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아연이 도핑된 주석산화물계 투명 전도성 산화물, 이를 이용한 다층 투명 전도막 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019011247
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 투명 전도성 박막은 ZnxSn1-xO2 (여기서, x는 0003c#x≤0.12 이다)로 표시되는 조성물로 이루어지고 비정질이다. 투명 전도성 박막 구조물은 금속층을 포함하고, 상기 금속층 하부 및 상부에 각각 상기 투명 전도성 박막과 동일하게 구성되는 제1 투명 전도성 산화물층 및 제2 투명 전도성 상화물층을 포함한다. 상기 투명 전도성 박막 구조물은 상온에서 제조될 수 있으며 우수한 광학적 특성 및 전기적 특성을 갖기 때문에, 다양한 전기적 소자, 특히 유연 소자의 투명 전극으로 사용될 수 있다.
Int. CL H01B 1/02 (2006.01.01) H01B 5/14 (2006.01.01) C01G 19/00 (2006.01.01) C03C 17/36 (2006.01.01) H01B 13/00 (2006.01.01)
CPC H01B 1/02(2013.01) H01B 1/02(2013.01) H01B 1/02(2013.01) H01B 1/02(2013.01) H01B 1/02(2013.01) H01B 1/02(2013.01) H01B 1/02(2013.01) H01B 1/02(2013.01) H01B 1/02(2013.01) H01B 1/02(2013.01)
출원번호/일자 1020170085991 (2017.07.06)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1884643-0000 (2018.07.27)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180803) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.07.06)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최지원 대한민국 서울특별시 성북구
2 김진상 대한민국 서울특별시 성북구
3 강종윤 대한민국 서울특별시 성북구
4 김성근 대한민국 서울특별시 성북구
5 백승협 대한민국 서울특별시 성북구
6 김상태 대한민국 서울특별시 성북구
7 조윤호 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김 순 영 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)
2 김영철 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.07.06 수리 (Accepted) 1-1-2017-0648617-60
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.11.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.12.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0180031-97
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.12.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0871101-35
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2018.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-0149695-29
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.03.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-0247480-97
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.03.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0247481-32
8 등록결정서
Decision to grant		 2018.07.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0497191-95
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번호 청구항
1 1
하기 [화학식 1]의 조성으로 이루어지고 비정질(amorphous) 구조인 것을 특징으로 하는 투명 전도성 산화물 박막
2 2
제 1 항에 있어서, x는 0
3 3
다층 투명 전도막로서, ZnxSn1-xO2 (0003c#x≤0
4 4
제 3 항에 있어서,x는 0
5 5
제 3 항에 있어서,상기 금속 박막의 금속은 Ag, Au, Cu, Pd, Pt, Ni, Al, Y, La, Mg, Ca, Fe, Pb로 이루어지는 그룹에서 선택되는 하나 이상 또는 이들의 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다층 투명 전도막
6 6
제 3 항에 있어서, 금속 박막은 5nm 초과 내지 50nm 미만의 두께를 가지는 것이고,제1 투명 전도성 산화물 박막 및 제2 투명 전도성 산화물 박막은 각각 20 내지 200 nm의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 다층 투명 전도막
7 7
제 3 항에 있어서, 제1 투명 전도성 산화물 박막 및 제2 투명 전도성 산화물 박막은 각각 1mm 이하의 RMS 표면 거칠기를 가지는 것을 특징으로 하는 다층 투명 전도막
8 8
제 3 항에 있어서,다층 투명 전도막은 유리 기판을 포함하는 것이고, 5
9 9
제 3 항에 있어서,다층 투명 전도막은 PET 기판을 포함하는 것이고, 5
10 10
제 3 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항의 다층 투명 전도막을 투명 전극으로 사용하는 것을 특징으로 하는 소자
11 11
제 10 항에 있어서,상기 소자는 유연 소자(flexible device)인 것을 특징으로 하는 소자
12 12
ZnxSn1-xO2 (0003c#x≤0
13 13
제 12 항에 있어서, 기판상에 상기 투명 전도성 산화물을 증착 시 증착 가스로 아르곤(Ar) 가스에 산소(O2) 가스를 첨가하여 사용하되, 산소(O2) 가스 첨가량을 조절하여 투명 전도성 산화물 박막의 면저항 및 투과도 중 하나 이상을 조절하는 것을 특징으로 하는 다층 투명 전도막 제조 방법
14 14
제 12 항에 있어서,상기 기판은 유리 기판, 폴리에스테르, 폴리에틸렌, 폴리카보네이트 또는 폴리에틸렌테레프탈레이트 기판인 것을 특징으로 하는 다층 투명 전도막 제조 방법
15 15
제 12 항에 있어서, 상기 방법은, 기판상에 ZnxSn1-xO2 (0003c#x≤0
16 16
제 12 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서, 증착 시 증착 가스로 아르곤(Ar) 가스에 산소(O2) 가스를 첨가하여 사용하되, 산소(O2) 가스는 아르곤(Ar) 가스 대비 0부피% 초과 내지 1
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (주)유아이디 우수기술연구센터(ATC) 웨어러블 디바이스 적용을 위한 터치패널용 SnOx계 투명 산화물 박막 및 이를 이용한 다층 투명전도막 기술이 적용된 투명전극 개발단계 기술개발