이 새로운 기판과 접촉하도록 새로운 기판 상에 부착시키는 단계; 및상기 지지체층 및 상기 금속 박막을 제거하는 단계를 포함하고,상기 2차원 나노박막을 박리시키는 단계에서 물에 침지된 상태에서 상기 2차원 나노박막과 상기 모기재 사이에 물에 의한 부력이 작용하여 상기 2차원 나노박막, 상기 금속 박막 및 상기 지지체층이 순차적으로 서로 결합된 구조로 상기 모기재와 분리되는 것을 특징으로 하는,2차원 나노박막을 전사시키는 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 지지체층을 형성하는 단계는상기 금속 박막 상에 제1 유기층을 코팅하여 형성하는 단계; 및상기 제1 유기층 상에 제2 유기층을 접착하여 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는,2차원 나노박막을 전사시키는 방법
3 3
제1항에 있어서,상기 2차원 나노박막을 박리시키는 단계는물에 의한 부력으로 상기 모기재와 상기 2차원 나노박막 사이에 개구응력이 작용하여 상기 모기재와 상기 2차원 나노박막이 부분적으로 분리되는 단계; 및상기 금속 박막에 의한 전단응력에 의해서 상기 2차원 나노박막이 영향을 받아 상기 2차원 나노박막이 상기 모기재와 점차적으로 분리되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는,2차원 나노박막을 전사시키는 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 새로운 기판 상에 배치시키는 단계는 상기 2차원 나노박막, 상기 금속 박막 및 상기 지지체층이 순차적으로 적층된 구조에서 상기 2차원 나노박막이 새로운 기판과 접촉하도록 새로운 기판 상에 배치시키는 단계; 및상기 새로운 기판 상에 상기 2차원 나노박막, 상기 금속 박막 및 상기 지지체층이 순차적으로 적층된 구조에서 열처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는,2차원 나노박막을 전사시키는 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 금속 박막을 제거하는 단계에서,상기 지지체층은 유기 용매를 이용하여 제거하고, 상기 금속 박막은 에칭 용액을 이용하여 습식 식각하여 제거하는 것을 특징으로 하는,2차원 나노박막을 전사시키는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 광주과학기술원 글로벌프론티어연구개발사업(하이브리드 인터페이스 기반 미래소재연구) 인공 두뇌급 고성능 소자 구현을 위한 3D 집적 반도체소재 원천기술 개발
2 미래창조과학부 세종대학교 미래유망융합기술파이오니어사업 스트레스 호르몬 레벨 조절용 생체삽입형 집적소자 개발
3 미래창조과학부 성균관대학교 기본연구지원사업(후속연구지원) 이차원 나노소재 (Graphene, h-BN, MoS2)와 Interlayer Band Tunneling을 이용한 차세대 극소전력/저전압 Tunneling transistor 개발
4 미래창조과학부 성균관대학교 선행공정·플랫폼기술연구개발사업 M3D 집적 초절전 아키텍처 구현을 위한 저온공정 및 원자스위치 소자 개발