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박막 전해질 고체 산화물 셀 연료극용 촉매 중간층 및 이의 형성방법

  • 기술번호 : KST2019017117
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 박막 전해질 고체 산화물 셀용 중간층, 이를 포함하는 박막 전해질 고체 산화물 셀 및 이의 형성방법에 관한 것이다. 본 발명의 여러 구현예에 따르면, 고체 산화물 셀의 기능요소(연료극, 전해질, 공기극)를 박막 공정으로 형성하여 분말 공정 기반과는 달리 촉매의 나노구조를 응집에 의해 크게 잃지 않음으로써 높은 비표면적에 따른 촉매 활성을 달성할 수 있다.
Int. CL H01M 4/86 (2006.01.01) C25B 11/04 (2006.01.01) C25B 1/04 (2006.01.01) H01M 8/124 (2016.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020190101693 (2019.08.20)
출원인 한국과학기술연구원, 재단법인 멀티스케일 에너지시스템 연구단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0101337 (2019.08.30) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2018-0137249 (2018.11.09)
관련 출원번호 1020180137249
심사청구여부/일자 Y (2019.08.20)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
2 재단법인 멀티스케일 에너지시스템 연구단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 손지원 서울특별시 성북구
2 안 캠 티유 서울특별시 성북구
3 홍종섭 서울특별시 성북구
4 김형철 서울특별시 성북구
5 윤경중 서울특별시 성북구
6 이종호 서울특별시 성북구
7 이해원 서울특별시 성북구
8 김병국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충현 대한민국 서울특별시 서초구 동산로 **, *층(양재동, 베델회관)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2019.08.20 수리 (Accepted) 1-1-2019-0853495-19
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0705729-62
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2019.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2019-1241019-91
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2019.12.31 수리 (Accepted) 1-1-2019-1360450-69
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2020.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2020-0106720-91
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2020.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2020-0217776-17
7 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period		 2020.03.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2020-0035170-28
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2020.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2020-0289258-99
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.03.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0289261-26
10 등록결정서
Decision to grant		 2020.10.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0737096-77
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번호 청구항
1 1
'(a) 나노구조 연료극 기능층 및 (b) 상기 나노구조 연료극 기능층과 계면을 형성하는 이종 촉매층'을 최소한 1개 이상 포함하는 다중 층으로 구성된 것을 특징으로 하는 박막 전해질 고체 산화물 셀용 중간층
2 2
