| 1 |
1
유입되는 가스분자에 전압을 인가하여 가스분자를 이온화시키는 하전부;이온화된 양이온을 포집하는 포집부; 및포집부 내부에 위치하고, 포집된 양이온에 의해 변화되는 임피던스를 측정하는 이온 측정부;를 포함하며,상기 하전부는,소정의 거리로 이격되어 배치된 한 쌍의 기판;일측의 기판에 구비된 접지전극; 및타측의 기판에 구비된 팁전극;을 포함하여,혼합 가스의 이온화 전압을 토대로 특정 가스의 유무를 감지할 수 있는 것을 특징으로 하는, 가스 센서
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 팁전극은,복수 개인 것을 특징으로 하는, 가스 센서
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 팁전극은,삼각뿔 형상인 것을 특징으로 하는, 가스 센서
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, 포집부는,소정의 거리로 이격되어 배치된 한 쌍의 기판; 및각 기판에 구비된 전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는, 가스 센서
|
| 6 |
6
제1항에 있어서, 이온 측정부는,기판;기판 상에 구비된 IDT(Inter digital transducer) 전극; 및IDT 전극 상부에 구비되는 감지막;을 포함하는 것을 특징으로 하는, 가스 센서
|
| 7 |
7
제6항에 있어서, 감지막은,다공성 물질로 제조된 것을 특징으로 하는, 가스 센서
|
| 8 |
8
삭제
|
