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시편 검사 장치 및 이를 포함하는 드론

  • 기술번호 : KST2018016658
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 시편 검사 장치는 편광 발생기; 상기 편광 발생기로부터 방출된 광의 경로가 목표 시편을 향하도록 변경시키는 반사경; 및 상기 편광 발생기와 베벨 기어(bevel gear)를 통해 회전가능하도록 연결되고, 상기 목표 시편으로부터 반사된 광이 들어오는 편광 분석기를 포함한다.
Int. CL G01N 21/21 (2006.01.01) B64C 39/02 (2006.01.01)
CPC G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01)
출원번호/일자 1020170077392 (2017.06.19)
출원인 한양대학교 에리카산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0137758 (2018.12.28) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.06.19)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안일신 대한민국 경기도 안산시 상록구
2 박성모 대한민국 부산광역시 사상구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍성욱 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***(역삼동) 동아빌딩 *층(주식회사에스와이피)
2 심경식 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** 동아빌딩 *층(에스와이피특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 경기도 안산시 상록구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-0585188-63
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.01.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.03.12 수리 (Accepted) 9-1-2018-0010058-05
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.09.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0636036-09
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.10.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1060104-94
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.10.26 수리 (Accepted) 1-1-2018-1060103-48
7 등록결정서
Decision to grant
2019.01.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0047467-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
편광 발생기;상기 편광 발생기로부터 방출된 광의 경로가 목표 시편을 향하도록 변경시키는 반사경; 상기 편광 발생기, 상기 반사경과 동일 직선 상에 위치하는 광원;상기 편광 발생기와 베벨 기어(bevel gear)를 통해 회전가능하도록 연결되고, 상기 목표 시편으로부터 반사된 광이 들어오는 편광 분석기; 및상기 목표 시편, 상기 편광 분석기와 동일 직선 상에 위치하는 검출기;를 포함하고,상기 검출기는, 상기 광원에서 방출되는 광의 전기장 값 및 상기 반사경의 반사계수를 참조하고, 상기 베벨 기어를 회전시켜가며 검출된 밝기 신호를 이용하여 상기 목표 시편의 반사계수를 획득하는,시편 검사 장치
2 2
제1 항에 있어서,상기 베벨 기어를 회전시키기 위한 단일 모터(single motor)를 더 포함하는시편 검사 장치
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제1 항에 있어서,상기 광원과 상기 편광 발생기 사이에 위치하는 제1 디폴라라이저(depolarizer); 및상기 검출기와 상기 편광 분석기 사이에 위치하는 제2 디폴라라이저를 더 포함하는시편 검사 장치
6 6
제1 항에 있어서,상기 베벨 기어의 사이 각도는 상기 목표 시편에 대한 광의 입사각에 대한 여각으로 설정된,시편 검사 장치
7 7
삭제
8 8
제1 항에 있어서,p 파 및 s 파에 대한 상기 목표 시편의 반사계수 rp, rs를 하기 수학식을 통해 획득하고,상기 E는 상기 검출된 밝기 신호이고, 상기 E0는 상기 광원에서 방출되는 광의 전기장 값이고, 상기 rmp, rms는 상기 반사경의 반사계수이고, 상기 는 상기 베벨 기어의 회전각인시편 검사 장치
9 9
제1 항의 시편 검사 장치를 하부에 포함하는드론
10 10
제9 항에 있어서,거리 및 기울기 센서를 더 포함하고,상기 거리 및 기울기 센서를 이용하여 상기 목표 시편과의 거리 및 기울기를 조절하여 정지 비행을 함으로써 시편 검사 준비를 완료하는,드론
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한양대학교 에리카 산학협력단 전자정보디바이스산업원천기술개발 Lithography 공정에서 박막 및 표면을 고해상도 (100μm x100μm이하) 로 검사할 수 있는 in-line ellipsometry 기술 개발