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제 1 무기 박막; 상기 제 1 무기 박막의 상부에 적층된 것으로서, 하기 화학식 1로 표시되는 화합물을 전구체 물질로 사용하여 제조되는 플라즈마 중합체 박막을 포함하는 유기 박막; 및 상기 유기 박막의 상부에 적층된 제 2 무기 박막을 포함하는, 산소 또는 수분 차단용 다층 박막:[화학식 1]상기 식에서,R1 내지 R4는 각각 독립적으로 수소, C1-6 알킬, 아미노-C1-6 알킬, C1-6 알킬-아미노-C1-6 알킬 또는 디(C1-6 알킬)-아미노-C1-6 알킬이고,n은 1 내지 4의 정수임
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제1항에 있어서,상기 전구체 물질은 에틸렌디아민인 것인 산소 또는 수분 차단용 다층 박막
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삭제
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제1항에 있어서,상기 플라즈마 중합체 박막은 플라즈마 보강 화학기상증착법(plasma enhanced chemical vapor deposition; PECVD)에 의해 형성된 것인 산소 또는 수분 차단용 다층 박막
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제1항에 있어서,상기 제 1 무기 박막 또는 상기 제 2 무기 박막은 원자층 증착법(atomic layer deposition; ALD)에 의해 형성된 것인 산소 또는 수분 차단용 다층 박막
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7
제1항에 있어서,상기 제 1 무기 박막 또는 상기 제 2 무기 박막은 Al2O3, SiO2, TiO2 또는 이들의 조합으로 형성된 것인 산소 또는 수분 차단용 다층 박막
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8
제1항에 있어서,상기 제 1 무기 박막 또는 상기 제 2 무기 박막은 산소 또는 수분 차단 효과를 갖는 것인 산소 또는 수분 차단용 다층 박막
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9
제1항, 제2항 및 제5항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 산소 또는 수분 차단용 다층 박막을 구비한 유기전자소자
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10
제9항에 있어서,상기 유기전자소자는 가요성인 것인 유기전자소자
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11
제9항에 있어서,상기 유기전자소자는 유기 발광 다이오드, 유기 태양 전지, 디스플레이소자, 배터리, 광기전성 소자, 집적회로, 압력센서, 화학센서, 바이오센서, 태양광 소자, 조명용 소자 또는 유기 박막 트랜지스터인 것인 유기전자소자
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12
제1항, 제2항 및 제5항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 산소 또는 수분 차단용 다층 박막이 코팅된 포장재
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