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기판 구조체 및 이를 이용한 박막 태양전지

  • 기술번호 : KST2019011300
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 폴리이미드 기판; 상기 폴리이미드 기판의 일면 상에 형성된 제 1 전극층; 및 상기 제 1 전극층 상에 형성된 제 2 전극층;을 포함하고, 상기 제 1 전극층 및 상기 폴리이미드 기판간 열팽창계수의 차이에 의해 발생되는 손상을 억제하기 위해, 상기 폴리이미드 기판의 타면 상에 형성된 제 1 박막층; 및 상기 제 1 박막층에서 상기 폴리이미드 기판 방향으로 입사되는 열에 의해 상기 폴리이미드 기판, 상기 제 1 전극층 및 상기 제 2 전극층의 가열효율을 향상시키기 위해, 상기 제 1 박막층 상에 형성된 제 2 박막층;을 더 포함하며, 상기 제 1 박막층은 상기 제 2 박막층보다 상대적으로 더 치밀하고, 기공이 적은, 기판 구조체 및 이를 이용한 박막 태양전지를 제공한다.
Int. CL H01L 31/0392 (2006.01.01) H01L 31/0445 (2014.01.01) H01L 31/0224 (2006.01.01) H01L 31/032 (2006.01.01)
CPC H01L 31/03928(2013.01) H01L 31/03928(2013.01) H01L 31/03928(2013.01) H01L 31/03928(2013.01) H01L 31/03928(2013.01)
출원번호/일자 1020170136709 (2017.10.20)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1938727-0000 (2019.01.09)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20190116) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.10.20)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정증현 서울특별시 성북구
2 김원목 서울특별시 성북구
3 박종극 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김남식 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
2 이인행 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
3 김한 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.10.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-1038681-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.12.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.01.09 수리 (Accepted) 9-1-2018-0001739-78
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.07.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0491323-96
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.09.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0933620-40
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.09.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-0933619-04
7 등록결정서
Decision to grant
2019.01.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0019342-49
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
셀레늄(Se) 또는 황(S)을 포함하는 광흡수층을 구비하는 박막 태양전지의 기판 구조체로서,폴리이미드 기판;상기 폴리이미드 기판의 일면 상에 형성된 제 1 전극층; 및상기 제 1 전극층 상에 형성된 제 2 전극층;을 포함하고,상기 제 1 전극층 및 상기 폴리이미드 기판간 열팽창계수의 차이에 의해 발생되는 손상을 억제하기 위해, 상기 폴리이미드 기판의 타면 상에 형성된 제 1 박막층; 및상기 박막 태양전지의 광흡수층을 형성하기 위해서 상기 제 1 박막층에서 상기 폴리이미드 기판 방향으로 열이 입사될 때, 상기 폴리이미드 기판, 상기 제 1 전극층 및 상기 제 2 전극층의 가열효율을 향상시키기 위해, 상기 제 1 박막층 상에 형성된 제 2 박막층;을 더 포함하며,상기 제 1 박막층 및 상기 제 2 박막층은 스퍼터링 방법을 이용하여 챔버 내의 증착압력을 조절함으로써 상기 제 1 박막층 및 상기 제 2 박막층의 미세구조가 서로 상이하게 제어되고,상기 제 2 박막층은 상기 제 1 박막층보다 상대적으로 더 높은 증착압력을 갖는 챔버내에서 형성되며, 상기 제 1 박막층은 상기 제 2 박막층보다 상대적으로 더 치밀하고, 기공이 적으며,상기 제 2 박막층의 표면 반사도는 30% 이하(0초과)인,기판 구조체
