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유입부와 유출부를 포함하며, 미소입자를 포함하는 유체의 흐름을 위한 공간을 제공하는 챔버;상기 챔버 내에 상기 유입부로부터 상기 유출부로 상기 유체가 흐르는 제1 방향을 따라 연장하며 상기 챔버 내에서 상기 제1 방향을 따라 각각 연장하는 다수개의 유로들로 구성된 다중 유로를 형성하는 적어도 하나의 격벽 구조물; 상기 유로들 각각에 구비되며, 상기 유로를 통과하는 미소입자를 변형시키기 위한 수축부를 형성하는 가변형 박막 구조물들;상기 가변형 박막 구조물들 각각에 압력을 인가하기 위한 적어도 하나의 박막 제어 라인; 및상기 유로의 상기 수축부 양측에 구비되고, 상기 유로를 통과하는 상기 미소입자의 전기적 특성을 검출하기 위한 적어도 한 쌍의 전극 패턴들을 포함하고,상기 한 쌍의 전극 패턴들은 상기 유로들과 교차하도록 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 각각 연장하고,상기 한 쌍의 전극 패턴들은 상기 유로들 각각에서 상기 수축부의 전후방에 배치되며 상기 유로들마다 서로 다른 크기를 갖는 전극쌍을 포함함으로써 상기 미소입자의 변형에 따른 전기적 특성 변화를 각 유로 별로 다르게 검출되도록 하는 것을 특징으로 하는 미소입자의 분석 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 격벽 구조물은 상기 챔버의 하부벽 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 미소입자의 분석 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 가변형 박막 구조물은 상기 인가된 압력에 의해 변형하여 상기 유로 내의 상기 미소입자를 접촉 가압하는 상기 수축부를 형성하는 것을 특징으로 하는 미소입자의 분석 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 박막 제어 라인은 상기 챔버의 일측벽에 상기 유로들과 교차하도록 상기 유로들의 연장 방향에 직교하는 방향으로 연장 형성된 리세스를 포함하는 것을 특징으로 하는 미소입자의 분석 장치
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제 4 항에 있어서, 상기 가변형 박막 구조물은 상기 박막 제어 라인을 커버하여 상기 유동 챔버의 일측벽을 구성하는 것을 특징으로 하는 미소입자의 분석 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 박막 제어 라인은 공압 공급원과 연결되어 공압에 의해 상기 가변형 박막 구조물의 상기 수축부를 변형시키는 것을 특징으로 하는 미소입자의 분석 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 유로들은 상기 제2 방향을 따라 서로 이격 형성되는 것을 특징으로 하는 미소입자의 분석 장치
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제 9 항에 있어서, 상기 박막 제어 라인은 상기 제2 방향을 따라 상기 유로들과 교차하도록 연장하고, 상기 가변형 박막 구조물들은 상기 유로들 각각에 상기 제2 방향으로 이격 배치된 수축부들을 형성하는 것을 특징으로 하는 미소입자의 분석 장치
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제 10 항에 있어서, 상기 박막 제어 라인은 다수개가 상기 제1 방향을 따라 이격 배치되고, 상기 가변형 박막 구조물들은 하나의 유로 내에 상기 제1 방향을 따라 이격 배치된 다수개의 수축부들을 형성하는 것을 특징으로 하는 미소입자의 분석 장치
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제 10 항에 있어서, 상기 전극 패턴들은 상기 박막 제어 라인의 양측에 상기 제1 방향을 따라 이격 배치되는 것을 특징으로 하는 미소입자의 분석 장치
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제 9 항에 있어서, 상기 전극 패턴들은 상기 가변형 박막 구조물들의 전후방에 상기 제2 방향으로 각각 연장하여 상기 유로들과 교차하고, 상기 개별 유로마다 상기 전극 패턴의 폭은 연장 방향을 따라 변화하는 것을 특징으로 하는 미소입자의 분석 장치
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14
제 1 항에 있어서, 상기 박막 제어 라인은 하나의 유로를 따라 다수개가 구비되며, 상기 가변형 박막 구조물들은 상기 하나의 유로 내에 이격 배치된 다수개의 수축부들을 형성하는 것을 특징으로 하는 미소입자의 분석 장치
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15
제 14 항에 있어서, 상기 하나의 유로 내에 배치된 상기 수축부들을 형성하는 상기 가변형 박막 구조물들은 서로 다른 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 미소입자의 분석 장치
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16
제 14 항에 있어서, 상기 하나의 유로 내에 배치된 상기 수축부들을 형성하는 상기 가변형 박막 구조물들은 서로 다른 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 미소입자의 분석 장치
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제 13 항에 있어서, 상기 하나의 유로 내에 배치된 상기 수축부들을 형성하는 상기 가변형 박막 구조물들에는 상기 박막 제어 라인을 통해 같거나 서로 다른 압력이 가해지는 것을 특징으로 하는 미소입자의 분석 장치
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18
제 1 항에 있어서, 상기 박막 제어 라인은 상기 유로들과 교차하도록 연장하고, 상기 가변형 박막 구조물들은 상기 박막 제어 라인이 상기 유로들 각각에 교차하는 위치에서 수축부들을 형성하는 것을 특징으로 하는 미소입자의 분석 장치
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제 18 항에 있어서, 상기 박막 제어 라인은 상기 유로들과 교차하는 위치에서 서로 다른 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 미소입자의 분석 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 유로의 상기 수축부 내에 구비되어 상기 수축부의 크기를 조절하는 고정 구조물을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미소입자의 분석 장치
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제 1 항에 있어서,상기 전극 패턴들에 전기적 신호를 인가하는 전기적 신호 발생기; 및상기 전극 패턴들에 연결되며 상기 미소입자 통과시 전기적 신호를 검출하기 위한 전기적 신호 검출기를 더 포함하는 미소입자의 분석 장치
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