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투명기판인 기판의 상면에 잉크를 도포하는 단계;상기 기판의 하면에 희생층을 형성하는 단계;상기 희생층의 하면에 광을 반사하는 광 반사부가 형성된 마스크 패턴을 배치하는 단계;상기 기판의 상부에서 광을 제공하는 단계;상기 제공된 광이 상기 광 반사부에서 반사되어 상기 잉크를 선택적으로 경화 또는 소결하여 패턴을 형성하는 단계;상기 마스크 패턴을 제거하는 단계; 및상기 경화 또는 소결되지 않은 잉크를 상기 기판으로부터 제거하는 단계를 포함하고, 상기 광 반사부는 상기 기판을 투과한 광의 일부는 반사하고 일부는 투과하는 그레이 패턴이며, 상기 그레이 패턴은, 상기 잉크의 상부로 제공되는 광에너지와, 상기 광 반사부를 통해 상기 잉크의 하부로 제공되는 광에너지를 합한 광 에너지의 총량이 상기 잉크를 소결시키는데 필요한 광에너지량 이상이 되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 패턴 형성방법
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제1항에 있어서,상기 그레이 패턴의 계조(grayscale)에 따라 상기 광의 반사 또는 투과 정도가 가변적인 것을 특징으로 하는 패턴 형성방법
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제1항에 있어서, 상기 마스크 패턴은 상기 기판을 투과하여 제공된 광을 모두 흡수하거나 투과시키는 광 흡수부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성방법
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제6항에 있어서,상기 광 흡수부는 블랙(black) 패턴인 것을 특징으로 하는 패턴 형성방법
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제1항에 있어서,상기 광 반사부는 상기 기판을 투과하여 제공된 광을 일부는 정반사하고 일부는 난반사하는 반사 패턴인 것을 특징으로 하는 패턴 형성방법
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제8항에 있어서,상기 반사 패턴의 표면 거칠기에 따라 상기 난반사의 확산 정도가 변하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성방법
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제1항에 있어서, 상기 마스크 패턴을 배치하는 단계에서, 상기 희생층의 하면에 상기 마스크 패턴을 직접 부착하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성방법
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제10항에 있어서, 상기 기판의 하면에 희생층을 형성하는 단계에서,상기 기판의 하면에 상기 희생층을 부착시키는 것을 특징으로 하는 패턴 형성방법
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제1항에 있어서, 상기 제공되는 광은 면광원, UV광원 또는 레이저 광원인 것을 특징으로 하는 패턴 형성방법
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제1항에 있어서, 상기 잉크를 선택적으로 경화 또는 소결하는 단계에서,상기 도포된 잉크는 상부로부터 제공되는 광의 에너지와, 상기 광 반사부에서 반사된 광의 에너지를 제공받아 경화 또는 소결되는 것을 특징으로 하는 패턴 형성방법
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제14항에 있어서, 상기 잉크를 선택적으로 경화 또는 소결하는 단계에서,상기 잉크가 도포된 영역 중 상기 광 반사부에서 반사된 광이 제공되는 영역만 경화 또는 소결되어 패턴으로 형성되는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법
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