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나노포어 형성방법

  • 기술번호 : KST2018012018
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 나노포어 형성방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 나노포어 형성방법은 (A) 금 나노입자(gold nanoparticles)가 분산된 나노입자 용액을 준비하는 단계(S100), (B) 나노입자 용액에 박막을 침지하여, 박막 상에 금 나노입자를 부착하는 단계(S200), 및 (C) 금 나노입자가 부착된 박막을, 금 나노입자의 표면층이 액화되어 증발되도록 소정의 공정온도로 가열하여, 박막 상에 소정의 형태로 나노포어를 형성하는 단계(S300)를 포함한다.
Int. CL G01N 33/487 (2006.01.01) B82Y 15/00 (2017.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01)
CPC G01N 33/48721(2013.01) G01N 33/48721(2013.01) G01N 33/48721(2013.01)
출원번호/일자 1020170026404 (2017.02.28)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1977457-0000 (2019.05.03)
공개번호/일자 10-2018-0099243 (2018.09.05) 문서열기
공고번호/일자 (20190510) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.02.28)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최원준 대한민국 서울특별시 영등포구
2 박태영 대한민국 부산광역시 해운대구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정은열 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, ***호(정앤김특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-0205535-02
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.08.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.10.13 수리 (Accepted) 9-1-2017-0034488-30
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0369373-84
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2018-0752205-60
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2018-0866535-17
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.10.01 수리 (Accepted) 1-1-2018-0964705-48
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2018-1079002-79
9 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period
2018.11.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0169620-78
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2018-1194372-66
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.11.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1194371-10
12 등록결정서
Decision to grant
2019.04.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0300154-87
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
금 나노입자(gold nanoparticles)가 분산되고, pH가 3
2 2
청구항 1에 있어서,상기 나노입자 용액은, 상기 금 나노입자가 분산된 소듐 사이트레이트(sodium citrate) 수용액에 묽은 염산이 첨가되어, pH가 3
3 3
청구항 1에 있어서,상기 박막은 실리콘 나이트라이드(SiN) 박막 또는 실리콘 옥사이드(SiO2) 박막인 나노포어 형성방법
4 4
청구항 1에 있어서,상기 금 나노입자를 부착하기 전에, 상기 박막에 산소 플라즈마 공정을 수행하여, 상기 박막을 세정하는 단계;를 더 포함하는 나노포어 형성방법
5 5
청구항 1에 있어서,상기 나노포어 형성 전에, 상기 금 나노입자가 부착된 박막을 증류수로 세척하는 단계;를 더 포함하는 나노포어 형성방법
6 6
청구항 1에 있어서,상기 공정온도는 950 ~ 1060 ℃인 나노포어 형성방법
7 7
청구항 1에 있어서,상기 나노포어는상기 금 나노입자가 부착된 박막의 일면에서부터 타면 방향으로 갈수록 단면적이 점점 좁아지는 원추형으로,상기 박막을 관통하는 개구형, 또는 상기 박막에 오목하게 함몰된 폐구형으로 형성되는 나노포어 형성방법
8 8
청구항 7에 있어서,상기 나노포어는 상기 금 나노입자의 직경, 상기 박막의 두께, 및 상기 공정온도 중 적어도 어느 하나 이상에 의해 서로 다른 형태로 형성되는 나노포어 형성방법
9 9
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