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전원부 및 상기 전원부의 일단에 전기적으로 연결된 노즐을 포함하는 전기수력학 프린팅 장치를 이용한 패턴 형성 방법에서,기판의 상면에 전도체층을 형성하는 단계;상기 전원부의 타단을 상기 전도체층에 전기적으로 연결하는 단계; 상기 전도체층의 상면에 상기 노즐로부터 잉크를 드롭(drop)하여 패턴을 형성하는 단계; 상면에 상기 패턴이 형성되지 않은 전도체층을 상기 기판으로부터 제거하는 단계; 및상기 기판에 잔류한 전도체층 및 상기 패턴으로 금속 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 패턴 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 기판은 지지부 상에 위치하는 것을 특징으로 하는 패턴 형상 방법
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제1항에 있어서, 상기 전도체층을 형성하는 단계에서,전사 서포트(support)부를 이용하여 상기 전도체층을 상기 기판의 전면(全面)으로 전사하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법
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제3항에 있어서, 상기 전도체층은,그래핀(graphene)을 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법
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제4항에 있어서, 상기 전도체층을 상기 기판으로부터 제거하는 단계에서,플라즈마 에칭(plasma etching) 또는 화학 에칭(chemical etching) 공정으로 상기 전도체층을 식각하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 전도체층을 형성하는 단계에서,상기 전도체층을 상기 기판의 전면(全面)에 코팅하거나 프린팅하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법
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제6항에 있어서, 상기 전도체층은,금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법
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제7항에 있어서, 상기 전도체층을 상기 기판으로부터 제거하는 단계에서,상기 금속을 포함하는 전도체층만 선택적으로 식각하여 제거하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 전도체층을 형성하는 단계에서, 복수의 금속층들을 상기 기판의 전면(全面) 상에 순차적으로 적층하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법
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제9항에 있어서, 상기 전도체층을 상기 기판으로부터 제거하는 단계에서, 상기 적층된 금속층들만을 순차적으로 식각하여 제거하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법
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제10항에 있어서, 상기 적층된 금속층들을 순차적으로 식각하기 위하여, 각각의 금속층들만을 식각하는 식각액을 순차적으로 제공하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법
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제9항에 있어서, 상기 복수의 금속층들 중 적어도 하나는 그래핀인 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 기판은 비전도성 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법
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