제1항에 있어서, 상기 나노구조 연료극 기능층은 NiO-YSZ, NiO-ScSZ, NiO-GDC, NiO-SDC, NiO-LSGM 중에 선택된 어느 하나 이상이거나, 또는 도핑된 SrTiO3, (La,Sr)TiO3, (La,Ca)TiO3, LaCrO3, (La,Sr)VO3 등 중에 선택된 어느 하나 이상의 산화물이고, 상기 이종 촉매층은 Pd, Ru, Rd, Fe, Co, Cu 및 이들 2종 이상의 합금 중에서 선택된 것으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 박막 전해질 고체 산화물 셀용 중간층
3 3
제1항에 있어서, 상기 다중 층은 상기 박막 전해질 고체 산화물 셀의 연료극층과 전해질층 사이에 위치하고, 상기 나노구조 연료극 기능층이 상기 전해질층과 계면을 형성하며, 상기 다중 층 내에서는 나노구조 연료극 기능층과 이종 촉매층이 교대로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 박막 전해질 고체 산화물 셀용 중간층
4 4
제3항에 있어서, 상기 연료극층과 계면을 형성하는 층에서 상기 전해질층과 계면을 형성하는 층의 순서를 기준으로, 상기 다중 층은 '이종 촉매층 / 나노구조 연료극 기능층'을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 전해질 고체 산화물 셀용 중간층
5 5
제4항에 있어서, 상기 다중 층은 상기 '이종 촉매층 / 나노구조 연료극 기능층' 위에 '추가 이종 촉매층 / 추가 나노구조 연료극 기능층'을 최소 1개 이상 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 전해질 고체 산화물 셀용 중간층
6 6
제3항에 있어서, 상기 연료극층과 계면을 형성하는 층에서 상기 전해질층과 계면을 형성하는 층의 순서를 기준으로, 상기 다중 층은 하기 ① 내지 ⑩ 구조 중 하나인 것을 특징으로 하는 박막 전해질 고체 산화물 셀용 중간층: ① 제1 이종 촉매층 / 재1 나노구조 연료극 기능층, ② 제1 이종 촉매층 / 제1 나노구조 연료극 기능층 / 제2 이종 촉매층 / 제2 나노구조 연료극 기능층, ③ 제1 이종 촉매층 / 제1 나노구조 연료극 기능층 / 제2 이종 촉매층 / 제2 나노구조 연료극 기능층 / 제3 이종 촉매층 / 제3 나노구조 연료극 기능층, ④ 제1 이종 촉매층 / 제1 나노구조 연료극 기능층 / 제2 이종 촉매층 / 제2 나노구조 연료극 기능층 / 제3 이종 촉매층 / 제3 나노구조 연료극 기능층 / 제4 이종 촉매층 / 제4 나노구조 연료극 기능층, ⑤ 제1 이종 촉매층 / 제1 나노구조 연료극 기능층 / 제2 이종 촉매층 / 제2 나노구조 연료극 기능층 / 제3 이종 촉매층 / 제3 나노구조 연료극 기능층 / 제4 이종 촉매층 / 제4 나노구조 연료극 기능층 / 제5 이종 촉매층 / 제5 나노구조 연료극 기능층, ⑥ 제1 이종 촉매층 / 제1 나노구조 연료극 기능층 / 제2 이종 촉매층 / 제2 나노구조 연료극 기능층 / 제3 이종 촉매층 / 제3 나노구조 연료극 기능층 / 제4 이종 촉매층 / 제4 나노구조 연료극 기능층 / 제5 이종 촉매층 / 제5 나노구조 연료극 기능층 / 제6 이종 촉매층 / 제6 나노구조 연료극 기능층, ⑦ 제1 이종 촉매층 / 제1 나노구조 연료극 기능층 / 제2 이종 촉매층 / 제2 나노구조 연료극 기능층 / 제3 이종 촉매층 / 제3 나노구조 연료극 기능층 / 제4 이종 촉매층 / 제4 나노구조 연료극 기능층 / 제5 이종 촉매층 / 제5 나노구조 연료극 기능층 / 제6 이종 촉매층 / 제6 나노구조 연료극 기능층 / 제7 이종 촉매층 / 제7 나노구조 연료극 기능층, ⑧ 제1 이종 촉매층 / 제1 나노구조 연료극 기능층 / 제2 이종 촉매층 / 제2 나노구조 연료극 기능층 / 제3 이종 촉매층 / 제3 나노구조 연료극 기능층 / 제4 이종 촉매층 / 제4 나노구조 연료극 기능층 / 제5 이종 촉매층 / 제5 나노구조 연료극 기능층 / 제6 이종 촉매층 / 제6 나노구조 연료극 기능층 / 제7 이종 촉매층 / 제7 나노구조 연료극 기능층 / 제8 이종 촉매층 / 제8 나노구조 연료극 기능층, ⑨ 제1 이종 촉매층 / 제1 나노구조 연료극 기능층 / 제2 이종 촉매층 / 제2 나노구조 연료극 기능층 / 제3 이종 촉매층 / 제3 나노구조 연료극 기능층 / 제4 이종 촉매층 / 제4 나노구조 연료극 기능층 / 제5 이종 촉매층 / 제5 나노구조 연료극 기능층 / 제6 이종 촉매층 / 제6 나노구조 연료극 기능층 / 제7 이종 촉매층 / 제7 나노구조 연료극 기능층 / 제8 이종 촉매층 / 제8 나노구조 연료극 기능층 / 제9 이종 촉매층 / 제9 나노구조 연료극 기능층, ⑩ 제1 이종 촉매층 / 제1 나노구조 연료극 기능층 / 제2 이종 촉매층 / 제2 나노구조 연료극 기능층 / 제3 이종 촉매층 / 제3 나노구조 연료극 기능층 / 제4 이종 촉매층 / 제4 나노구조 연료극 기능층 / 제5 이종 촉매층 / 제5 나노구조 연료극 기능층 / 제6 이종 촉매층 / 제6 나노구조 연료극 기능층 / 제7 이종 촉매층 / 제7 나노구조 연료극 기능층 / 제8 이종 촉매층 / 제8 나노구조 연료극 기능층 / 제9 이종 촉매층 / 제9 나노구조 연료극 기능층 / 제10 이종 촉매층 / 제10 나노구조 연료극 기능층
