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세라믹 소자;상기 세라믹 소자의 일면에 개재된 제1 전극,상기 세라믹 소자의 타면에 개재된 제2 전극,상기 제1 전극에 연결된 제1 리드선, 및상기 제2 전극에 연결된 제2 리드선을 포함하는 온도 센서부와;상기 온도 센서부를 감싸고 있는 유리 보호부를 포함하는 온도센서 소자로서,상기 제1 리드선과 제2 리드선은 각각 내층과 외층으로 구성되며,상기 제1, 2 리드선의 내층은 열팽창계수(상온-600℃)가 8×10-6/℃ 내지 15×10-6/℃인 내열 합금이며, 상기 내열 합금은 철 성분이 0
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제1항에 있어서,상기 제1 , 2 리드선의 내층은 니켈, 몰리브데늄, 크롬, 철, 알루미늄, 코발트 및 티타늄 중에서 선택된 1종 이상으로 이루어진 내열 합금이며,상기 철 성분은 0
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제1항에 있어서,상기 제1, 2 리드선의 외층은 5 내지 100 ㎛의 두께를 갖는 백금 또는 백금계 합금으로 형성되는 것을 특징으로 하는 온도센서 소자
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(A) 세라믹 소자의 일면에 제1 전극을 형성하고, 상기 세라믹 소자의 타면에는 제2 전극을 형성하는 단계;(B) 상기 제1 전극과 제2 전극에 각각 제1 리드선과 제2 리드선을 연결하고 열처리하는 단계; 및(C) 상기 세라믹 소자, 상기 제1, 2 전극 및 상기 제1, 2 리드선으로 구비된 온도 센서부에 유리 보호부를 형성하고 열처리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 온도센서 소자의 제조방법으로서,상기 제1, 2 리드선의 내층은 열팽창계수(상온-600℃)가 8×10-6/℃ 내지 15×10-6/℃인 내열 합금이며, 상기 내열 합금은 철 성분이 0
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제8항에 있어서,상기 (B) 단계의 열처리는 700 내지 1000 ℃의 온도에서 1 내지 30분 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 온도센서 소자의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 (B) 단계의 열처리 온도가 상기 (C) 단계의 열처리 온도보다 같거나 더 높은 것을 특징으로 하는 온도센서 소자의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 제1 , 2 리드선의 내층은 니켈, 몰리브데늄, 크롬, 철, 알루미늄, 코발트 및 티타늄 중에서 선택된 1종 이상으로 이루어진 내열 합금이며,상기 철 성분은 0
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