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투명성이 있는 평판 샘플의 두께와 군굴절률, 파장에 따른 위상 굴절률 값을 측정하는 방법으로서,광원과 광 스펙트럼 분석기를 사용하여 광을 투명 윈도우와 거울로 구성된 페브리-페롯 간섭계에 비추어 간섭무늬를 측정하는 제1 단계;상기 간섭계 내부에 투명도가 있는 평판 샘플을 광선에 수직하게 삽입하여 간섭무늬를 다시 측정하는 제2 단계;상기 제1 단계와 제2 단계로부터 측정된 간섭무늬 스펙트럼 각각에 대한 푸리에 변환(Fourier Transform)하여 주파수 분포를 구하는 제3 단계;푸리에 변환된 주파수와 간섭계 간격 및 샘플 두께와의 환산 값을 구하는 제4 단계;상기 간섭계의 투명 윈도우와 거울 및 상기 평판 샘플의 각 면 사이의 간격에 해당하는 주파수 성분으로부터 평판 샘플의 두께와 군굴절률을 구하는 제5 단계;상기 제2 단계에서 평판 샘플이 삽입된 경우의 간섭무늬를 푸리에 변환한 주파수 분포에서 샘플의 양면에 의한 간섭무늬에 해당하는 주파수만을 필터링하여 상기 평판 샘플에 기인하는 간섭무늬를 추출하는 제6 단계; 상기 제6 단계에서 상기 평판 샘플에 의한 간섭무늬의 피크점들을 찾아 파장이 가장 짧은 피크와 파장이 긴 쪽의 바로 다음 2번째 피크 간의 파장 간격을 주파수 간격(Δν)으로 바꾸어 하기의 식 (a)로부터 임시 굴절률(n)을 구하는 제7 단계; 상기 제7 단계에서 평판 샘플 양면 간의 간격이 해당 피크의 반파장에 몇 배가 되는지를 하기의 식 (b)로부터 정수(m) 값을 구한 후 상기 2번째 피크 파장에서의 위상굴절률(n(λ))을 하기의 식 (c)로부터 구하는 제8 단계; 및 상기 제8 단계에서 상기 2번째 다음 피크 파장들에 대해서는 상기 m 보다 1을 순차적으로 뺀 정수 값을 m 값으로 하고, 상기 피크 파장에서의 위상굴절률n(λ)을 하기의 식 (c)로부터 계산하여 위상굴절률 분포를 구하는 제9 단계;를 포함하는, 페브리-페롯 간섭계 기반 평판의 두께 및 굴절률 측정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 제4 단계는, 평판 샘플의 두께와 굴절률을 아는 기준 샘플을 사용하여 교정하는 단계를 더 포함하는, 페브리-페롯 간섭계 기반 평판의 두께 및 굴절률 측정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 제4 단계는, 평판 샘플을 페브리-페롯 간섭계 내에서 아는 거리만큼 이동할 때 푸리에 변환 주파수 변화 정도를 측정하여 푸리에 변환 주파수와 거리 관계를 교정하는 단계를 더 포함하는, 페브리-페롯 간섭계 기반 평판의 두께 및 굴절률 측정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 제5 단계는, 다층 박막으로 구성된 평판 샘플을 이용하는 경우에는 측정된 간섭무늬 스펙트럼의 푸리에 변환된 주파수 분포 가운데, 각 박막 층에 해당하는 주파수를 분리하여 분석함으로써 투명성이 있는 평판 샘플의 두께와 파장에 따른 위상 굴절률 값을 측정하는 단계를 포함하는, 페브리-페롯 간섭계 기반 평판의 두께 및 굴절률 측정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 페브리-페롯 간섭계는, 빛을 발산하는 광원을 포함하며, 상기 광원에 연결된 광섬유, 상기 광섬유에 연결된 광섬유 커플러, 상기 광섬유 커플러의 반대편에 연결된 간섭계용 광섬유, 상기 간섭계용 광섬유 끝단에 연결된 광 시준용 렌즈, 상기 렌즈의 끝단과 평행하여 놓여 있는 투명 윈도우와 거울 및 상기 광섬유 커플러의 광원 쪽에 달린 다른 팔의 광섬유와 광섬유에 연결된 광 스텍트럼분석기로 구성되며, 상기 평판 샘플은 광원 빔에 수직하고 상기 윈도우와 거울과는 평행하도록 위치시키는 구도를 사용하는, 페브리-페롯 간섭계 기반 평판의 두께 및 굴절률 측정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 페브리-페롯 간섭계는, 광섬유가 연결되지 않은 상태에서 빛을 발산하는 광원 및 벌크형 빔 분파기와 광 스펙트럼분석기 그리고 상기 광원 빔에 수직하게 놓여 있는 투명 윈도우 및 거울, 광 시준기 및 집속렌즈로 구성되고, 상기 평판 샘플은 광원 빔에 수직하고 상기 윈도우와 거울과는 평행하도록 위치시키는 구도를 사용하는, 페브리-페롯 간섭계 기반 평판의 두께 및 굴절률 측정 방법
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