7 7
제3항에 있어서, 상기 연료극층과 계면을 형성하는 층에서 상기 전해질층과 계면을 형성하는 층의 순서를 기준으로, 상기 다중 층은 '연료극 계면 형성 나노구조 연료극 기능층 / 제1 이종 촉매층 / 제1 나노구조 연료극 기능층'을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 전해질 고체 산화물 셀용 중간층
8 8
제7항에 있어서, 상기 다중 층은 상기 '연료극 계면 형성 나노구조 연료극 기능층 / 제1 이종 촉매층 / 제1 나노구조 연료극 기능층' 위에 '추가 이종 촉매층 / 추가 나노구조 연료극 기능층'을 최소 1개 이상 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 전해질 고체 산화물 셀용 중간층
9 9
제3항에 있어서, 상기 연료극층과 계면을 형성하는 층에서 상기 전해질층과 계면을 형성하는 층의 순서를 기준으로, 상기 다중 층은 하기 ① 내지 ⑩ 구조 중 하나인 것을 특징으로 하는 박막 전해질 고체 산화물 셀용 중간층: ① 연료극 계면 형성 나노구조 연료극 기능층 / 제1 이종 촉매층 / 제1 나노구조 연료극 기능층, ② 연료극 계면 형성 나노구조 연료극 기능층 / 제1 이종 촉매층 / 제1 나노구조 연료극 기능층 / 제2 이종 촉매층 / 제2 나노구조 연료극 기능층, ③ 연료극 계면 형성 나노구조 연료극 기능층 / 제1 이종 촉매층 / 제1 나노구조 연료극 기능층 / 제2 이종 촉매층 / 제2 나노구조 연료극 기능층 / 제3 이종 촉매층 / 제3 나노구조 연료극 기능층, ④ 연료극 계면 형성 나노구조 연료극 기능층 / 제1 이종 촉매층 / 제1 나노구조 연료극 기능층 / 제2 이종 촉매층 / 제2 나노구조 연료극 기능층 / 제3 이종 촉매층 / 제3 나노구조 연료극 기능층 / 제4 이종 촉매층 / 제4 나노구조 연료극 기능층, ⑤ 연료극 계면 형성 나노구조 연료극 기능층 / 제1 이종 촉매층 / 제1 나노구조 연료극 기능층 / 제2 이종 촉매층 / 제2 나노구조 연료극 기능층 / 제3 이종 촉매층 / 제3 나노구조 연료극 기능층 / 제4 이종 촉매층 / 제4 나노구조 연료극 기능층 / 제5 이종 촉매층 / 제5 나노구조 연료극 기능층, ⑥ 연료극 계면 형성 나노구조 연료극 기능층 / 제1 이종 촉매층 / 제1 나노구조 연료극 기능층 / 제2 이종 촉매층 / 제2 나노구조 연료극 기능층 / 제3 이종 촉매층 / 제3 나노구조 연료극 기능층 / 제4 이종 촉매층 / 제4 나노구조 연료극 기능층 / 제5 이종 촉매층 / 제5 나노구조 연료극 기능층 / 제6 이종 촉매층 / 제6 나노구조 연료극 기능층, ⑦ 연료극 계면 형성 나노구조 연료극 기능층 / 제1 이종 촉매층 / 제1 나노구조 연료극 기능층 / 제2 이종 촉매층 / 제2 나노구조 연료극 기능층 / 제3 이종 촉매층 / 제3 나노구조 연료극 기능층 / 제4 이종 촉매층 / 제4 나노구조 연료극 기능층 / 제5 이종 촉매층 / 제5 나노구조 연료극 기능층 / 제6 이종 촉매층 / 제6 나노구조 연료극 기능층 / 제7 이종 촉매층 / 제7 나노구조 연료극 기능층, ⑧ 연료극 계면 형성 나노구조 연료극 기능층 / 제1 이종 촉매층 / 제1 나노구조 연료극 기능층 / 제2 이종 촉매층 / 제2 나노구조 연료극 기능층 / 제3 이종 촉매층 / 제3 나노구조 연료극 기능층 / 제4 이종 촉매층 / 제4 나노구조 연료극 기능층 / 제5 이종 촉매층 / 제5 나노구조 연료극 기능층 / 제6 이종 촉매층 / 제6 나노구조 연료극 기능층 / 제7 이종 촉매층 / 제7 나노구조 연료극 기능층 / 제8 이종 촉매층 / 제8 나노구조 연료극 기능층, ⑨ 연료극 계면 형성 나노구조 연료극 기능층 / 제1 이종 촉매층 / 제1 나노구조 연료극 기능층 / 제2 이종 촉매층 / 제2 나노구조 연료극 기능층 / 제3 이종 촉매층 / 제3 나노구조 연료극 기능층 / 제4 이종 촉매층 / 제4 나노구조 연료극 기능층 / 제5 이종 촉매층 / 제5 나노구조 연료극 기능층 / 제6 이종 촉매층 / 제6 나노구조 연료극 기능층 / 제7 이종 촉매층 / 제7 나노구조 연료극 기능층 / 제8 이종 촉매층 / 제8 나노구조 연료극 기능층 / 제9 이종 촉매층 / 제9 나노구조 연료극 기능층, ⑩ 연료극 계면 형성 나노구조 연료극 기능층 / 제1 이종 촉매층 / 제1 나노구조 연료극 기능층 / 제2 이종 촉매층 / 제2 나노구조 연료극 기능층 / 제3 이종 촉매층 / 제3 나노구조 연료극 기능층 / 제4 이종 촉매층 / 제4 나노구조 연료극 기능층 / 제5 이종 촉매층 / 제5 나노구조 연료극 기능층 / 제6 이종 촉매층 / 제6 나노구조 연료극 기능층 / 제7 이종 촉매층 / 제7 나노구조 연료극 기능층 / 제8 이종 촉매층 / 제8 나노구조 연료극 기능층 / 제9 이종 촉매층 / 제9 나노구조 연료극 기능층 / 제10 이종 촉매층 / 제10 나노구조 연료극 기능층
