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펄스 플라스마 모니터링이 가능한 펄스 플라스마 발생 장치

  • 기술번호 : KST2018010389
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 펄스 플라스마 발생 장치가 개시된다. 펄스 플라스마 발생 장치는 반응공간이 내부에 형성되고, 뷰 포트를 갖는 반응 챔버; 상기 반응공간에 전계를 형성하는 안테나; 상기 안테나에 펄스 전력을 인가하는 전력 발생부; 상기 뷰 포트를 통해 상기 반응공간에서 발생되는 펄스 플라스마로부터 광 신호를 추출하는 포토 다이오드; 상기 전력 발생부에서 발생되는 트리거 신호와 상기 포토 다이오드로부터 추출된 상기 광 신호로부터 상기 반응공간 내 펄스 플라스마 발생을 모니터링하는 모니터링부를 포함한다.
Int. CL H01J 37/32 (2006.01.01) G01J 1/44 (2006.01.01)
CPC H01J 37/32935(2013.01) H01J 37/32935(2013.01) H01J 37/32935(2013.01) H01J 37/32935(2013.01) H01J 37/32935(2013.01)
출원번호/일자 1020170008080 (2017.01.17)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0084456 (2018.07.25) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정진욱 대한민국 서울특별시 송파구
2 김동환 대한민국 서울특별시 성동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상열 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.01.17 수리 (Accepted) 1-1-2017-0056712-25
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반응공간이 내부에 형성되고, 뷰 포트를 갖는 반응 챔버;상기 반응공간에 전계를 형성하는 안테나;상기 안테나에 펄스 전력을 인가하는 전력 발생부;상기 뷰 포트를 통해 상기 반응공간에서 발생되는 펄스 플라스마로부터 광 신호를 추출하는 포토 다이오드;상기 전력 발생부에서 발생되는 트리거 신호와 상기 포토 다이오드로부터 추출된 상기 광 신호로부터 상기 반응공간 내 펄스 플라스마 발생을 모니터링하는 모니터링부를 포함하는 펄스 플라스마 발생 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 모니터링부는일정 시간 동안 상기 트리거 신호와 상기 광 신호를 수집하고, 상기 트리거 신호와 상기 광 신호를 곱해서 시간 적분한 값으로 상기 펄르 플라스마 발생을 모니터링하는 펄스 플라스마 발생 장치
3 3
제 1 항에 있어서,상기 모니터링부는상기 트리거 신호의 상승 시점과 하강 시점을 추출하고, 상기 상승 시점과 상기 하강 시점 사이 시간 동안 추출된 광 신호를 적분하여 상기 펄스 플라스마 발생을 모니터링하는 펄스 플라스마 발생 장치
4 4
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 광 신호는 상기 펄스 플라스마에서 발생하는 광의 세기인 펄스 플라스마 발생 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.