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대상 물체의 이동 방향으로 나란히 위치하도록 상기 대상 물체의 이동 경로 상에 제1 레이저 및 제2 레이저를 조사(照射)하는 레이저 발광부;상기 제1 레이저와 제2 레이저가 조사되는 상기 대상 물체의 적어도 일부분을 촬영하는 촬영부;제어부에 의해 산출된 상기 대상 물체의 제1,2 표면 높이 값을 저장하는 저장부; 및일정 주기로 상기 촬영부가 촬영한 영상을 분석하여, 상기 제1 레이저의 조사 위치에 대응하는 대상 물체의 표면 높이인 제1 표면 높이 값과 상기 제2 레이저의 조사 위치에 대응하는 대상 물체의 표면 높이인 제2 표면 높이 값을 산출하고, 상기 산출한 제2 표면 높이값과 상기 저장부에 저장된 이전 주기의 제1 표면 높이 값을 비교하여, 진동 높이 값을 산출하며, 상기 산출된 진동 높이 값으로 상기 산출한 제2 표면 높이 값을 보정하여 상기 대상 물체의 실제 높이를 산출하는 제어부;를 포함하는 진동 보정이 가능한 표면 형상 측정 장치
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제1항에 있어서, 상기 제어부는상기 촬영된 영상을 토대로 상기 제1 레이저 및 상기 제2 레이저가 조사된 화소의 위치를 계산하여, 상기 계산된 화소 위치를 기반으로 상기 제1 표면 높이 값과 상기 제2 표면 높이 값을 산출하는 것을 특징으로 하는 진동 보정이 가능한 표면 형상 측정 장치
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제1항에 있어서, 상기 레이저 발광부에 의해 조사된 제1,2 레이저의 간격은 상기 대상 물체의 이동 속도에 따라서, 상기 제2 레이저의 조사 위치가 이전 주기에 상기 제1 레이저가 조사된 위치와 일치되도록 설정되는 것을 특징으로 하는 진동 보정이 가능한 표면 형상 측정 장치
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제1항에 있어서, 상기 레이저 발광부는제1 레이저를 조사(照射)하는 제1 레이저 발광부 및 제2 레이저를 조사하는 제2 레이저 발광부가 대상 물체의 이동 방향과 일치하게 일렬로 배치하되, 상기 대상 물체의 서로 다른 위치에 상기 제1 레이저 및 상기 제2 레이저를 조사(照射)하는 것을 특징으로 하는 진동 보정이 가능한 표면 형상 측정 장치
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표면 형상 측정 장치가 대상 물체의 이동 방향과 일치하게 일렬로, 서로 다른 위치에 제1 레이저와 제2 레이저를 조사(照射)하는 단계;상기 제1 레이저 및 제2 레이저가 조사된 부분을 촬영하는 단계;상기 촬영된 영상을 토대로 상기 제1 레이저 조사 위치에서의 표면 높이인 제1 표면 높이 값과 상기 제2 레이저 조사 위치에서의 표면 높이인 제2 표면 높이 값을 산출하는 단계;이전에 산출되어 저장된 제1 표면 높이 값과 상기 산출된 제2 표면 높이 값을 비교하여, 진동 높이 값을 산출하는 단계; 및상기 산출된 진동 높이 값과 상기 산출된 제2 표면 높이 값을 기초로 상기 대상 물체의 위치 별 실제 높이를 산출하는 단계;를 포함하는 표면 형상 측정에서의 진동 보정 방법
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제5항에 있어서, 상기 표면 높이 값을 산출하는 단계는상기 촬영된 영상을 토대로 상기 제1 레이저 및 상기 제2 레이저가 조사된 화소의 위치를 계산하고, 상기 계산된 화소 위치를 기반으로 상기 제1 표면 높이 값과 상기 제2 표면 높이 값을 산출하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 측정에서의 진동 보정 방법
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제5항에 있어서, 상기 조사하는 단계는상기 대상 물체의 이동 속도에 따라서, 상기 제2 레이저의 조사 위치가 이전 주기에 상기 제1 레이저가 조사된 위치와 일치되게 조사되는 것을 특징으로 하는 표면 형상 측정에서의 진동 보정 방법
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제5항에 있어서, 상기 진동 높이 값을 산출하는 단계는상기 저장된 제1 표면 높이 값과 상기 산출된 제2 표면 높이 값의 차이를 진동 높이 값으로 산출하고,상기 위치 별 실제 높이를 산출하는 단계는상기 산출된 제2 표면 높이 값과 상기 산출된 진동 높이 값의 차이를 상기 대상 물체의 위치 별 실제 높이로 산출하는 것을 특징으로 하는 표면 형상 측정에서의 진동 보정 방법
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