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실리콘 기판; 상기 실리콘 기판의 전면 상에 위치하고 터널링을 통해 전하가 통과할 수 있는 제1 터널 패시베이션층;상기 실리콘 기판의 후면 상에 위치하고 터널링을 통해 전하가 통과할 수 있는 제2 터널 패시베이션층;상기 제1 터널 패시베이션층 상에 위치한 정공 선택 접합층;상기 제2 터널 패시베이션층 상에 위치한 전자 선택 접합층;상기 정공 선택 접합층 상에 위치하는 제1 투명전도층; 및상기 전자 선택 접합층 상에 위치하는 제2 투명전도층을 포함하는,전하 선택 접합형 태양전지
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2 |
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제 1 항에 있어서,상기 제1 및 제2 터널 패시베이션층은 각각 실리콘 산화막인 것을 특징으로 하는,전하 선택 접합형 태양전지
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제 2 항에 있어서,상기 제1 및 제2 터널 패시베이션층은 플라즈마 산화 성장법에 의해 형성된 실리콘 산화막인 것을 특징으로 하는,전하 선택 접합형 태양전지
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4 |
4
제 1 항에 있어서,상기 제1 터널 패시베이션층은 내부의 전하 극성이 네거티브를 나타내는,전하 선택 접합형 태양전지
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5
제 1 항에 있어서,상기 제 2 터널 패시베이션층은 내부의 전하 극성이 포지티브를 나타내는,전하 선택 접합형 태양전지
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6
제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 제1 및 제2 터널 패시베이션층의 내부의 전하 극성은 플라즈마 공정 조건에 의해 제어되는,전하 선택 접합형 태양전지
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7 |
7
실리콘 기판을 준비하는 단계;상기 실리콘 기판의 전면 상에 터널링을 통해 전하가 통과할 수 있는 제1 터널 패시베이션층을 형성하는 단계;상기 실리콘 기판의 후면 상에 터널링을 통해 전하가 통과할 수 있는 제2 터널 패시베이션층을 형성하는 단계;상기 제1 터널 패시베이션층 상에 정공 선택 접합층을 형성하는 단계;상기 제2 터널 패시베이션층 상에 전자 선택 접합층을 형성하는 단계;상기 정공 선택 접합층 상에 제1 투명전도층을 형성하는 단계; 및상기 전자 선택 접합층 상에 제2 투명전도층을 형성하는 단계를 포함하는,전하 선택 접합형 태양전지의 제조 방법
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8 |
8
제 7 항에 있어서,상기 제1 및 제2 터널 패시베이션층은 각각 실리콘 산화막인 것을 특징으로 하는,전하 선택 접합형 태양전지의 제조 방법
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9
제 8 항에 있어서,상기 제1 및 제2 터널 패시베이션층은 플라즈마 산화 성장법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는,전하 선택 접합형 태양전지의 제조 방법
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10
제 7 항에 있어서,상기 제1 터널 패시베이션층은 내부의 전하 극성이 네거티브를 나타내는,전하 선택 접합형 태양전지의 제조 방법
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11
제 7 항에 있어서,상기 제 2 터널 패시베이션층은 내부의 전하 극성이 포지티브를 나타내는,전하 선택 접합형 태양전지의 제조 방법
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12
제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,상기 제1 및 제2 터널 패시베이션층의 내부의 전하 극성은 플라즈마 공정 조건에 의해 제어되는,전하 선택 접합형 태양전지의 제조 방법
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