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간섭계형 시료 형상 측정 방법 및 장치

기술번호 : KST2015157545
담당센터 : 인천기술혁신센터
전화번호 : 032-420-3580

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	간섭계형 시료 형상 측정 방법 및 장치가 제공된다. 시료를 이동 또는 회전시키는 스테이지; 상기 시료의 분석을 위한 탐지광을 투사하는 광원; 상기 탐지광을 반사하는 기준 거울; 상기 탐지광을 상기 기준 거울 및 상기 시료 측으로 분배하는 광 분배기; 및 상기 탐지광을 분석하여 상기 시료의 특성을 판별하는 분석 장치가 개시되며, 상기 광 분배기는 상기 기준 거울 및 상기 시료로부터 반사되는 상기 탐지광을 상기 분석 장치 측으로 제공한다. 간섭계, 탐지광, 표면 측정
Int. CL	G01B 11/24 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01) G01N 21/00 (2006.01)
CPC	G01B 9/02027(2013.01) G01B 9/02027(2013.01) G01B 9/02027(2013.01) G01B 9/02027(2013.01) G01B 9/02027(2013.01)
출원번호/일자	1020090012363 (2009.02.16)
출원인	인하대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자	10-2010-0093256 (2010.08.25) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	거절
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2009.02.16)
심사청구항수	2

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	인하대학교 산학협력단	대한민국	인천광역시 미추홀구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	오범환	대한민국	인천광역시 연수구
2	임해동	대한민국	인천광역시 부평구
3	이민우	대한민국	인천광역시 부평구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	특허법인 무한	대한민국	서울특별시 강남구 언주로 **, 층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2009.02.16	수리 (Accepted)	1-1-2009-0093477-25
2	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2009.11.17	수리 (Accepted)	4-1-2009-5220324-82
3	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2010.06.10	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
4	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2010.07.13	수리 (Accepted)	9-1-2010-0042325-98
5	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2011.03.29	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2011-0170536-66
6	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2011.05.30	수리 (Accepted)	1-1-2011-0402956-13
7	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2011.05.30	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2011-0402958-04
8	거절결정서 Decision to Refuse a Patent	2011.11.30	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2011-0712719-83
9	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2015.07.22	수리 (Accepted)	4-1-2015-5098802-16
10	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2016.09.05	수리 (Accepted)	4-1-2016-5127132-49
11	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2018.03.02	수리 (Accepted)	4-1-2018-5036549-31
12	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2018.12.27	수리 (Accepted)	4-1-2018-5266647-91

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 시료를 이동 또는 회전시키는 스테이지; 상기 시료의 분석을 위한 탐지광을 투사하는 광원; 상기 탐지광을 반사하는 기준 거울; 상기 탐지광을 상기 기준 거울 및 상기 시료 측으로 분배하는 광 분배기; 및 상기 탐지광을 분석하여 상기 시료의 특성을 판별하는 분석 장치 를 포함하고, 상기 광 분배기는 상기 기준 거울 및 상기 시료로부터 반사되는 상기 탐지광을 상기 분석 장치 측으로 제공하는 간섭계형 시료 형상 측정 장치
2	2 제1항에 있어서, 상기 스테이지는, 상기 시료를 이동 또는 회전시킨 정보를 상기 분석 장치 측으로 제공하는 간섭계형 시료 형상 측정 장치
3	3 제1항에 있어서, 상기 광 분배기는, 이동 또는 회전하여 상기 시료 측으로 탐지광을 분배하고, 상기 광 분배기의 이동 또는 회전한 정보를 상기 분석 장치 측으로 제공하는 간섭계형 시료 형상 측정 장치
4	4 제2항에 있어서, 상기 분석 장치는, 상기 스테이지가 상기 시료를 이동 또는 회전시킨 정보에 기초해 상기 탐지광을 분석하여 상기 시료의 특성을 판별하는 간섭계형 시료 형상 측정 장치
5	5 스테이지가 시료를 이동 또는 회전시키는 단계; 광원이 상기 시료의 분석을 위한 탐지광을 투사하는 단계; 기준 거울이 상기 탐지광을 반사하는 단계; 광 분배기가 상기 탐지광을 상기 기준 거울 및 상기 시료 측으로 분배하고, 상기 기준 거울 및 상기 시료로부터 반사되는 상기 탐지광을 분석 장치 측으로 제공하는 단계 - 상기 분석 장치는 상기 기준 거울 및 상기 시료로부터 반사되는 상기 탐지광의 간섭 무늬를 분석함 -; 및 상기 분석 장치가 상기 탐지광을 분석하여 상기 시료의 특성을 판별하는 단계 를 포함하는 간섭계형 시료 형상 측정 방법
6	6 제5항에 있어서, 상기 스테이지가 시료를 이동 또는 회전시키는 단계는, 상기 스테이지가 상기 시료를 이동 또는 회전시킨 정보를, 상기 분석 장치 측으로 제공하는 단계 를 더 포함하는 간섭계형 시료 형상 측정 방법
7	7 제5항에 있어서, 상기 기준 거울 및 상기 시료로부터 반사되는 상기 탐지광을 분석 장치 측으로 제공하는 단계는, 상기 광 분배기가 이동 또는 회전하여 상기 시료 측으로 상기 탐지광을 분배하는 단계; 및 상기 광 분배기의 이동 또는 회전한 정보를 상기 분석 장치 측으로 제공하는 단계 를 더 포함하는 간섭계형 시료 형상 측정 방법
8	8 제6항에 있어서, 상기 분석 장치가 상기 탐지광을 분석하여 상기 시료의 특성을 판별하는 단계는, 상기 분석 장치가 상기 스테이지가 상기 시료를 이동 또는 회전시킨 정보에 기초해 상기 탐지광을 분석하여 상기 시료의 특성을 판별하는 단계 인 간섭계형 시료 형상 측정 방법

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2009.02.16	수리 (Accepted)	1-1-2009-0093477-25
2	출원인정보변경(경정)신고서	2009.11.17	수리 (Accepted)	4-1-2009-5220324-82
3	선행기술조사의뢰서	2010.06.10	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
4	선행기술조사보고서	2010.07.13	수리 (Accepted)	9-1-2010-0042325-98
5	의견제출통지서	2011.03.29	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2011-0170536-66
6	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2011.05.30	수리 (Accepted)	1-1-2011-0402956-13
7	[명세서등 보정]보정서	2011.05.30	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2011-0402958-04
8	거절결정서	2011.11.30	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2011-0712719-83
9	출원인정보변경(경정)신고서	2015.07.22	수리 (Accepted)	4-1-2015-5098802-16
10	출원인정보변경(경정)신고서	2016.09.05	수리 (Accepted)	4-1-2016-5127132-49
11	출원인정보변경(경정)신고서	2018.03.02	수리 (Accepted)	4-1-2018-5036549-31
12	출원인정보변경(경정)신고서	2018.12.27	수리 (Accepted)	4-1-2018-5266647-91


과제고유번호	1415097000
세부과제번호	00014823
연구과제명	나노광결정구조를이용한고효율발광및수광소자개발
성과구분	출원
부처명	지식경제부
연구관리전문기관명	한국산업기술평가관리원
연구주관기관명	엘지전자
성과제출연도	2009
연구기간	200110~201007
기여율	1
연구개발단계명	개발연구
6T분류명	NT(나노기술)

특허성과

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