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광유체적 리소그래피 시스템 및 마이크로구조물 제조방법

  • 기술번호 : KST2015135329
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 막(membrane), 유체관 및 공기 체임버를 구비하는 광유체적 리소그래피 시스템이 개시된다. 상기 막은 상기 유체관과 상기 공기 체임버 사이에 위치한다. 상기 유체관은 내부에 유체가 있고, 상기 막의 변위에 대응하는 높이를 가진다. 상기 공기 체임버는 내부 기압에 따라 상기 막의 변위를 유도한다.
Int. CL B81C 1/00 (2006.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01) G02B 27/00 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020080088683 (2008.09.09)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1004769-0000 (2010.12.22)
공개번호/일자 10-2010-0029962 (2010.03.18) 문서열기
공고번호/일자 (20110104) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.09.09)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권성훈 대한민국 서울 관악구
2 이승아 대한민국 경기 여주군
3 박욱 대한민국 서울 강서구
4 정수은 대한민국 서울 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남정길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 인화빌딩 *층 (삼성동)(특허법인(유한)아이시스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 퀀타매트릭스 서울특별시 종로구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.09.09 수리 (Accepted) 1-1-2008-0638609-15
2 보정요구서
Request for Amendment		 2008.09.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2008-0114762-29
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2008.09.24 수리 (Accepted) 1-1-2008-0669468-89
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2008.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2008-0818217-98
5 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2009.09.01 수리 (Accepted) 1-1-2009-0537303-93
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.09.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.10.13 수리 (Accepted) 9-1-2009-0056947-24
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.07.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0303789-41
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2010.09.15 수리 (Accepted) 1-1-2010-0601013-17
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.10.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0663765-53
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.10.14 수리 (Accepted) 1-1-2010-0663767-44
12 등록결정서
Decision to grant		 2010.12.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0579622-86
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5195109-43
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-5007213-54
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
공기 체임버와 유체관 사이에 위치하는 막(membrane); 상기 막의 변위에 대응하여 변화되는 높이를 가지며, 내부에 유입되는 광경화성 유체에 대하여 빛을 노출시켜 상기 광경화성 유체로부터 마이크로구조물을 형성하는 유체관; 내부 기압에 따라 상기 막의 상기 변위를 유도하는 공기 체임버; 상기 유체관 내의 상기 광경화성 유체에 제공되는 상기 빛을 발생하는 광원; 및 상기 광원에서 제공하는 빛을 변조(modulation)하는 공간 광 변조기를 를 구비하되, 상기 형성되는 마이크로구조물은 상기 막의 상기 변위에 따라 입체적 형태가 변화하는 광유체적 리소그래피 시스템
2 2
제1항에 있어서, 상기 막은 PDMS(polydimethylsiloxane) 재질로 된 광유체적 리소그래피 시스템
3 3
제1항에 있어서, 상기 유체는 광경화성 유체(photocurable fluid)인 광유체적 리소그래피 시스템
4 4
제1항에 있어서, 상기 공기 체임버는 공기주입펌프와 연결되어, 상기 공기 체임버에 공기가 유입되거나 상기 공기 체임버로부터 공기가 배출되는 광유체적 리소그래피 시스템
5 5
제1항에 있어서, 상기 유체관에 상기 광경화성 유체가 주입되는 주입관과 상기 유체관에서 상기 광경화성 유체가 배출되는 배출관을 구비하는 더 구비하는 광유체적 리소그래피 시스템
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
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9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
삭제
12 12
(a) 2층구조 마이크로유체관의 하부에 있는 유체관에 유체를 주입하는 단계; (b) 상기 유체관의 상부에 있는 공기 체임버에 공기를 주입하거나 배출하여 상기 유체관과 상기 공기 체임버 사이에 형성된 막(membrane)을 변형하여 상기 유체관의 높이를 조절하는 단계; 및 (c) 상기 유체관에 빛을 조사하여 상기 유체를 경화시켜 기판 위에 층(layer)을 형성하는 단계를 포함하되, 상기 빛은 공간 광 변조기에 의해 변조된 후에 상기 유체관에 조사되며, 상기 형성되는 층은 상기 막의 변위에 따라 입체적 형태가 변화하는 마이크로구조물 제조방법
13 13
제12항에 있어서, (d) 상기 공기 체임버의 내부 기압을 낮추어 상기 유체관의 높이를 높이고, 상기 유체관에 빛을 조사하여 기판 위에 형성된 상기 층 위에 새로운 층을 형성하는 단계를 더 포함하는 마이크로구조물 제조방법
14 14
제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 유체는 광경화성 유체(photocurable fluid)인 마이크로구조물 제조방법
15 15
제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 유체관에 상기 빛을 0
16 16
제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 빛은 X선, 자외선 및 가시광선 중 어느 하나인 마이크로구조물 제조방법
17 17
제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 공간 광 변조기에 의해 변조되는 상기 빛은 상기 유체관 내부에 원하는 모양의 층을 형성하는 마이크로구조물 제조방법
18 18
제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 유체관에 순차적으로 다른 종류의 마이크로유체를 주입하고 상기 빛에 의해 상기 다른 종류의 마이크로유체를 경화시켜 물질조성이 각기 다른 이질적인(heterogenous) 마이크로구조물을 형성하는 단계를 더 포함하는 마이크로구조물 제조방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US08246889 US 미국 FAMILY
2 US08641404 US 미국 FAMILY
3 US20100060875 US 미국 FAMILY
4 US20130176543 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2010060875 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US2013176543 US 미국 DOCDBFAMILY
3 US8246889 US 미국 DOCDBFAMILY
4 US8641404 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 서울특별시 서울대학교 산학협력단 서울시 산학연 협력사업(2007년 신기술 연구개발 지원사업) 광미세유체 마스크리스 리소그래피 시스템 장비 개발 및 응용