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저마찰 코팅막을 형성하기 위한 물리증착 타겟용 Zr-Cu-Si계 합금으로서, Zr이 82원자% 내지 90원자%; Cu가 4원자% 내지 14원자%; 및 Si이 4원자% 내지 8원자%;로 이루어진, 물리증착 타겟용 Zr-Cu-Si계 합금
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저마찰 코팅막을 형성하기 위하여 Zr-Cu-Si계 합금으로 이루어진 물리증착 타겟으로서, Zr이 82원자% 내지 90원자%; Cu가 4원자% 내지 14원자%; 및 Si이 4원자% 내지 8원자%;로 이루어진, 물리증착용 타겟
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제 2 항에 있어서, 상기 Zr-Cu-Si계 합금은, 용탕을 주조하여 구현한, 주조 합금인 것을 특징으로 하는, 물리증착용 타겟
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제 2 항에 있어서, 상기 Zr-Cu-Si계 합금은, 분말을 이용한 소결법으로 제조된, 소결 합금인 것을 특징으로하는, 물리증착용 타겟
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제 2 항에 있어서, 상기 Zr-Cu-Si계 합금은, Zr이 82원자% 내지 90원자%; Cu가 4원자% 내지 14원자%; 및 Si이 4원자% 내지 8원자%;로 이루어진 비정질 합금 또는 나노결정질 합금을 복수개로 준비하는 단계; 상기 복수개의 비정질 합금 또는 나노결정질 합금을 상기 비정질 합금 또는 나노결정질 합금의 유리천이온도(Tg) 이상 결정화 개시온도(Tx) 이하의 온도범위에서 소정의 시간 동안 유지하면서 가압함으로써 제 1 차 수축하는 단계; 및 상기 복수개의 비정질 합금 또는 나노결정질 합금을 상기 비정질 합금 또는 나노결정질 합금의 용융온도(Tm)의 0
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물리증착 장치 내부로, 불활성가스를 투입하고, 질소가스(N2) 또는 질소원소(N)를 함유하는 반응가스를 투입하여, Zr-Cu-Si계 합금타겟을 물리증착하여 질소를 함유하는 나노 복합 코팅막을 형성하는 단계;를 포함하되, 상기 합금타겟의 조성은 Zr이 82원자% 내지 90원자%; Cu가 4원자% 내지 14원자%; 및 Si이 4원자% 내지 8원자%;로 이루어진 것을 특징으로 하는, 나노 복합 코팅막의 제조방법
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제 6 항에 있어서,상기 나노 복합 코팅막을 형성하는 단계; 이전에, 상기 물리증착 장치 내부로, 불활성가스를 투입하여, Zr-Cu-Si계 합금타겟을 물리증착하여 Zr-Cu-Si 코팅버퍼층을 형성하는 단계;를 더 포함하는, 나노 복합 코팅막의 제조방법
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제 7 항에 있어서,상기 Zr-Cu-Si 코팅버퍼층을 형성하는 단계; 이전에, 상기 물리증착 장치 내에서 이온 건 플라즈마 소스 내에 불활성가스를 투입하고 파워를 인가하여 상기 불활성가스를 이온화시키고 이온빔을 방출시켜 상기 Zr-Cu-Si 코팅버퍼층이 형성되는 대상체의 표면을 활성화시키는 전처리 단계;를 더 포함하는, 나노 복합 코팅막의 제조방법
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제 8 항에 있어서,상기 막을 형성하는 단계 또는 상기 전처리 단계는 플라즈마 분위기에서 진행하는 것을 특징으로 하는, 나노 복합 코팅막의 제조방법
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제 6 항에 있어서,상기 질소를 함유하는 나노 복합 코팅막은 상기 질소를 함유하는 나노 복합 코팅막의 조성이 상기 질소를 제외하고 Zr이 80원자% 내지 92원자%; Cu가 2원자% 내지 10원자%; 및 Si이 5원자% 내지 15원자%;로 이루어진 것을 특징으로 하는, 나노 복합 코팅막의 제조방법
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질소를 함유하는 나노 복합 코팅막으로서, 상기 나노 복합 코팅막 중에서 질소를 제외한 성분의 조성이 Zr이 80원자% 내지 92원자%; Cu가 2원자% 내지 10원자%; 및 Si이 5원자% 내지 15원자%;로 이루어진 것을 특징으로 하는, 나노 복합 코팅막
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제 11 항에 있어서,상기 나노 복합 코팅막은 ZrN 또는 Zr2N 기반의 결정구조를 가지는, 나노 복합 코팅막
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제 11 항에 있어서,상기 나노 복합 코팅막은 상대재와 접촉하여 마찰될 경우, 표면의 적어도 일 부 영역에 트라이보 반응막이 형성되며, 상기 트라이보 반응막이 형성된 영역에서의 Cu의 조성이 상기 트라이보 반응막이 형성되지 않은 영역에 비해 더 높은, 나노 복합 코팅막
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제 13 항에 있어서,상기 트라이보 반응막이 형성된 영역에서의 S 및 P의 조성이 상기 트라이보 반응막이 형성되지 않은 영역에 비해 더 높은, 나노 복합 코팅막
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제 11 항에 있어서,상기 나노 복합 코팅막은 10GPa 내지 45GPa의 경도와 150GPa 내지 450GPa의 탄성률을 가지는 것을 특징으로 하는, 나노 복합 코팅막
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