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연속식 다이아몬드 박막 고속성장장치

  • 기술번호 : KST2018013821
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 연속식 다이아몬드 박막 고속성장장치는, 모재의 표면을 식각하고, 상기 모재의 식각된 표면에 중간층을 형성하는 전처리챔버, 상기 모재의 중간층 상에 다이아몬드 파우더를 분배하여 씨딩을 수행하는 씨딩챔버 및 상기 모재의 중간층 상에 씨딩된 다이아몬드 입자를 고속 성장시키는 고속성장챔버를 포함한다.
Int. CL C23C 14/06 (2006.01.01) C23C 14/02 (2006.01.01) C23C 14/56 (2006.01.01) C23C 14/50 (2006.01.01) C23C 14/34 (2006.01.01) C23C 14/54 (2018.01.01) C01B 32/25 (2017.01.01)
CPC C23C 14/024(2013.01) C23C 14/024(2013.01) C23C 14/024(2013.01) C23C 14/024(2013.01) C23C 14/024(2013.01) C23C 14/024(2013.01) C23C 14/024(2013.01) C23C 14/024(2013.01)
출원번호/일자 1020170041582 (2017.03.31)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0112184 (2018.10.12) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.03.31)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김왕렬 대한민국 충남 천안시 서북구
2 박인욱 대한민국 경기도 화성
3 김준호 대한민국 경상남도 양산시
4 전종배 대한민국 부산광역시 사상구
5 문건대 대한민국 부산광역시 강서구
6 정우창 대한민국 부산광역시 부산진구
7 허성보 대한민국 부산 사상구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 임상엽 대한민국 서울특별시 성동구 광나루로 ***, *층 ***호 (성수동*가, 서울숲IT캐슬)(지반특허법률사무소)
2 고영갑 대한민국 경기도 성남시 분당구 정자일로 ***, 파크뷰 타워 ***호 (정자동)(가람특허법률사무소)
3 권정기 대한민국 서울특별시 성동구 광나루로 ***, *층 ***호 (성수동*가, 서울숲IT캐슬)(지반특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.03.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0317171-24
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.10.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.01.09 수리 (Accepted) 9-1-2018-0000937-33
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.08.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0531090-70
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.10.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0977052-36
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.10.04 수리 (Accepted) 1-1-2018-0977044-71
8 등록결정서
Decision to grant		 2019.02.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0087700-19
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
모재의 표면을 식각하고, 상기 모재의 식각된 표면에 중간층을 형성하는 전처리챔버;상기 모재의 중간층 상에 다이아몬드 파우더를 분배하여 씨딩을 수행하는 씨딩챔버; 및상기 모재의 중간층 상에 씨딩된 다이아몬드 입자를 고속 성장시키는 고속성장챔버;를 포함하는 연속식 다이아몬드 박막 고속성장장치
2 2
제1항에 있어서,상기 전처리챔버는,이온소스를 통해 상기 모재의 표면을 식각하는 이온소스유닛; 및상기 모재의 식각된 표면에 중간층을 증착시키는 스퍼터링유닛;을 포함하는 연속식 다이아몬드 박막 고속성장장치
3 3
제1항에 있어서,상기 씨딩챔버는,상기 씨딩챔버의 상부에 구비되어 상기 모재에 다이아몬드 파우더를 분배하는 파우더분배유닛;상기 씨딩챔버의 내부에 알콜성 수용액을 공급하거나, 상기 씨딩챔버의 내부에 수용된 알콜성 수용액을 배출시키는 펌프유닛; 및상기 씨딩챔버의 내부를 가열시키는 제1가열유닛;을 포함하는 연속식 다이아몬드 박막 고속성장장치
4 4
제1항에 있어서,상기 고속성장챔버는,상기 모재가 거치되는 거치유닛; 및상기 고속성장챔버의 내부를 가열시켜 상기 모재의 중간층 상에 씨딩된 다이아몬드 입자를 성장시키는 제2가열유닛;을 포함하는 연속식 다이아몬드 박막 고속성장장치
5 5
제4항에 있어서,상기 제2가열유닛은 상기 거치유닛보다 상부에 구비되며, 상기 고속성장챔버의 길이 방향을 따라 연장 형성된 발열선을 포함하는 연속식 다이아몬드 박막 고속성장장치
6 6
제5항에 있어서,상기 발열선은 상기 거치유닛과의 상대 높이를 조절 가능하게 형성된 연속식 다이아몬드 박막 고속성장장치
7 7
제5항에 있어서,상기 발열선은 복수 개가 상하 방향으로 구비된 연속식 다이아몬드 박막 고속성장장치
8 8
제1항에 있어서,상기 전처리챔버, 상기 씨딩챔버 및 상기 고속성장챔버의 내부를 연속적으로 이동 가능하게 형성되어 상기 모재를 이송하는 이송플레이트를 더 포함하는 연속식 다이아몬드 박막 고속성장장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국생산기술연구원 첨단하이브리드가공기술고도화및실용화 첨단하이브리드 가공기술 고도화 및 실용화