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개시제를 이용한 화학 기상 증착의 다층 시스템 및 방법

  • 기술번호 : KST2019012176
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 개시제를 이용한 화학 기상 증착(Initiated Chemical Vapor Deposition, iCVD)의 다층 시스템은 내부에 기판을 수용할 수 있는 복수의 챔버; 상기 복수의 챔버 각각에 단량체를 주입하는 복수의 단량체 주입부; 상기 복수의 챔버 각각에 개시제를 주입하는 복수의 개시제 주입부; 상기 단량체 및 상기 개시제를 이용하여 상기 기판에 박막을 형성하기 위해 상기 복수 개의 챔버 각각의 온도를 조절하는 복수의 온도 조절부를 포함할 수 있다.
Int. CL C23C 16/448 (2006.01.01) C23C 16/54 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020180015112 (2018.02.07)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-2171476-0000 (2020.10.23)
공개번호/일자 10-2019-0004635 (2019.01.14) 문서열기
공고번호/일자 (20201029) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020170084766   |   2017.07.04
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.02.07)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임성갑 대전광역시 유성구
2 최준환 대전광역시 유성구
3 이민석 대전광역시 유성구
4 문희연 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 양성보 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로***길 ** (논현동) 삼성빌딩 *층(피앤티특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.02.07 수리 (Accepted) 1-1-2018-0135642-48
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.03.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.05.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0118756-50
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.10.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0786806-12
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2019-1356500-15
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2020.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2020-0093567-06
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.03.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0221926-19
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2020.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2020-0221925-63
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
12 등록결정서
Decision to grant
2020.07.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0505425-76
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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내부에 기판을 수용할 수 있는 챔버가 수직으로 적층된 복수의 챔버;상기 복수의 챔버 각각에 단량체를 주입하는 복수의 단량체 주입부;상기 복수의 챔버 각각에 개시제를 주입하는 복수의 개시제 주입부;상기 단량체 및 상기 개시제를 이용하여 상기 기판에 박막을 형성하기 위해 상기 복수 개의 챔버 각각의 온도를 조절하는 복수의 온도 조절부;자유 라디칼(free radical)을 형성하기 위하여 상기 개시제를 열분해하는 가열부; 및상기 자유 라디칼과 상기 단량체를 상기 기판에 흡착시키기 위해 상기 복수의 챔버 각각의 적어도 일부분의 온도를 낮추는 냉각부를 포함하되,상기 복수의 단량체 주입부는상기 복수의 챔버 각각에 수용된 기판마다 서로 다른 박막이 형성되도록 하기 위하여 상기 복수의 챔버 각각에 서로 다른 단량체를 주입하며,상기 가열부는상기 복수의 챔버 각각에 서로 다른 단량체가 주입되는 경우, 상기 서로 다른 단량체 각각이 상기 개시제와 함께 열분해되지 않도록 서로 다른 온도로 상기 개시제를 열분해하는 것을 특징으로 하는, 다층 iCVD 시스템
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내부에 기판을 수용할 수 있는 챔버가 수직으로 적층된 복수의 챔버 각각에 기판을 삽입하는 단계;상기 복수의 챔버 각각에 개시제를 주입하는 단계;상기 복수의 챔버 각각에 단량체를 주입하는 단계;자유 라디칼을 형성하기 위하여 가열하는 단계; 및상기 자유 라디칼과 상기 단량체를 상기 기판 상에 흡착시켜 박막을 형성하기 위하여 냉각하는 단계를 포함하되,상기 단량체를 주입하는 단계는상기 복수의 챔버 각각에 수용된 기판마다 서로 다른 박막이 형성되도록 하기 위하여 상기 복수의 챔버 각각에 서로 다른 단량체를 주입하며,상기 가열하는 단계는상기 복수의 챔버 각각에 서로 다른 단량체가 주입되는 경우, 상기 서로 다른 단량체 각각이 상기 개시제와 함께 열분해되지 않도록 서로 다른 온도로 상기 개시제를 열분해하는 것을 특징으로 하는, 다층 iCVD 방법
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국과학기술원 원천기술개발사업-나노기반 소프트 일렉트로닉스 연구 기상증착 고분자 기반 고성능 절연소재 개발
2 미래창조과학부 한국과학기술원 이공분야 기초연구사업 - 이공학분야 (S/ERC) 웨어러블 플랫폼소재 기술센터