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도금액 내 감속제의 평균 분자량 측정방법

  • 기술번호 : KST2019011858
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예는 기본 도금액을 준비하고, 상기 기본 도금액에 분자량을 알고 있는 감속제를 포함시키는 단계(단계 1); 순환전압전류법(Cyclic Voltammetry)을 통해, 상기 기본 도금액의 감속제 농도에 따라 QR-QF 값을 도출하는 단계(단계 2); 상기 단계 1에서 또 다른 분자량의 감속제를 포함하는 기본 도금액을 준비하고 상기 단계 2를 수행하는 단계(단계 3); 상기 단계 3을 복수 회 반복하여, 감속제 분자량에 따른 최대 QR-QF 값을 도시하는 검정곡선을 도출하는 단계(단계 4); 및 순환전압전류법을 통해, 분자량을 측정하고자 하는 감속제를 포함하는 측정 도금액을 상기 단계 1의 기본 도금액에 특정 부피만큼 순차적으로 첨가함에 따라 최대 QR-QF 값을 도출하고, 상기 검정곡선과 비교하여 상기 측정 도금액의 감속제 분자량을 측정하는 단계(단계 5);를 포함하는, 도금액 내 감속제의 평균 분자량 측정방법을 제공하며, 상기 QR-QF는 순환전압전류법에서 (역방향 주사(return sweep)에서 도금량-정방향 주사(forward sweep)에서 도금량)이다.
Int. CL G01N 27/26 (2006.01.01)
CPC G01N 27/26(2013.01)
출원번호/일자 1020160142326 (2016.10.28)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1725456-0000 (2017.04.05)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170410) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.10.28)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재정 대한민국 서울시 서초구
2 최승회 대한민국 서울특별시 양천구
3 김회철 대한민국 서울특별시 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교 산학협력단 서울특별시 관악구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2016.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-1055230-41
2 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-1055216-12
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.11.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.12.09 수리 (Accepted) 9-1-2016-0049716-62
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.12.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0899903-45
6 [출원서 등 보정(보완)]보정서
2017.01.05 수리 (Accepted) 1-1-2017-0015229-89
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.01.05 수리 (Accepted) 1-1-2017-0015228-33
8 [공지예외적용 보완 증명서류]서류제출서
2017.01.05 수리 (Accepted) 1-1-2017-0015231-71
9 등록결정서
Decision to grant
2017.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0233970-97
10 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.05.04 수리 (Accepted) 1-1-2017-0433308-81
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기본 도금액을 준비하고, 상기 기본 도금액에 분자량을 알고 있는 감속제를 포함시키는 단계(단계 1);순환전압전류법(Cyclic Voltammetry)을 통해, 상기 기본 도금액의 감속제 농도에 따라 QR-QF 값을 도출하는 단계(단계 2);상기 단계 1에서 또 다른 분자량의 감속제를 포함하는 기본 도금액을 준비하고 상기 단계 2를 수행하는 단계(단계 3);상기 단계 3을 복수 회 반복하여, 감속제 분자량에 따른 최대 QR-QF 값을 도시하는 검정곡선을 도출하는 단계(단계 4); 및순환전압전류법을 통해, 분자량을 측정하고자 하는 감속제를 포함하는 측정 도금액을 상기 단계 1의 기본 도금액에 특정 부피만큼 순차적으로 첨가함에 따라 최대 QR-QF 값을 도출하고, 상기 검정곡선과 비교하여 상기 측정 도금액의 감속제 분자량을 측정하는 단계(단계 5);를 포함하는, 도금액 내 감속제의 평균 분자량 측정방법:(상기 QR-QF는 순환전압전류법에서 (역방향 주사(return sweep)에서 도금량-정방향 주사(forward sweep)에서 도금량)이다)
2 2
제1항에 있어서,상기 기본 도금액 또는 측정 도금액은 구리 화합물을 포함하고,상기 구리 화합물은 황산구리(CuSO4), 질산구리(Cu(NO3)2), 탄산구리(CuCO3), 아세트산구리(Cu(CO2CH3)2), 시안화구리(CuCN), 염화구리(CuCl2) 및 과염소산구리(Cu(ClO4)2)로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 도금액 내 감속제의 평균 분자량 측정방법
3 3
제2항에 있어서,상기 기본 도금액 또는 측정 도금액의 구리 화합물 농도는,0
4 4
제1항에 있어서,상기 감속제는,폴리에틸렌 글리콜(polyethylen glycol), 폴리프로필렌 글리콜(polypropylene glycol), 폴리옥시에틸렌 글리콜(polyoxyethylene glycol), 폴리에틸렌이민(polyethyleneimine) 및 이들의 공중합체로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 도금액 내 감속제의 평균 분자량 측정방법
5 5
제1항에 있어서,상기 감속제의 분자량은,100 내지 100,000인 것을 특징으로 하는 도금액 내 감속제의 평균 분자량 측정방법
6 6
제1항에 있어서,상기 기본 도금액 또는 측정 도금액의 감속제 농도는,0
7 7
제1항에 있어서,상기 기본 도금액 또는 측정 도금액은 지지전해질을 더 포함하고,상기 지지전해질은 황산(H2SO4), 시트르산(HOC(COOH)(CH2COOH)2), 과염소산(HClO4), 메탄술폰산(CH3SO3H), 황산나트륨(Na2SO4), 황산칼륨(K2SO4) 및 붕산(H3BO3)으로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 도금액 내 감속제의 평균 분자량 측정방법
8 8
제1항에 있어서,상기 기본 도금액 또는 측정 도금액은 염화물(chloride)를 더 포함하고,상기 염화물은 염산(HCl), 염화나트륨(NaCl), 염화칼륨(KCl)으로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 도금액 내 감속제의 평균 분자량 측정방법
9 9
제8항에 있어서,상기 기본 도금액 또는 측정 도금액의 염화물 농도는,0
10 10
제1항에 있어서,상기 역방향 주사 도금량 또는 정방향 주사 도금량은,상기 순환전압전류법으로 역방향 또는 정방향 주사 시, 전압 대비 전류밀도 곡선의 면적(적분값)을 주사 속도로 나누어 도출하는 것을 특징으로 하는 도금액 내 감속제의 평균 분자량 측정방법
11 11
도금액 시료 채취부;상기 채취부 내 시료의 감속제 평균 분자량 데이터를 제1항의 방법을 통해 측정하는 측정부; 및상기 측정부에서 측정한 데이터와 기설정된 데이터를 비교하여 이상 여부를 판단하는 정보처리부;를 포함하는 도금액 내 감속제 모니터링 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한양대학교 에리카 산학협력단 전자정보디바이스산업원천기술개발 High Aspect Ratio 미세 via 증착 기술