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가시광/근적외선 초분광 현미경기반 영상 측정장치를 이용한 영상 측정방법

  • 기술번호 : KST2019011918
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 가시광/근적외선 초분광 현미경기반 영상 측정장치를 이용한 영상 측정방법에 관한 것으로서, 시편이 구비되는 측정판을 X,Y축 방향으로 이동시킬 수 있는 변위 스테이지; 측정판 위에 구비되어 측정판과의 거리를 조절하는 한편 시편의 상이 입력되는 대물렌즈; 대물렌즈 위에 구비되어 긴 파장의 광을 투과시키는 롱 패스 필터; 롱 패스 필터 위에 구비되어 롱 패스 필터를 투과한 광의 색수차를 제거하는 색지움 렌즈; 색지움 렌즈를 투과한 광이 입사되는 입사 슬릿; 입사 슬릿을 통과한 광을 평행광으로 반사시키는 시준미러; 시준 미러에서 반사된 광을 해당 광의 파장에 따라 회절시키는 회절판; 회절판에서 회절된 광을 집광하여 반사시키는 집광미러; 및 집광미러에서 반사된 초분광 스펙트럼이 측정되는 검출기;를 포함하는 가시광/근적외선 초분광 현미경기반 영상 측정장치를 이용한 영상 측정방법을 제공한다.
Int. CL G01J 3/02 (2006.01.01) G01N 21/31 (2006.01.01) G02B 21/26 (2006.01.01) G02B 27/00 (2020.01.01)
CPC G01J 3/0291(2013.01) G01J 3/0291(2013.01) G01J 3/0291(2013.01) G01J 3/0291(2013.01) G01J 3/0291(2013.01)
출원번호/일자 1020170012625 (2017.01.26)
출원인 서울대학교산학협력단, 코리아스펙트랄프로덕츠(주)
등록번호/일자 10-1872240-0000 (2018.06.22)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180629) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.01.26)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
2 코리아스펙트랄프로덕츠(주) 대한민국 서울특별시 구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기석 대한민국 세종특별자치시 달빛로 ** (
2 이창석 대한민국 서울특별시 양천구
3 김영민 대한민국 경기도 부천시 안곡로***번길 *
4 김동희 대한민국 서울특별시 동작구
5 홍석주 대한민국 충청북도 청주시 흥덕구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이충한 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, 영진벤처빌딩 *층 (서초동)(라온국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 서울특별시 관악구
2 코리아스펙트랄프로덕츠(주) 서울특별시 구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2017-0094462-96
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.11.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.01.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0012222-05
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.01.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0064869-08
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.03.23 수리 (Accepted) 1-1-2018-0291493-56
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.03.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0291524-84
7 등록결정서
Decision to grant		 2018.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0293550-54
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.10.13 수리 (Accepted) 4-1-2020-5229791-04
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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가시광/근적외선 초분광 현미경기반 영상 측정장치를 이용한 영상 측정방법으로서, 측정장치는,시편이 구비되는 측정판을 X,Y축 방향으로 이동시킬 수 있는 변위 스테이지; 측정판 위에 구비되어 측정판과의 거리를 조절하는 한편 시편의 상이 입력되는 대물렌즈; 대물렌즈 위에 구비되어 긴 파장의 광을 투과시키는 롱 패스 필터; 롱 패스 필터 위에 구비되어 롱 패스 필터를 투과한 광의 색수차를 제거하는 색지움 렌즈; 색지움 렌즈를 투과한 광이 입사되는 입사 슬릿; 입사 슬릿을 통과한 광을 평행광으로 반사시키는 시준미러; 시준 미러에서 반사된 광을 해당 광의 파장에 따라 회절시키는 회절판; 회절판에서 회절된 광을 집광하여 반사시키는 집광미러; 및 집광미러에서 반사된 초분광 스펙트럼이 측정되는 검출기;를 포함하고,측정방법은,초분광 영상을 측정하고자 하는 시편을 준비하는 단계; 준비된 시편에 광을 제공하고 반사된 광에 의한 시편의 이미지 정보가 입사 슬릿을 통해 입사되는 단계; 입사 슬릿으로 입사된 이미지 정보가 분산되어 검출기에 수집되는 단계; 검출기에서 수집된 초분광 이미지를 스캔하여 초분광 영상을 구현하는 단계; 구현된 초분광 영상에서 아웃라이어를 제거하여 필터링하는 단계; 및 파장대역별 분광 영상을 추출하여 마이크로 스케일의 미세패턴과 결함을 비파괴적으로 검출하는 분석단계;를 포함하며,분석단계에서의 파장대역별 분광 영상을 추출하여 마이크로 스케일의 미세패턴과 결함은 하기의 식에 의해 비파괴적으로 검출되는 가시광/근적외선 초분광 현미경기반 영상 측정장치를 이용한 영상 측정방법
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삭제
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삭제
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청구항 1에 있어서, 측정된 초분광 이미지의 스펙트럼 데이터를 이용하여 초분광 영상을 구현하기 위해서는 실시간으로 측정되는 모든 스펙트럼 정보에 대해 하기의 식에 의한 반사스펙트럼을 이용한 캘리브레이션이 적용되는 가시광/근적외선 초분광 현미경기반 영상 측정장치를 이용한 영상 측정방법
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삭제
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청구항 1에 있어서, 분석단계에서의 파장대역별 분광 영상을 추출하여 마이크로 스케일의 미세패턴과 결함은 하기의 식에 의해 비파괴적으로 검출되는 가시광/근적외선 초분광 현미경기반 영상 측정장치를 이용한 영상 측정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 서울지방중소기업청 서울대학교 산학협력단 산학연협력 기술개발사업 3D-IC 반도체 모듈의 내부결함 검사를 위한 초분광 영상기반 검출모듈 개발