10 10
제1항에 있어서, 상기 1개 이상의 이종 촉매층 중 적어도 하나는 두께가 2 내지 25 nm인 것을 특징으로 하는 박막 전해질 고체 산화물 셀용 중간층
11 11
제1항에 있어서, 상기 1개 이상의 이종 촉매층 중 적어도 하나는 두께가 5 내지 20 nm인 것을 특징으로 하는 박막 전해질 고체 산화물 셀용 중간층
12 12
제1항에 있어서, 상기 1개 이상의 이종 촉매층은 모두 두께가 2 내지 25 nm인 것을 특징으로 하는 박막 전해질 고체 산화물 셀용 중간층
13 13
제1항에 있어서, 상기 1개 이상의 이종 촉매층은 모두 두께가 5 내지 20 nm인 것을 특징으로 하는 박막 전해질 고체 산화물 셀용 중간층
14 14
(a) 연료극, (b) 상기 연료극 위에 형성된 중간층, (c) 상기 중간층 위에 형성된 전해질층, (d) 상기 전해질층 위에 형성된 버퍼층, (e) 상기 버퍼층 위에 형성된 공기극층을 포함하는 박막 전해질 고체 산화물 셀로서, 상기 중간층이 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 따른 박막 전해질 고체 산화물 셀용 중간층인 것을 특징으로 하는 박막 전해질 고체 산화물 셀
15 15
(A1) 연료극 위에 제1 이종 촉매층을 형성하고 나서 제1 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계를 포함하는 박막 전해질 고체 산화물 셀용 중간층 형성방법
16 16
제15항에 있어서, 상기 (A1) 단계 후에 (A1') 추가 이종 촉매층을 형성하고 나서 추가 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 공정을 최소 1회 이상 수행하는 단계를 포함하는 박막 전해질 고체 산화물 셀용 중간층 형성방법
17 17
제15항에 있어서, 상기 (A1) 단계 후에 하기 ① 내지 ⑤ 중에서 선택된 하나의 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 전해질 고체 산화물 셀용 중간층 형성방법: ① (A2) 상기 제1 나노구조 연료극 기능층 위에 제2 이종 촉매층을 형성하고 나서 제2 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계; ② (A2) 상기 제1 나노구조 연료극 기능층 위에 제2 이종 촉매층을 형성하고 나서 제2 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계, (A3) 상기 제2 나노구조 연료극 기능층 위에 제3 이종 촉매층을 형성하고 나서 제3 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계; ③ (A2) 상기 제1 나노구조 연료극 기능층 위에 제2 이종 촉매층을 형성하고 나서 제2 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계, (A3) 상기 제2 나노구조 연료극 기능층 위에 제3 이종 촉매층을 형성하고 나서 제3 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계, (A4) 상기 제3 나노구조 연료극 기능층 위에 제4 이종 촉매층을 형성하고 나서 제4 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계; ④ (A2) 상기 제1 나노구조 연료극 기능층 위에 제2 이종 촉매층을 형성하고 나서 제2 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계, (A3) 상기 제2 나노구조 연료극 기능층 위에 제3 이종 촉매층을 형성하고 나서 제3 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계, (A4) 상기 제3 나노구조 연료극 기능층 위에 제4 이종 촉매층을 형성하고 나서 제4 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계, (A5) 상기 제4 나노구조 연료극 기능층 위에 제5 이종 촉매층을 형성하고 나서 제5 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계; ⑤ (A2) 상기 제1 나노구조 연료극 기능층 위에 제2 이종 촉매층을 형성하고 나서 제2 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계, (A3) 상기 제2 나노구조 연료극 기능층 위에 제3 이종 촉매층을 형성하고 나서 제3 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계, (A4) 상기 제3 나노구조 연료극 기능층 위에 제4 이종 촉매층을 형성하고 나서 제4 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계, (A5) 상기 제4 나노구조 연료극 기능층 위에 제5 이종 촉매층을 형성하고 나서 제5 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계, (A6) 상기 제5 나노구조 연료극 기능층 위에 제6 이종 촉매층을 형성하고 나서 제6 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계
