요약 | 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치는, 프레임과, 상기 프레임에 설치되어 한 쪽 면에 금속 박막이 형성된 기판을 상기 프레임의 주행 경로로 공급하는 공급유닛과, 상기 주행 경로에 설치되어 그 주행 경로를 따라 상기 기판을 주행시키는 이송유닛과, 상기 프레임에 회전 가능하게 설치되는 한 쌍의 인쇄롤러를 가지면서 상기 인쇄롤러 사이를 통과하는 상기 기판의 금속 박막 위에 소정의 인쇄 패턴을 형성하는 인쇄유닛과, 상기 주행 경로 상에 설치되어 상기 인쇄 패턴을 마스크로 상기 금속 박막을 식각하는 식각유닛을 포함한다.기판, 플라스틱기판, 시트, 롤, 공급유닛, 인쇄유닛, 식각유닛, 세정유닛, 경화유닛, 회수유닛, 이송유닛 |
---|---|
Int. CL | H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01) H05K 3/12 (2006.01) |
CPC | G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020060078153 (2006.08.18) |
출원인 | 한국기계연구원 |
등록번호/일자 | 10-0763493-0000 (2007.09.27) |
공개번호/일자 | |
공고번호/일자 | (20071004) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2006.08.18) |
심사청구항수 | 35 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국기계연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 김광영 | 대한민국 | 경상남도 창원시 |
2 | 조정대 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
3 | 임현의 | 대한민국 | 대전 유성구 |
4 | 이응숙 | 대한민국 | 대전 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 팬코리아특허법인 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국기계연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | 특허출원서 Patent Application |
2006.08.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0588026-10 |
2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2007.05.07 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2007.06.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-2007-0032571-30 |
4 | 대리인변경신고서 Agent change Notification |
2007.06.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0430434-65 |
5 | 등록결정서 Decision to grant |
2007.09.18 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0504630-12 |
6 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.04.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5069919-31 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.04.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5069914-14 |
8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.11.28 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5193093-72 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 프레임;상기 프레임에 설치되어 한 쪽 면에 금속 박막이 형성된 기판을 상기 프레임의 주행 경로로 공급하는 공급유닛;상기 주행 경로에 설치되어 그 주행 경로를 따라 상기 기판을 주행시키는 이송유닛;상기 프레임에 회전 가능하게 설치되는 한 쌍의 인쇄롤러를 가지면서 상기 인쇄롤러 사이를 통과하는 상기 기판의 금속 박막 위에 소정의 인쇄 패턴을 형성하는 인쇄유닛; 및상기 주행 경로 상에 설치되어 상기 인쇄 패턴을 마스크로 상기 금속 박막을 식각하는 식각유닛을 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
2 |
2 제1 항에 있어서,상기 공급유닛은,시트 형태로서 이루어진 복수매의 상기 기판을 수납하는 카세트부재와,상기 기판을 흡착하는 흡착부재를 가지면서 상기 프레임에 승강 가능하게 설치되고, 상기 주행 경로 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치되는 언로딩부재를 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
