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Cu, In 및 Ga 전구체를 포함하는 용액을 기판 상에 코팅하고 공기 분위기 하에서 열처리하여 CIG(구리인듐갈륨)산화물 박막을 얻는 단계;상기 기판 상에 코팅된 CIG산화물 박막을 불활성 가스 분위기 하에서 열처리하는 제1단계;상기 CIG산화물 박막에 기상의 셀레늄 전구체를 공급하면서 열처리하여 Cu2-xSe (0≤x003c#1) 상을 형성하는 제2단계; 및상기 Cu2-xSe 상이 형성된 박막을 기상의 황 전구체 함유 분위기 하에서 열처리하여 CIGS 박막을 형성하는 제3단계;를 포함하는 태양전지용 CIGS 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1단계의 열처리는 불활성 가스 분위기 하에서 수행되는 태양전지용 CIGS 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1단계의 열처리는 200 내지 400 ℃에서 5 내지 90 분 동안 수행되는 태양전지용 CIGS 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제2단계의 열처리는 상기 제1단계의 열처리 온도보다 더 높은 온도로 승온시켜 진행되는 태양전지용 CIGS 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제2단계는 상기 CIG산화물 박막을 불활성 가스 분위기 하에서 기상의 셀레늄 전구체를 공급하면서 200 내지 600 ℃로 승온시켜 5 내지 120 분 동안 열처리하는 것인 태양전지용 CIGS 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 기상의 셀레늄 전구체는 셀레늄 증기인 태양전지용 CIGS 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제3단계의 열처리는 상기 제2단계의 열처리보다 더 높은 온도로 승온시켜 수행되는 태양전지용 CIGS 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제3단계의 열처리는 상기 제2단계의 열처리 온도에서 단계적으로 승온시키면서 수행되는 태양전지용 CIGS 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제3단계의 열처리는 상기 제2단계의 열처리보다 10 내지 100 ℃의 온도를 더 승온시킴으로써 수행되는 태양전지용 CIGS 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 기상의 황 전구체는 H2S인 태양전지용 CIGS 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 CIG산화물 박막을 얻는 단계는 알코올계 용매 내에 Cu, In 및 Ga 전구체를 포함하는 용액을 이용하여 수행되는, 태양전지용 CIGS 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 코팅은 스핀코팅, 닥터블레이딩, 및 스크린프린팅 중 적어도 하나의 용액공정 방법으로 수행되는 태양전지용 CIGS 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 기판은 몰리브데늄, 플루오린 틴 옥사이드 및 인듐 틴 옥사이드 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 태양전지용 CIGS 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 CIGS 박막은 이중 밴드갭 등급 구조를 갖는 것인 태양전지용 CIGS 박막의 제조방법
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제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 따른 태양전지용 CIGS 박막의 제조방법을 통해 CIGS 박막을 제조하는 단계; 및상기 CIGS 박막 상에 황화아연카드뮴을 포함하는 버퍼층을 형성하는 단계;를 포함하는 태양전지용 CIGS 박막 및 버퍼층 접합구조의 제조방법
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제1전극 상에 CIGS 박막을 형성하는 단계; 및상기 CIGS 박막 상에 제2전극층을 형성하는 단계;를 포함하는 태양전지의 제조방법에 있어서,상기 CIGS 박막은 상기 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 따른 태양전지용 CIGS 박막의 제조방법을 통해 제조되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
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제16항에 있어서,상기 제1전극은 몰리브데늄, 플루오린 틴 옥사이드 및 인듐 틴 옥사이드 중에서 선택된 1종 이상인 태양전지의 제조방법
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제16항에 있어서,상기 제2전극은 몰리브데늄, 플루오린 틴 옥사이드, 인듐 틴 옥사이드, 니켈 및 알루미늄 중에서 선택된 1종 이상인 태양전지의 제조방법
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제16항에 있어서,상기 태양전지는 황화아연카드뮴을 포함하는 버퍼층을 더 포함하는 태양전지의 제조방법
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제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 따른 태양전지용 CIGS 박막의 제조방법에 의하여 제조된 태양전지용 CIGS 박막
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제20항에 있어서,상기 CIGS 박막은 이중 밴드갭 등급 구조를 갖는 것인 태양전지용 CIGS 박막
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제20항에 따른 태양전지용 CIGS 박막을 포함하는 태양전지
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제22항에 있어서,상기 CIGS 박막 상에 황화아연카드뮴을 포함하는 버퍼층을 더 포함하는 태양전지
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