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레이저를 발광하는 레이저소스;원뿔 형상의 옆면에 서로 나란히 위치한 환형의 돌출 패턴이 형성된 반사면을 가지고, 상기 반사면에 입사된 상기 레이저를 면 타입 레이저로 반사하여 조사하는 원뿔형 반사체;상기 원뿔형 반사체로부터 스캔 대상 물체에 조사된 상기 면 타입 레이저의 반사광을 검출하기 위한 어레이 구조의 센서를 가지는 수광부; 및상기 수광부에서 수광한 상기 반사광의 정보를 이용하여 상기 스캔 대상 물체의 3차원 모델링 데이터를 생성하는 3차원 데이터 처리부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 반사면에 형성된 돌출 패턴의 단면은, 상기 레이저를 반사하여 진행방향을 변경할 수 있도록 상기 반사면으로부터 돌출 형성된 삼각형, 사각형, 사다리꼴 또는 선의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 표면 형상 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 반사면에 형성된 돌출 패턴의 간격은, 10㎛ ~ 0
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제1항에 있어서,상기 반사면에 형성된 돌출 패턴은, 스테인레스, 알루미늄, 크롬 또는 은의 재질로 이루어진 광 반사물질이 코팅된 것을 특징으로 하는 표면 형상 측정 장치
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레이저를 발광하는 레이저소스;원뿔 형상의 옆면에 서로 나란히 위치한 환형의 돌출 패턴이 형성된 반사면을 가지고, 상기 반사면에 입사된 상기 레이저를 면 타입 레이저로 반사하여 조사하는 원뿔형 반사체;상기 원뿔형 반사체로부터 스캔 대상 물체에 조사된 상기 면 타입 레이저의 반사광을 검출하기 위한 어레이 구조의 센서를 가지고, 상기 어레이 구조의 센서 방향으로 굽은 곡면 형태의 수광 반사면을 가지고 상기 수광 반사면에 입사된 상기 반사광을 반사하여 상기 어레이 구조의 센서로 조사하는 수광 곡률 반사경을 포함하는 수광부; 및상기 수광부에서 수광한 상기 반사광의 정보를 이용하여 상기 스캔 대상 물체의 3차원 모델링 데이터를 생성하는 3차원 데이터 처리부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 측정 장치
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제5항에 있어서,상기 3차원 데이터 처리부는,상기 수광 곡률 반사경에 의해 상기 반사광이 반사됨에 따라 발생하게 되는 왜곡을 보정하여 3차원 모델링 데이터를 생성하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 측정 장치
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제5항에 있어서,상기 수광부는상기 반사광을 상기 어레이 구조의 센서로 조사하도록 상기 어레이 구조의 센서와 상기 수광 곡률 반사경 사이에 위치한 렌즈;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 측정 장치
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제5항에 있어서,상기 수광부는상기 어레이 구조의 센서로 입사되는 상기 반사광을 선택적으로 통과시키도록 상기 어레이 구조의 센서와 상기 수광 곡률 반사경 사이에 위치한 광 대역통과필터;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 측정 장치
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