3 |
3 제2 항에 있어서,상기 공급유닛은,상기 프레임에 설치된 가이드부재에 슬라이딩 결합되어 상기 프레임의 주행 경로 방향으로 왕복 이동되는 이동블록과,상기 이동블록과 일체로서 결합되고, 상기 언로딩부재와 연결되게 설치되어 상기 언로딩부재를 승강시키는 실린더부재를 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
4 |
4 제1 항에 있어서,상기 공급유닛은,시트 형태로서 이루어진 복수매의 상기 기판을 수납하는 카세트부재와,상기 프레임에 회전 가능하게 설치되어 상기 카세트부재에 수납된 상기 기판을 인출시키는 인출롤러를 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
5 |
5 제4 항에 있어서,상기 카세트부재는,상기 기판들의 수납 공간을 형성하는 카세트 몸체와,상기 수납 공간에 설치되어 상기 기판들을 받치는 받침 플레이트와,상기 받침 플레이트의 하면과 상기 카세트 몸체에 연결되게 설치되는 탄성 스프링을 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
6 |
6 제2 항 또는 제4 항에 있어서,상기 공급유닛은,상기 카세트부재와 상기 인쇄유닛 사이에 설치되어 상기 주행 경로로 언로딩된 상기 기판을 상기 한 쌍의 인쇄롤러 사이로 진입시키는 로딩롤러를 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
7 |
7 제1 항에 있어서,상기 공급유닛은,상기 프레임에 회전 가능하게 설치되어 상기 기판이 두루마리 형태로서 감기는 공급롤러를 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
8 |
8 제1 항에 있어서,상기 이송유닛은,상기 인쇄유닛과 상기 식각유닛 사이의 상기 프레임에 회전 가능하게 설치되는 복수의 롤러들과,상기 롤러들의 양측 단부에 무한궤도 상으로서 감긴 링 형태의 벨트를 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
9 |
9 제8 항에 있어서,상기 이송유닛은 상기 롤러들의 양측 단부에 연결되게 설치되어 상기 롤러들을 승강시키는 승강부재를 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
10 |
10 제9 항에 있어서,상기 승강부재는,상기 롤러들의 양단부와 연결되게 설치되며, 상기 프레임에 대해 승강 가능하게 설치되는 회전 지지체와,상기 회전 지지체와 연결되게 설치되는 공압 실린더를 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
11 |
11 제1 항에 있어서,상기 인쇄유닛은,상기 한 쌍의 인쇄롤러 중 일측 인쇄롤러의 외주면을 감싸도록 배치되는 탄성중합체 스탬프와,상기 프레임에 설치되어 소정의 인쇄조성물을 상기 탄성중합체 스탬프의 표면으로 공급하는 인쇄조성물 공급부를 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
12 |
12 제11 항에 있어서,상기 탄성중합체 스탬프는 소정의 패턴이 형성되어 있으며, 상기 패턴이 형성된 면의 반대면이 상기 인쇄롤러의 외주면을 감싸도록 배치되고, 상기 패턴 형성면이 상기 기판의 금속 박막에 밀착되는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
13 |
13 제12 항에 있어서,상기 인쇄유닛은,상기 탄성중합체 스탬프의 상기 반대면과 상기 인쇄롤러의 외주면에 접착되게 설치되는 금속 박판을 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
14 |
14 제11 항에 있어서,상기 한 쌍의 인쇄롤러 중 다른 일측 인쇄롤러가 상기 프레임에 대해 승강 가능하게 설치되는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
15 |
15 제11 항에 있어서,상기 인쇄유닛은,상기 프레임에 설치되어 상기 다른 일측 인쇄롤러를 승강시키기 위한 승강부재를 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
16 |
16 제15 항에 있어서,상기 승강부재는,상기 다른 일측 인쇄롤러의 양단부와 연결되게 설치되며, 상기 프레임에 대해 승강 가능하게 설치되는 회전 지지체와,상기 회전 지지체와 연결되게 설치되는 공압 실린더를 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
17 |
17 제16 항에 있어서,상기 회전 지지체는 엘엠(Linear Motion: LM) 가이드에 의해 가이드되면서 승강되는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
18 |
18 제11 항에 있어서,상기 인쇄조성물 공급부는,상기 탄성중합체 스탬프에 밀착되면서 상기 프레임에 회전 가능하게 설치되는 인쇄조성물 공급롤러와,상기 프레임에 설치되어 상기 인쇄조성물을 상기 인쇄조성물 공급롤러의 외주면으로 분사하는 노즐부재를 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
