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플라즈마 측정 장치

기술번호 : KST2019013596
담당센터 : 서울서부기술혁신센터
전화번호 : 02-6124-6930

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	플라즈마 측정 장치가 개시된다. 플라즈마 측정 장치는 내부에 플라즈마 발생 공간이 제공되며, 상기 플라즈마 발생 공간을 에워싸는 내벽이 제1영역과, 상기 제1영역과 전기적으로 절연된 제2영역을 갖는 반응기; 및 상기 제1영역 및 상기 제2영역과 전기적으로 연결되며, 상기 제1영역과 상기 제2영역에 전압 신호를 인가하고 그에 대한 응답 전류 신호를 측정하여 상기 제1영역 및 상기 제2영역과 접촉되는 플라즈마의 상태를 계측하는 플라즈마 계측부를 포함할 수 있다.
Int. CL	H01J 37/32 (2006.01.01) H05H 1/00 (2006.01.01)
CPC	H01J 37/32935(2013.01) H01J 37/32935(2013.01)
출원번호/일자	1020180020365 (2018.02.21)
출원인	한양대학교 산학협력단
등록번호/일자	10-1994036-0000 (2019.06.21)
공개번호/일자
공고번호/일자	(20190627) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2018.02.21)
심사청구항수	7

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	한양대학교 산학협력단	대한민국	서울특별시 성동구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	정진욱		서울특별시 성동구
2	박지환		서울특별시 성동구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	박상열	대한민국	서울 금천구 가산디지털로 층 ****호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	한양대학교 산학협력단	대한민국	서울특별시 성동구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2018.02.21	수리 (Accepted)	1-1-2018-0180800-11
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2018.12.10	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	심사처리보류(연기)보고서 Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination	2019.01.07	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-6-2019-0001225-18
4	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2019.02.14	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-6-2019-0015888-30
5	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2019.02.15	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2019-0112955-21
6	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2019.04.12	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2019-0376716-04
7	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2019.04.12	수리 (Accepted)	1-1-2019-0376715-58
8	[출원서 등 보정(보완)]보정서	2019.04.12	수리 (Accepted)	1-1-2019-0376726-50
9	[공지예외적용 보완 증명서류]서류제출서	2019.04.12	수리 (Accepted)	1-1-2019-0376734-15
10	등록결정서 Decision to grant	2019.06.20	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2019-0445325-09
11	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.08.05	수리 (Accepted)	4-1-2019-5155816-75
12	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.08.06	수리 (Accepted)	4-1-2019-5156285-09

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 내부에 플라즈마 발생 공간이 제공되며, 상기 플라즈마 발생 공간을 에워싸는 내벽이 제1영역과, 상기 제1영역과 전기적으로 절연된 제2영역을 갖는 반응기; 및상기 제1영역 및 상기 제2영역과 전기적으로 연결되며, 상기 제1영역과 상기 제2영역에 전압 신호를 인가하고 그에 대한 응답 전류 신호를 측정하여 상기 제1영역 및 상기 제2영역과 접촉되는 플라즈마의 상태를 계측하는 플라즈마 계측부를 포함하는 플라즈마 측정 장치
2	2 제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 계측부는,상기 전압 신호를 발생하는 신호 발생기;상기 신호 발생기와 상기 제1영역을 연결하는 제1배선;상기 제2영역과 상기 신호 발생기를 연결하는 제2배선;상기 제1배선과 상기 제2배선에 흐르는 상기 응답 전류 신호를 측정하는 신호 측정부; 및상기 신호 측정부에 측정된 상기 응답 전류 신호로부터 상기 제1영역과 접촉하는 플라즈마의 밀도와 전자온도를 산출하고, 상기 제2영역과 접촉하는 플라즈마의 밀도와 전자온도를 산출하는 데이터 연산부를 포함하는 플라즈마 측정 장치
3	3 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제1영역과 상기 제2영역은 금속 재질인 플라즈마 측정 장치
4	4 제 2 항에 있어서,상기 제1영역과 상기 제2영역 각각은,전면이 상기 플라즈마 발생 공간에 노출되는 유전체 재질의 윈도우;상기 윈도우의 후면과 결합하며, 상기 제1배선 또는 상기 제2배선과 연결되는 금속 재질의 전류수집판을 포함하는 플라즈마 측정 장치
5	5 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 반응기의 내벽에는 상기 제1영역과 상기 제2영역을 상기 반응기의 내벽의 다른 영역으로부터 절연시키는 유전체 재질의 절연 링이 제공되는 플라즈마 측정 장치
6	6 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 반응기는 상부벽, 측벽, 그리고 하부벽이 서로 조합하여 상기 플라즈마 발생 공간을 형성하며,상기 제1영역은 상기 하부벽에 위치하고, 상기 제2영역은 상기 측벽에 위치하는 플라즈마 측정 장치
7	7 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 반응기는 상부벽, 측벽, 그리고 하부벽이 서로 조합하여 상기 플라즈마 발생 공간을 형성하며,상기 제1영역은 상기 하부벽에 위치하고, 상기 제2영역은 상기 상부벽에 위치하는 플라즈마 측정 장치

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	WO2019164121	WO	세계지적재산권기구(WIPO)	FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	WO2019164121	WO	세계지적재산권기구(WIPO)	DOCDBFAMILY

순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번	연구부처	주관기관	연구사업	연구과제
1	산업통상자원부	한국산업기술평가관리원	산업기술혁신사업 / 미래성장동력기술개발사업 / 소재부품산업미래성장동력(RCMS)	대면적 디스플레이용 유도결합 플라즈마 건식 식각공정에서 플라즈마 해석 기술개발
2	산업통상자원부	한국산업기술평가관리원	산업기술혁신사업 / 산업핵심기술개발사업 / 전자정보디바이스산업원천기술개발사업(RCMS)	Dry Strip용 플라즈마 소스 개발

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-1994036-0000

권리란

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표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20180221 출원 번호 : 1020180020365 공고 연월일 : 20190627 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20190620 청구범위의 항수 : 7 유별 : H01J 37/32 발명의 명칭 : 플라즈마 측정 장치 존속기간(예정)만료일 :

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 한양대학교 산학협력단 서울특별시 성동구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	159,000 원	2019년 06월 21일	납입

본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2018.02.21	수리 (Accepted)	1-1-2018-0180800-11
2	선행기술조사의뢰서	2018.12.10	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	심사처리보류(연기)보고서	2019.01.07	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-6-2019-0001225-18
4	선행기술조사보고서	2019.02.14	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-6-2019-0015888-30
5	의견제출통지서	2019.02.15	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2019-0112955-21
6	[명세서등 보정]보정서	2019.04.12	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2019-0376716-04
7	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2019.04.12	수리 (Accepted)	1-1-2019-0376715-58
8	[출원서 등 보정(보완)]보정서	2019.04.12	수리 (Accepted)	1-1-2019-0376726-50
9	[공지예외적용 보완 증명서류]서류제출서	2019.04.12	수리 (Accepted)	1-1-2019-0376734-15
10	등록결정서	2019.06.20	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2019-0445325-09
11	출원인정보변경(경정)신고서	2019.08.05	수리 (Accepted)	4-1-2019-5155816-75
12	출원인정보변경(경정)신고서	2019.08.06	수리 (Accepted)	4-1-2019-5156285-09

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