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서로 직렬로 연결된 스위칭 모드의 복수의 DC-AC 인버터의 입력단으로 직류 전원을 입력하는 단계; 및상기 복수의 DC-AC 인버터의 출력단에 연결되는 부하 크기에 기초하여, 상기 복수의 DC-AC 인버터의 출력을 독립적으로 제어하도록, 제어부에서 상기 복수의 DC-AC 인버터로 서로 독립적인 복수의 제어신호를 순차로 출력하는 단계;를 포함하고,상기 복수의 DC-AC 인버터의 출력단은 리모트 플라즈마 생성기(RPG)의 챔버로 연결되고,상기 제어부는 상기 챔버에 플라즈마를 생성하도록 상기 복수의 제어신호를 순차로 출력하고,상기 제어신호는 기본 파형 신호를 위상 천이하여 생성하는 펄스폭 변조(Pulse Width Modulation, PWM) 신호를 포함하고,상기 복수의 제어신호를 순차로 출력하는 단계는, 상기 복수의 DC-AC 인버터 중 적어도 하나의 DC-AC 인버터에 나머지 DC-AC 인버터들과 다른 위상 천이를 갖는 제어신호를 출력하는 단계를 포함하고, 상기 부하에서 요구되는 출력 전압이 소정 크기보다 낮은 경우 상기 복수의 DC-AC 인버터 중 적어도 하나의 DC-AC 인버터의 출력이 0이 되도록 하는 제어신호를 출력하는,DC-AC 인버터의 전원 제어 방법
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제 1 항에 있어서,상기 복수의 제어신호를 순차로 출력하는 단계에서, 상기 제어부는 상기 복수의 DC-AC 인버터에서 출력되는 전압이 펄스 파형에서 정현파 유사 파형으로 변형되도록 상기 제어신호를 출력하는, DC-AC 인버터의 전원 제어 방법
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제 5 항에 있어서,상기 정현파 유사 파형은 최고점, 최저점 및 상기 최고점 및 상기 최저점 사이의 적어도 하나의 중간지점을 대칭적으로 갖는, DC-AC 인버터의 전원 제어 방법
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제 1 항에 있어서,상기 복수의 DC-AC 인버터 각각은 복수의 스위칭 소자; 및상기 복수의 스위칭 소자와 연결되며, 상기 복수의 스위칭 소자의 스위칭에 따라 전압을 입력 받는 변압기;를 포함하며,상기 복수의 스위칭 소자는 상기 제어신호에 기초하여 스위칭되는, DC-AC 인버터의 전원 제어 방법
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전원으로부터 직류 전원을 입력 받고 출력단으로 교류 전원을 출력하도록, 서로 직렬로 연결된 스위칭 모드의 복수의 DC-AC 인버터; 및상기 복수의 DC-AC 인버터의 출력단에 연결되는 부하 크기에 기초하여, 상기 복수의 DC-AC 인버터의 출력을 독립적으로 제어하도록, 상기 복수의 DC-AC 인버터로 서로 독립적인 복수의 제어신호를 순차로 출력하는 제어부;를 포함하고,상기 복수의 DC-AC 인버터의 출력단은 리모트 플라즈마 생성기(RPG)의 챔버로 연결되고,상기 제어부는 상기 챔버에 플라즈마를 생성하도록 상기 복수의 제어신호를 순차로 출력하고,상기 제어신호는 기본 파형 신호를 위상 천이하여 생성하는 펄스폭 변조(Pulse Width Modulation, PWM) 신호를 포함하고,상기 제어부는, 상기 복수의 DC-AC 인버터 중 적어도 하나의 DC-AC 인버터에 나머지 DC-AC 인버터들과 다른 위상 천이를 갖는 제어신호를 출력하고, 상기 부하에서 요구되는 출력 전압이 소정 크기보다 낮은 경우 상기 복수의 DC-AC 인버터 중 적어도 하나의 DC-AC 인버터의 출력이 0이 되도록 하는 제어신호를 출력하는,DC-AC 인버터를 포함하는 전원 장치
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제 8 항에 있어서,상기 제어부는 상기 복수의 DC-AC 인버터에서 출력되는 전압이 펄스 파형에서 정현파 유사 파형으로 변형되도록 상기 제어신호를 출력하는, DC-AC 인버터를 포함하는 전원 장치
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제 10 항에 있어서,상기 정현파 유사 파형은 최고점, 최저점 및 상기 최고점 및 상기 최저점 사이의 적어도 하나의 중간지점을 대칭적으로 갖는, DC-AC 인버터를 포함하는 전원 장치
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제 8 항에 있어서,상기 복수의 DC-AC 인버터 각각은 복수의 스위칭 소자; 및상기 복수의 스위칭 소자와 연결되며, 상기 복수의 스위칭 소자의 스위칭에 따라 전압을 입력 받는 변압기;를 포함하며,상기 복수의 스위칭 소자는 상기 제어신호에 기초하여 스위칭되는, DC-AC 인버터를 포함하는 전원 장치
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