19 |
19 제18 항에 있어서,상기 인쇄조성물 공급부는,상기 프레임에 설치되어 상기 인쇄조성물 공급롤러의 외주면으로 공급된 상기 인쇄조성물을 스퀴징하는 블레이드부재를 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
20 |
20 제11 항에 있어서,상기 인쇄조성물 공급부는,상기 프레임에 설치되어 상기 인쇄조성물을 상기 탄성중합체 스탬프의 외주면으로 분사하는 노즐부재를 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
21 |
21 제20 항에 있어서,상기 인쇄조성물 공급부는,상기 프레임에 설치되어 상기 탄성중합체 스탬프의 외주면으로 공급된 상기 인쇄조성물을 스퀴징하는 블레이드부재를 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
22 |
22 제1 항에 있어서,상기 식각유닛은,상기 프레임의 주행 경로에 설치되어 상기 인쇄 패턴이 형성된 상기 기판으로 식각 용액을 분사하는 식각 챔버를 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
23 |
23 제22 항에 있어서,상기 식각 챔버는 소정의 밀폐 공간과, 상기 밀폐 공간으로 상기 기판을 인입시키기 위한 인입 구멍과, 상기 밀폐 공간으로부터 상기 기판을 인출시키기 위한 인출 구멍을 형성하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
24 |
24 제23 항에 있어서,상기 식각 챔버는 상기 인입 구멍과 인출 구멍 사이의 내측벽에 상기 기판의 양측 가장자리 부분을 가이드하기 위한 가이드홈을 구비하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
25 |
25 제1 항에 있어서,상기 프레임에 설치되어 상기 식각유닛에 의해 상기 금속 박막이 식각된 상기 기판을 세정하는 세정유닛을 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
26 |
26 제25 항에 있어서,상기 세정유닛은,상기 프레임의 주행 경로에 설치되어 상기 기판으로 세정 용액을 분사하는 세정 챔버를 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
27 |
27 제26 항에 있어서,상기 세정 챔버는 소정의 밀폐 공간과, 상기 밀폐 공간으로 상기 기판을 인입시키기 위한 인입 구멍과, 상기 밀폐 공간으로부터 상기 기판을 인출시키기 위한 인출 구멍을 형성하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
28 |
28 제27 항에 있어서,상기 세정 챔버는 상기 인입 구멍과 인출 구멍 사이의 내측벽에 상기 기판의 양측 가장자리 부분을 가이드하기 위한 가이드홈을 구비하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
29 |
29 제25 항에 있어서,상기 이송유닛이 상기 식각유닛과 상기 세정유닛 사이에 설치되는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
30 |
30 제25 항에 있어서,상기 프레임에 설치되어 상기 세정 유닛에 의해 세정된 상기 기판을 경화시키는 경화유닛을 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
31 |
31 제30 항에 있어서,상기 경화유닛은 상기 프레임에 설치되어 상기 기판의 금속 박막으로 열풍 또는 UV를 조사하는 램프부재를 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
32 |
32 제30 항에 있어서,상기 이송유닛이 상기 세정유닛과 상기 경화유닛 사이에 설치되는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
33 |
33 제1 항에 있어서,상기 프레임에 설치되어 상기 주행 경로를 거친 상기 기판을 회수하는 회수유닛을 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
34 |
34 제33 항에 있어서,상기 회수유닛은 시트 형태로서 이루어진 상기 기판을 수납하는 카세트부재를 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
35 |
35 제33 항에 있어서,상기 회수유닛은 상기 기판을 두루마리 형태로서 감는 회수롤러를 포함하는 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
패밀리정보가 없습니다 |
---|
국가 R&D 정보가 없습니다. |
---|
공개전문 정보가 없습니다 |
---|
