| 1 |
1
기준시편이 장착되는 기준시편 장착대;상기 기준시편 장착대의 일단에 마련되며, 선편광된 광을 발생시켜 상기 기준시편에 입사시키는 광원부;일단이 상기 기준시편 장착대의 타단에 결합되며, 측정시편이 장착되는 측정시편 장착대;상기 측정시편 장착대의 타단에 마련되며, 상기 측정시편에서 반사되는 광의 영상을 획득하는 광영상부;상기 측정시편 장착대의 일단에 회전 가능하게 마련되어, 상기 측정시편 장착대의 일단을 상기 기준시편 장착대의 타단에 회전 결합시키는 회전결합기; 및 상기 기준시편 및 측정시편 사이의 광 경로상에 마련되어, 상기 기준시편에서 반사되는 광의 편광방향을 90° 회전시킴으로써 상기 기준시편에서 반사되는 p파와 s파의 방향을 서로 바꾸어 상기 측정시편으로 입사시키는 편광회전기를 포함하되, 상기 회전결합기의 회전에 의해, 상기 측정시편 장착대와 상기 기준시편 장착대는 소정의 기울기를 형성하는 것을 특징으로 하며,상기 측정시편에 입사하는 광의 입사각은, 70도 전후의 각도로 채택되며, 상기 회전결합기의 회전에 의해 상기 기준시편에 입사하는 광의 입사각과 동일하게 형성되고,상기 영상은 상기 기준시편과 상기 측정시편의 광특성이 동일한지 여부를 보여주되, 상기 기준시편과 상기 측정시편의 광특성이 동일한 경우 블랙 영상이고, 상기 기준시편과 상기 측정시편의 광특성이 일부 또는 전체 영역에서 차이가 나는 경우 블랙 영상 중 일부 또는 전부가 밝아지는 영상인 것을 특징으로 하되,상기 광원부는 백색광원으로 마련되는 광원;상기 광원으로부터 조사된 백색광을 통과시켜 단색광을 선택하는 분광기; 및마그네슘 플루라이드로 이루어져 입사된 광을 선편광시키는 편광발생기;를 포함하고,상기 광영상부는마그네슘 플루라이드로 이루어져, 상기 측정시편에서 반사되는 광을 수광하고, 기준시편 및 측정시편에 의한 편광상태의 변화를 분석하는 편광분석기; 및줌렌즈를 통과한 편광성분으로부터 기준시편 및 측정시편에 의한 편광상태의 변화를 영상화하는 검출기;를 포함하는 타원해석기
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 기준시편에서 반사되는 광은,상기 측정시편에 입사하는 광을 형성하는 타원해석기
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서, 상기 측정시편에 입사하는 광의 입사각은, 상기 기준시편에 입사하는 광의 입사각과 동일하게 형성되는 타원해석기
|
| 4 |
4
삭제
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서,상기 측정시편 장착대는, 상기 측정시편이 장착되며, 수평방향으로 이동 가능하게 마련되는 이동 스테이지를 포함하고, 상기 측정시편은, 상기 기준시편에서 반사되는 광이 상기 측정시편에 입사하도록 상기 이동 스테이지의 이동에 의해 위치가 조절되는 타원해석기
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서,상기 광영상부는,상기 기준시편 및 측정시편에 의한 편광상태의 변화를 밝기 영상으로 획득하는 타원해석기
|
| 7 |
7
제 1 항에 있어서,상기 기준시편 장착대, 광원부, 측정시편 장착대, 및 광영상부는, 동일 평면상에 배치되는 타원해석기
|