18 18
(B1) 연료극 위에 연료극 계면 형성 나노구조 연료극 기능층을 형성하고 그 위에 제1 이종 촉매층을 형성하고 나서 제1 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계를 포함하는 박막 전해질 고체 산화물 셀용 중간층 형성방법
19 19
제18항에 있어서, 상기 (B1) 단계 후에 (B1') 추가 이종 촉매층을 형성하고 나서 추가 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 공정을 최소 1회 이상 수행하는 단계를 포함하는 박막 전해질 고체 산화물 셀용 중간층 형성방법
20 20
제18항에 있어서, 상기 (B1) 단계 후에 하기 ① 내지 ⑤ 중에서 선택된 하나의 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 전해질 고체 산화물 셀용 중간층 형성방법: ① (B2) 상기 제1 나노구조 연료극 기능층 위에 제2 이종 촉매층을 형성하고 나서 제2 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계; ② (B2) 상기 제1 나노구조 연료극 기능층 위에 제2 이종 촉매층을 형성하고 나서 제2 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계, (B3) 상기 제2 나노구조 연료극 기능층 위에 제3 이종 촉매층을 형성하고 나서 제3 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계; ③ (B2) 상기 제1 나노구조 연료극 기능층 위에 제2 이종 촉매층을 형성하고 나서 제2 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계, (B3) 상기 제2 나노구조 연료극 기능층 위에 제3 이종 촉매층을 형성하고 나서 제3 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계, (B4) 상기 제3 나노구조 연료극 기능층 위에 제4 이종 촉매층을 형성하고 나서 제4 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계; ④ (B2) 상기 제1 나노구조 연료극 기능층 위에 제2 이종 촉매층을 형성하고 나서 제2 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계, (B3) 상기 제2 나노구조 연료극 기능층 위에 제3 이종 촉매층을 형성하고 나서 제3 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계, (B4) 상기 제3 나노구조 연료극 기능층 위에 제4 이종 촉매층을 형성하고 나서 제4 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계, (B5) 상기 제4 나노구조 연료극 기능층 위에 제5 이종 촉매층을 형성하고 나서 제5 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계; ⑤ (B2) 상기 제1 나노구조 연료극 기능층 위에 제2 이종 촉매층을 형성하고 나서 제2 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계, (B3) 상기 제2 나노구조 연료극 기능층 위에 제3 이종 촉매층을 형성하고 나서 제3 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계, (B4) 상기 제3 나노구조 연료극 기능층 위에 제4 이종 촉매층을 형성하고 나서 제4 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계, (B5) 상기 제4 나노구조 연료극 기능층 위에 제5 이종 촉매층을 형성하고 나서 제5 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계, (B6) 상기 제5 나노구조 연료극 기능층 위에 제6 이종 촉매층을 형성하고 나서 제6 나노구조 연료극 기능층을 형성하는 단계
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1 미래창조과학부 한국과학기술연구원 글로벌프론티어사업 멀티스케일 하이브리드 아키텍쳐링을 통한 박막-나노 고체산화물 연료전지의 임계성능 구현