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적어도 일면에 화학작용기를 갖는 고체 기재; 및 상기 고체 기재의 작용기를 포함하는 면에 형성된 단일층 그래핀을 포함하는 템플릿을 준비하는 제1단계; 및상기 템플릿의 단일층 그래핀 상에 금속 박막을 형성하는 제2단계를 포함하는, 3 내지 200Å 두께의 초박막 금속 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속 박막은 결정입계(grain-boundaries) 없이 연속적으로 형성된 것인 제조방법
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제1항에 있어서,상기 고체 기재는 실리카 기재를 열적으로 산화시키거나, 산소 플라즈마로 처리하여 화학작용기로 히드록시기를 갖는 것인 제조방법
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제3항에 있어서,상기 고체 기재는 히드록시기를 갖는 고체 기재를 각각 머캅토알킬알콕시실란 또는 퍼플루오로알킬알콕시실란으로 처리하여 화학작용기로 각각 티올기 또는 퍼플루오로알킬기를 갖는 것인 제조방법
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제1항에 있어서,접착성 기재(adhesive substrate)를 이용하여 제2단계에서 형성한 금속 박막을 분리하는 제3단계를 추가로 포함하는 것인 제조방법
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제5항에 있어서,금속 박막을 분리한 후 남은 기재를 제1단계의 템플릿으로 재사용하는 것인 제조방법
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 방법으로 제조한 금속 박막 및 이의 일면에 부착된 하나 이상의 마이크로니들을 포함하는 마이크로니들 패치
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제7항에 있어서,상기 마이크로니들은 약물 또는 화장료를 담지한 것인 패치
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제7항에 있어서,상기 마이크로니들은 체온 이상의 열에 의해 분해되는 것인 패치
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10
제7항에 있어서,상기 금속 박막은 가시광선 조사시 열을 발생시켜 마이크로니들의 분해를 촉진하는 것인 패치
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11
제7항에 있어서,상기 패치는 가시광선 투과성 피부부착성 기재 상에 부착된 것인 패치
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 방법으로 제조한 금속 박막 및 가시광선을 제공하는 광원을 구비한 피부미용활성 디바이스
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