2 2
제 1 항에 있어서,상기 제 2 박막층은 상기 제 1 박막층보다 산소 함유량이 더 높으며,상기 산소는 상기 제 1 박막층 또는 상기 제 2 박막층의 기공내에 함유되는,기판 구조체
3 3
제 1 항에 있어서,상기 제 1 박막층 및 상기 제 2 박막층 중 어느 하나 이상은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 또는 크롬(Cr)을 포함하는, 기판 구조체
4 4
제 1 항에 있어서,상기 제 2 박막층의 미세구조는 깊이에 따라 기공도가 변하는 기공경사층(void-graded)을 형성하고,상기 제 1 박막층과 접하는 상기 제 2 박막층의 하부는 상기 제 2 박막층의 상부보다 상대적으로 상기 기공이 더 적고 치밀한 구조를 갖는,기판 구조체
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
제 1 항에 있어서,상기 제 1 박막층 및 상기 제 2 박막층은 상기 챔버내에서 인-시튜(in-situ)로 형성되는,기판 구조체
8 8
삭제
9 9
제 1 항에 있어서,상기 제 1 박막층 및 상기 제 2 박막층의 평균 비저항은 3×10-5Ω㎝ 이하(0 초과)인,기판 구조체
10 10
제 1 항에 있어서,상기 제 2 박막층의 두께는 10㎚ 내지 200㎚ 이하인,기판 구조체
11 11
제 1 항에 있어서,상기 제 2 전극층 상에 형성되며, 상기 제 2 전극층보다 상대적으로 기공이 더 많고, 산소의 함유량이 더 높은 제 3 전극층을 포함하는,기판 구조체
12 12
폴리이미드 기판;상기 폴리이미드 기판의 일면 상에 형성된 제 1 전극층; 및상기 제 1 전극층 상에 형성된 제 2 전극층;상기 제 2 전극층 상에 형성된 셀레늄(Se) 또는 황(S)을 포함하는 광흡수층;을 포함하고, 상기 제 1 전극층 및 상기 폴리이미드 기판간 열팽창계수의 차이에 의해 발생되는 손상을 억제하기 위해, 상기 폴리이미드 기판의 타면 상에 형성된 제 1 박막층; 및상기 광흡수층을 형성하기 위해서 상기 제 1 박막층에서 상기 폴리이미드 기판 방향으로 열이 입사될 때, 상기 폴리이미드 기판, 상기 제 1 전극층 및 상기 제 2 전극층의 가열효율을 향상시키기 위해, 상기 제 1 박막층 상에 형성된 제 2 박막층;을 더 포함하며,상기 제 1 박막층 및 상기 제 2 박막층은 스퍼터링 방법을 이용하여 챔버 내의 증착압력을 조절함으로써 상기 제 1 박막층 및 상기 제 2 박막층의 미세구조가 서로 상이하게 제어되고,상기 제 2 박막층은 상기 제 1 박막층보다 상대적으로 더 높은 증착압력을 갖는 챔버내에서 형성되며, 상기 제 1 박막층은 상기 제 2 박막층보다 상대적으로 더 치밀하고, 기공이 적으며,상기 제 2 박막층의 표면 반사도는 30% 이하(0초과)인,박막 태양전지
13 13
제 12 항에 있어서,상기 광흡수층 상에 버퍼층 및 고저항 윈도우층 중 적어도 하나의 층이 형성되며, 상기 버퍼층 및 고저항 윈도우층 중 적어도 하나의 층 상에 형성된 전면전극층을 포함하는,박막 태양전지
14 14
제 12 항에 있어서,상기 제 2 박막층은 상기 제 1 박막층보다 산소 함유량이 더 높으며,상기 산소는 상기 제 1 박막층 또는 상기 제 2 박막층의 기공내에 함유되는,박막 태양전지
15 15
제 12 항에 있어서,상기 제 1 박막층 및 상기 제 2 박막층 중 어느 하나 이상은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 또는 크롬(Cr)을 포함하는, 박막 태양전지
16 16
제 12 항에 있어서,상기 제 2 박막층의 미세구조는 깊이에 따라 기공도가 변하는 기공경사층(void-graded)을 형성하고,상기 제 1 박막층과 접하는 상기 제 2 박막층의 하부는 상기 제 2 박막층의 상부보다 상대적으로 상기 기공이 더 적고 치밀한 구조를 갖는,박막 태양전지
17 17
제 12 항에 있어서,상기 제 1 박막층 및 상기 제 2 박막층의 평균 비저항은 3×10-5Ω㎝ 이하(0 초과)인,박막 태양전지
18 18
제 12 항에 있어서,상기 제 2 박막층의 두께는 10㎚ 내지 200㎚ 이하인,박막 태양전지
19 19
삭제
20 20
제 12 항에 있어서,상기 광흡수층은 구리(Cu), 인듐(In), 및 갈륨(Ga)을 포함하는 예비 광흡수층 상에 셀렌화(selenization) 및 황화(sulfurization)를 수행함으로써 형성된,박막 태양전지
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국과학기술연구원 에너지국제공동연구(전력기금) 레이저 미세가공 기반 유연 CIGS 박막 태양전지 단일집적 모듈화 기술
2 미래창조과학부 한국과학기술연구원 기후변화대응기술개발 수요대응형 태양광모듈 구현을 위한 비접촉식 박막미세가공 기술 개발