특허 등록번호 | 10-0763493-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20060818 출원 번호 : 1020060078153 공고 연월일 : 20071004 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20070918 청구범위의 항수 : 35 유별 : H01L 21/027 발명의 명칭 : 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 존속기간(예정)만료일 : 20190928 |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 한국기계연구원 대전광역시 유성구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 985,500 원 | 2007년 09월 28일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 810,000 원 | 2010년 09월 15일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 810,000 원 | 2011년 09월 20일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 810,000 원 | 2012년 09월 07일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 1,430,000 원 | 2013년 06월 21일 | 납입 |
제 8 년분 | 금 액 | 1,430,000 원 | 2014년 06월 05일 | 납입 |
제 9 년분 | 금 액 | 1,430,000 원 | 2015년 06월 09일 | 납입 |
제 10 년분 | 금 액 | 2,165,000 원 | 2016년 06월 20일 | 납입 |
제 11 년분 | 금 액 | 2,165,000 원 | 2017년 06월 21일 | 납입 |
제 12 년분 | 금 액 | 1,082,500 원 | 2018년 06월 08일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | 특허출원서 | 2006.08.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0588026-10 |
2 | 선행기술조사의뢰서 | 2007.05.07 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 | 2007.06.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-2007-0032571-30 |
4 | 대리인변경신고서 | 2007.06.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0430434-65 |
5 | 등록결정서 | 2007.09.18 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0504630-12 |
6 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.04.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5069919-31 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.04.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5069914-14 |
8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.11.28 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5193093-72 |
기술정보가 없습니다 |
---|
과제고유번호 | 1350007919 |
---|---|
세부과제번호 | 2006-06434 |
연구과제명 | 대면적나노임프린트공정및응용기술 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
연구주관기관명 | 한국기계연구원 |
성과제출연도 | 2006 |
연구기간 | 200504~200703 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
[1020060104837] | 자기조립단분자막의 기상증착 방법 | 새창보기 |
---|---|---|
[1020060104467] | 임프린트 리소그래피용 스탬프의 제조 방법 | 새창보기 |
[1020060088538] | 액정표시장치 | 새창보기 |
[1020060078153] | 롤-투-롤 프린트 방식의 미세접촉 인쇄장치 | 새창보기 |
[1020060056470] | 탄성중합체 스탬프를 이용한 롤-프린트 방식의 미세접촉인쇄장치 | 새창보기 |
[1020060035654] | 유기 반도체 소자 및 그 제작 방법 | 새창보기 |
[1020060034179] | 나노소재기반 전도성레지스트를 이용한 전극패턴 형성 기술 | 새창보기 |
[1020060034179] | 나노소재기반 전도성레지스트를 이용한 전극패턴 형성 기술 | 새창보기 |
[1020050023532] | 스탬프제조공정(디스펜싱) | 새창보기 |
[1020050023532] | 스탬프제조공정(디스펜싱) | 새창보기 |
[1020050002486] | 탄성중합체 스탬프를 이용한 미세접촉 인쇄장치 | 새창보기 |
[1020040112158] | 미세 임프린트 리소그래피 공정에서 스탬프와 기판의이격공정 및 그 장치 | 새창보기 |
[1020040012192] | 임프린트된 나노구조물을 이용한 미세접촉 인쇄기법과 이의 나노 구조물 | 새창보기 |
