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표면 프로파일의 평탄도 측정장치(APPARATUS FOR MEASURING SURFACE PROFILE OF OBJECT)

  • 기술번호 : KST2018005212
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 물체의 표면 프로파일의 평탄도 측정장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는, 적외선 센서를 이용하여 평면, 구면 뿐만 아니라 비구면의 물체에 이르기까지 광범위하게 저비용으로 정밀하게 표면 프로파일의 측정을 가능하게 하는 물체의 표면 프로파일의 평탄도 측정장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 프로파일 측정을 위한 평탄도 측정장치는 측정대상(10)에 광을 조사하여 측정대상에서 발생하는 적외선의 파수 및 위상을 측정하는 센서유닛(30)을 구비하는 헤드부(20); 측정대상(10)의 표면 전부분을 측정할 수 있도록 헤드부(20)를 서로 수직한 세개의 축 방향으로 이동시키는 모터부(40); 및 모터부(40)의 작동을 제어하고 센서유닛(30)에 의해 측정된 파수 및 위상 데이터를 프로세싱하는 제어부(50);를 포함하는 것인 표면 프로파일 측정을 위한 평탄도 측정장치.
Int. CL G01B 11/30 (2006.01.01) G01B 11/24 (2006.01.01) G01J 9/02 (2006.01.01) G02B 3/04 (2006.01.01) G05D 3/20 (2006.01.01)
CPC G01B 11/306(2013.01) G01B 11/306(2013.01) G01B 11/306(2013.01) G01B 11/306(2013.01) G01B 11/306(2013.01)
출원번호/일자 1020160136654 (2016.10.20)
출원인 한국원자력연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0043891 (2018.05.02) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.10.20)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조상진 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 제일특허법인(유) 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.10.20 수리 (Accepted) 1-1-2016-1020807-76
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.06.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.07.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0111722-21
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.07.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0528517-68
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.09.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-0919140-73
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.09.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0919139-26
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2017.12.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0898420-61
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2018-0177365-79
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.02.20 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0177364-23
10 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2018.03.28 수리 (Accepted) 1-1-2018-0307124-44
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0441063-14
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2018-0753167-91
13 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2018.07.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0753168-36
14 등록결정서
Decision to Grant Registration
2018.08.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0541715-97
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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측정대상에 광을 조사하여 측정대상에서 발생하는 적외선의 파수 및 위상을 측정하는 센서유닛을 구비하는 헤드부;측정대상의 표면을 측정할 수 있도록 상기 헤드부를 상기 측정대상에 대해 수직한 방향으로 상·하 이동시키는 z축 모터;측정대상의 표면을 측정할 수 있도록 상기 헤드부를 상기 측정대상에 대해 수평한 일축 방향으로 이동시키는 y축 모터;상기 y축 모터의 일축 방향과 동일한 면상에서 상기 일축 방향에 대해 수직한 타축 방향으로 연장되는 볼 스크루;측정대상의 표면을 측정할 수 있도록 상기 측정대상을 상기 볼 스크루를 따라 이동시키는 x축 모터; 및상기 x축 모터, y축 모터 및 z축 모터의 작동을 제어하고 센서유닛에 의해 측정된 파수 및 위상 데이터를 프로세싱하는 제어부;를 포함하며,상기 측정대상의 표면 프로파일 중 x축 모터, y축 모터에 의한 각 축 방향의 측정은 볼 스크루의 기계적 가공오차를 이용하고, 상기 측정대상의 표면 프로파일 중 z축 방향의 측정은 상기 적외선 파수 및 위상을 이용하는 것을 특징으로 하는 표면 프로파일 측정을 위한 평탄도 측정장치
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청구항 1에 있어서, 상기 측정대상의 두께방향에 대한 센서유닛의 측정범위는 일정 범위로 제한되는 것을 특징으로 하는 것인 표면 프로파일 측정을 위한 평탄도 측정장치
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청구항 1에 있어서, 상기 제어부는 측정대상의 두께방향에서 상기 센서유닛의 현위치를 탐지하고 센서유닛의 원위치와 비교하는 위치제어유닛; 및 현위치값이 미리 설정된 범위를 초과하는 경우 모터를 제어하여 센서유닛을 원위치로 이동시키는 모터제어유닛;을 포함하는 것인 표면 프로파일 측정을 위한 평탄도 측정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.