맞춤기술찾기

이전대상기술

그래핀 코팅 금속 판의 제조방법

  • 기술번호 : KST2018009926
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예는 (a) 금속 판을 에칭하는 단계; (b) 에칭된 상기 금속 판을 반응기에 위치시킨 후 수소 및 불활성 가스를 포함하는 혼합 가스에 노출시키는 단계; (c) 상기 반응기를 승온시켜 상기 금속 판 상의 산화물 층을 제거하는 단계; (d) 상기 반응기에 탄소계 가스를 주입하여 상기 금속 판 상에 그래핀을 증착시키는 단계; 를 포함하고, 상기 혼합 가스 중 수소의 유량이 500 내지 1,000 sccm 인, 그래핀 코팅 금속 판의 제조방법을 제공한다.
Int. CL C23C 16/26 (2006.01.01) C23C 16/02 (2006.01.01) C23F 1/16 (2006.01.01)
CPC C23C 16/26(2013.01) C23C 16/26(2013.01) C23C 16/26(2013.01) C23C 16/26(2013.01)
출원번호/일자 1020170002082 (2017.01.05)
출원인 경희대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0080937 (2018.07.13) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.01.05)
심사청구항수 12

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 경희대학교 산학협력단 대한민국 경기도 용인시 기흥구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이경엽 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 나그디, 사미라 이란 경기도 수원시 영통구
3 이상우 대한민국 경기도 용인시 기흥구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인 하나 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 *, *층(역삼동, 삼흥역삼빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 경희대학교 산학협력단 경기도 용인시 기흥구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.01.05 수리 (Accepted) 1-1-2017-0017148-25
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.10.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0744066-89
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2017-1292881-25
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.12.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1292940-21
5 등록결정서
Decision to grant
2018.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0355390-88
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164254-26
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 금속 판을 질산으로 에칭하는 단계;(b) 에칭된 상기 금속 판을 반응기에 위치시킨 후 수소 및 불활성 가스를 포함하는 혼합 가스에 노출시키는 단계;(c) 상기 반응기를 승온시켜 상기 금속 판 상의 산화물 층을 제거하는 단계;(d) 상기 반응기에 탄소계 가스를 주입하여 상기 금속 판 상에 그래핀을 증착시키는 단계; 를 포함하고,상기 혼합 가스 중 수소의 유량이 500 내지 1,000 sccm 인, 그래핀 코팅 금속 판의 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 금속 판이 몰리브데늄, 로듐, 구리, 니켈, 코발트, 철, 루테늄, 백금, 팔라듐, 금, 은, 알루미늄, 마그네슘, 크롬, 망간, 실리콘, 탄탈륨, 티타늄, 텅스텐, 바나듐, 이리듐, 우라늄, 지르코늄 및 이들 중 2이상의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택된 하나인, 그래핀 코팅 금속 판의 제조방법
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 에칭이 5 내지 60분 동안 수행되는, 그래핀 코팅 금속 판의 제조방법
5 5
제1항에 있어서,상기 (b) 단계의 상기 불활성 가스의 유량이 200 내지 1,000 sccm인, 그래핀 코팅 금속 판의 제조방법
6 6
제1항에 있어서,상기 (c) 단계가 700 내지 1500℃에서 수행되는, 그래핀 코팅 금속 판의 제조방법
7 7
제1항에 있어서,상기 (c) 단계가 상기 반응기 승온 이후 5 내지 30분 동안 수행되는, 그래핀 코팅 금속 판의 제조방법
8 8
제1항에 있어서,상기 탄소계 가스는 탄화수소가스, 기상 탄화수소화합물, 탄소수 1 내지 6의 기상 알코올, 일산화탄소 및 이들 중 2 이상의 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 하나인, 그래핀 코팅 금속 판의 제조방법
9 9
제8항에 있어서,상기 탄화수소가스는 메탄, 에탄, 프로판, 부탄, 에틸렌, 프로필렌, 부틸렌, 아세틸렌, 부타디엔 및 이들 중 2 이상의 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 하나인, 그래핀 코팅 금속 판의 제조방법
10 10
제8항에 있어서,상기 기상 탄화수소화합물은 펜탄, 헥산, 사이클로헥산, 벤젠, 톨루엔, 자일렌 및 이들 중 2 이상의 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 하나인, 그래핀 코팅 금속 판의 제조방법
11 11
제1항에 있어서,상기 (d) 단계의 상기 탄소계 가스의 유량이 50 내지 200 sccm 인, 그래핀 코팅 금속 판의 제조방법
12 12
제1항에 있어서,상기 (d) 단계의 상기 증착이 3 내지 30분 동안 수행되는, 그래핀 코팅 금속 판의 제조방법
13 13
제1항에 있어서,상기 그래핀의 라만 분광 강도비(ID/IG)가 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.