[1020040012191] | UV 나노임프린트 리소그래피 공정 및 이 공정을수행하는 장치 | 새창보기 |
[1020040005548] | 임프린트된 실리콘 기판을 이용한 복합 미세접촉 인쇄방법 | 새창보기 |
[1020030042674] | 미세전자 및 광학소자제작에 유용한 규칙적인 양각 패턴의형성방법 | 새창보기 |
[KST2018004743][한국기계연구원] | 초음파 세정 장치 및 이를 포함하는 세정 시스템(An ultrasonic cleaning apparatus and ultrasonic cleaning system including the same) | 새창보기 |
---|---|---|
[KST2020014653][한국기계연구원] | 익스팬더 롤을 이용한 정밀 인압 제어부를 갖는 롤투롤 인쇄 장치 | 새창보기 |
[KST2015002552][한국기계연구원] | 일회용 클리쉐를 이용한 리버스 그라비아 옵셋 인쇄 방법 및 장치 | 새창보기 |
[KST2016000476][한국기계연구원] | 나노 임프린트 공정에서 원형 모아레를 이용한 기판정렬장치 | 새창보기 |
[KST2016004046][한국기계연구원] | 나노 임프린트 공정에서 원형 모아레를 이용한 기판정렬장치 | 새창보기 |
[KST2015002534][한국기계연구원] | 기능성 패턴의 직접 모사 기술 | 새창보기 |
[KST2015129282][한국기계연구원] | 인쇄 전자 소자 제조 장치 및 방법 | 새창보기 |
[KST2015130923][한국기계연구원] | 패턴 인쇄 장치 | 새창보기 |
[KST2016004060][한국기계연구원] | 나노임프린트 리소그래피를 이용한 기판상의 금속선 패터닝방법 | 새창보기 |
[KST2015130485][한국기계연구원] | 적용 가압력 제거를 이용한 미세 패턴 형성 방법 | 새창보기 |
[KST2014039825][한국기계연구원] | 기능성 패턴의 직접 모사 기술 | 새창보기 |
[KST2015130822][한국기계연구원] | 전자회로 인쇄용 그라비어오프셋 윤전인쇄기의 인쇄실린더들 사이의 압력조절방법과 그 장치 | 새창보기 |
[KST2015130634][한국기계연구원] | 나노 금속패턴 형성방법 | 새창보기 |
[KST2015002320][한국기계연구원] | 임프린트 장치 | 새창보기 |
[KST2015002925][한국기계연구원] | 나노소재기반 전도성레지스트를 이용한 전극패턴 형성 기술 | 새창보기 |
[KST2014039666][한국기계연구원] | 나노소재기반 전도성레지스트를 이용한 전극패턴 형성 기술 | 새창보기 |
[KST2016019753][한국기계연구원] | 횡파 발생 방지가 가능한 압전소자를 가진 초음파 진동자 및 이를 포함하는 초음파 세정 장치(An ultrasonic transmitter having piezoelectric element capable of transverse prevention and ultrasonic cleaning device including the same) | 새창보기 |
[KST2015130702][한국기계연구원] | 베이스 교체 방식의 패터닝 장치 및 패턴 인쇄 장치 | 새창보기 |
[KST2016004008][한국기계연구원] | 인쇄전자 윤전인쇄기의 판통실린더 축방향 이동제어 구동장치 | 새창보기 |
[KST2015128502][한국기계연구원] | 나노 패턴을 갖는 도전성 폴리머층의 형성 방법 | 새창보기 |
[KST2017000368][한국기계연구원] | 폭발성 배기가스 입자의 정전 제거 장치(ELECTROSTATIC PRECIPITATION DEVICE FOR PARTICLE REMOVAL IN EXPLOSIVE GASES) | 새창보기 |
[KST2015130165][한국기계연구원] | 롤 타입 전자소자 인쇄 장치에서의 외팔보 타입 롤러 지지 구조 | 새창보기 |
[KST2015129159][한국기계연구원] | 냉각용 열교환기가 설치된 펄스 플라즈마 반응기 | 새창보기 |
[KST2018004740][한국기계연구원] | 초음파 세정 장치 및 이를 포함하는 세정 시스템(An ultrasonic cleaning apparatus and ultrasonic cleaning system including the same) | 새창보기 |
[KST2015130137][한국기계연구원] | 패턴인쇄장치 및 패턴인쇄방법 | 새창보기 |
[KST2016004009][한국기계연구원] | 롤투롤 인쇄전자 윤전인쇄기의 레지스터 마크를 이용한 가늠맞춤장치 및 그 방법 | 새창보기 |
[KST2015130291][한국기계연구원] | 임프린트 리소그래피용 스탬프 및 이를 이용한 임프린트리소그래피방법 | 새창보기 |
[KST2015130641][한국기계연구원] | 쉐도우 증착과 나노전사 프린팅을 이용한 나노임프린트 리소그래피의 패턴전사 방법 | 새창보기 |
[KST2018004741][한국기계연구원] | 초음파 세정 장치(An ultrasonic cleaning apparatus) | 새창보기 |
[KST2016004059][한국기계연구원] | 나노임프린트 리소그래피를 이용한 나노잉크의 패턴 형성방법 | 새창보기 |
심판사항 정보가 없습니다 |
---|