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기판 상에 그래핀 패턴을 제공하는 것;상기 그래핀 패턴에 전류를 인가하여 상기 그래핀 패턴을 가열하는 것; 및상기 그래핀 패턴 상에 이차원 물질 층을 형성하는 것을 포함하는 이종 접합 구조의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 전류에 의하여 상기 그래핀 패턴은 300℃ 내지 500℃의 온도로 가열되는 이종 접합 구조의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 이차원 물질 층을 형성하는 것은 상기 그래핀 패턴이 가열된 상태에서 수행되는 이종 접합 구조의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 이차원 물질 층을 형성하는 동안 상기 그래핀 패턴의 온도는 상기 기판의 온도 및 상기 전극들의 온도보다 높은 이종 접합 구조의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 이차원 물질 층은 이차원 칼코게나이드, 이차원 산화물, 육방정계 질화 붕소, 흑린, 및 포스포린 중에서 적어도 하나를 포함하는 이종 접합 구조의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 그래핀 패턴에 상기 전류를 인가하는 것과 상기 이차원 물질 층을 형성하는 것은 적어도 일정 시간 동안 동시에 수행되는 이종 접합 구조의 제조 방법
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제6 항에 있어서,상기 그래핀 패턴에 상기 전류를 인가하는 것은 상기 이차원 물질 층을 형성하는 공정이 시작되기 전에 시작되어 상기 이차원 물질 층을 형성하는 공정이 완료된 후에 종료되는 이종 접합 구조의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 이차원 물질 층은 상기 그래핀 패턴 상에 선택적으로 형성되는 이종 접합 구조의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 기판 및 상기 전극들 상에 상기 이차원 물질 층이 형성되되,상기 이차원 물질 층은 상기 기판 및 상기 전극들 상에서보다 상기 그래핀 패턴 상에서 더 적은 결함을 갖도록 형성되는 이종 접합 구조의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 이차원 물질 층을 형성하는 것은 퍼니스 안에서 수행되되,상기 이차원 물질을 형성할 때, 상기 퍼니스는 700℃ 내지 1000℃의 온도로 가열되는 이종 접합 구조의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 그래핀 패턴의 양단에 각각 전기적으로 연결되는 전극들을 제공하는 것을 더 포함하는 이종 접합 구조의 제조 방법
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제11 항에 있어서,상기 전극들은 그래핀을 포함하고,상기 그래핀 패턴 및 상기 전극들을 제공하는 것은:상기 기판 상에 그래핀 막을 형성하는 것; 및상기 그래핀 막을 패터닝하는 것을 포함하는 이종 접합 구조의 제조 방법
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제11 항에 있어서,상기 전극들의 각각은 제1 방향을 따라 연장되고,상기 그래핀 패턴은 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라 연장되는 이종 접합 구조의 제조 방법
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제13 항에 있어서,상기 전극들의 각각의 폭은 상기 그래핀 패턴의 폭보다 큰 이종 접합 구조의 제조 방법
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