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산화물 박막 가스 센서 및 이를 이용한 가스 센싱 방법

  • 기술번호 : KST2019011000
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 가스 센싱 장치는, 입력된 가스에 반응하여 센서 데이터를 출력하도록 구성된 센서부; 하나 이상의 단일가스에 대해 상기 센서부에서 출력된 센서 데이터인 제1 벡터를 포함하는 데이터베이스가 저장된 저장부; 및 상기 데이터베이스에 기초하여, 하나 이상의 혼합가스에 대응되는 제2 벡터를 포함하는 확장 데이터베이스를 생성하고, 상기 센서부의 대상 가스에 대한 센서 데이터를 상기 확장 데이터베이스와 비교함으로써 상기 대상 가스를 검지하도록 구성된 검지부를 포함한다. 상기 가스 센싱 장치에 의하면, 단일가스에 대한 데이터베이스만으로 단일가스와 혼합가스를 모두 인지하고 분류할 수 있다.
Int. CL G01N 27/04 (2006.01.01) G01N 27/14 (2006.01.01) G01N 33/00 (2006.01.01)
CPC G01N 27/04(2013.01) G01N 27/04(2013.01) G01N 27/04(2013.01) G01N 27/04(2013.01)
출원번호/일자 1020160018425 (2016.02.17)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1755269-0000 (2017.07.03)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170710) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.02.17)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김철기 대한민국 서울특별시 성북구
2 강종윤 대한민국 서울특별시 성북구
3 이석 대한민국 서울특별시 성북구
4 문희규 대한민국 서울특별시 성북구
5 정영모 대한민국 서울특별시 성북구
6 전영민 대한민국 서울특별시 성북구
7 이택진 대한민국 서울특별시 성북구
8 서민아 대한민국 서울특별시 성북구
9 김재헌 대한민국 서울특별시 성북구
10 우덕하 대한민국 서울특별시 성북구
11 최재빈 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김 순 영 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)
2 김영철 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.02.17 수리 (Accepted) 1-1-2016-0157198-13
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.10.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.12.09 수리 (Accepted) 9-1-2016-0050179-78
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.12.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0907071-07
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.02.16 수리 (Accepted) 1-1-2017-0161185-04
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.02.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0161186-49
7 등록결정서
Decision to grant		 2017.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0446996-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
가열에 의해 활성화되어 가스 분자와 반응하도록 구성된 산화물 박막; 상기 산화물 박막에 전기적으로 연결된 전극; 상기 산화물 박막에 펄스 레이저를 조사하여 가열함으로써, 가열된 상기 산화물 박막의 표면에 생성된 산소 이온이 상기 가스 분자와 반응하도록 상기 산화물 박막을 활성화하도록 구성된 광 조사부; 및 상기 전극에 전기적으로 연결되어, 상기 광 조사부에 의해 펄스 레이저의 조사가 개시되고 미리 설정된 시간이 경과한 후 상기 산화물 박막의 저항 변화를 측정하도록 구성된 측정부를 포함하되,상기 측정부에 의한 측정 시간은 상기 광 조사부에 의해 조사되는 펄스 레이저와 동기화되는 산화물 박막 가스 센서
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서,상기 광 조사부는, 상기 산화물 박막 표면이 250 내지 300의 온도로 가열되도록 펄스 레이저를 조사하도록 더 구성된 산화물 박막 가스 센서
4 4
제 3항에 있어서,상기 광 조사부는, 펄스 레이저의 세기 및 반복율을 제어하도록 더 구성된 산화물 박막 가스 센서
5 5
산화물 박막을 가스 분자에 노출시키는 단계; 산화물 박막에 펄스 레이저를 조사함으로써 상기 산화물 박막을 활성화하는 단계로서, 상기 펄스 레이저에 의하여 상기 산화물 박막이 가열되어 상기 산화물 박막의 표면에 상기 가스 분자와 반응할 수 있는 산소 이온이 생성되는, 상기 산화물 박막을 활성화하는 단계; 활성화된 상기 산화물 박막이 상기 가스 분자와 반응하는 단계; 및상기 가스 분자와 반응한 상기 산화물 박막의 저항 변화를 측정하는 단계를 포함하되,상기 측정하는 단계는, 상기 산화물 박막에 조사되는 펄스 레이저와 동기화된 측정 시간 동안 상기 저항 변화를 측정하는 단계를 포함하는 가스 센싱 방법
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삭제
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제 5항에 있어서,상기 산화물 박막을 활성화하는 단계는, 상기 산화물 박막 표면이 250 내지 300의 온도로 가열되도록 펄스 레이저를 조사하는 단계를 포함하는 가스 센싱 방법
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제 7항에 있어서,상기 산화물 박막 표면이 250 내지 300의 온도로 가열되도록 펄스 레이저를 조사하는 단계는, 펄스 레이저의 세기 및 반복율을 제어하는 단계를 포함하는 가스 센싱 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 환경부 한국과학기술연구원 글로벌탑환경기술개발사업 기후변화유발 물질 및 대기 오염원 측정용 One-Chip 고집적 센서어레이 개발