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피접합체가 접합될 수 있는 접합 공간이 형성되는 챔버;상기 챔버 내부에 혼합가스를 투입할 수 있도록 형성되는 가스 유입부;상기 혼합가스를 플라즈마 상태로 활성화시키거나 상기 피접합체를 유도가열 시킬 수 있도록 형성되는 플라즈마 생성부;상기 플라즈마 생성부에 전류를 인가하는 제 1 전원부;상기 혼합가스를 배출할 수 있도록 형성되는 가스 배출부;상기 피접합체를 가압하고 전기가 통전될 수 있도록 상기 챔버의 상부 및 하부에 형성되는 가압부; 및상기 가압부에 전류를 인가하는 제 2 전원부;를 포함하고,상기 플라즈마 생성부는,상기 피접합체가 가압되는 방향을 중심축으로 둘러싸는 코일;상기 제 1 전원부에 연결되는 단자부;를 포함하고,상기 코일은,상기 피접합체의 표면을 세정하기 위하여, 상기 제 1 전원부에서 전류를 인가 받아 상기 챔버 내에 플라즈마를 발생시킬 수 있도록 형성되는 인덕션 코일; 및상기 피접합체를 유도 가열시키기 위하여, 상기 제 1 전원부에서 전류를 인가 받아 생성된 고주파 교류전류를 이용하여 상기 피접합체에 전압이 유도될 수 있도록 형성되는 유도 코일;을 포함하고,상기 인덕션 코일과 상기 유도 코일은 하나의 코일로 형성되어, 상기 인덕션 코일을 이용하여 상기 피접합체를 유도 가열하는, 확산 접합 장치
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제 1 항에 있어서,상기 가압부는,상기 피접합체의 일면을 가압하고, 전기가 통전될 수 있도록 형성되는 제 1 가압 전극;상기 제 1 가압 전극의 통전에 의해 발열할 수 있도록 상기 제 1 가압 전극과 상기 피접합체 사이에 형성되는 제 1 발열체;상기 피접합체의 타면을 가압 또는 지지하고, 전기가 통전되고 상기 제 1 가압 전극과 대향되도록 형성되는 제 2 가압 전극;상기 제 2 가압 전극의 통전에 의해 발열할 수 있도록 상기 제 2 가압 전극과 상기 피접합체 사이에 형성되는 제 2 발열체;를 포함하는, 확산 접합 장치
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제 4 항에 있어서,상기 제 1 발열체는,상기 제 1 가압 전극의 통전에 의해 발열이 용이할 수 있도록, 탄소계 또는 그라파이트(graphite)계로 이루어지는, 확산 접합 장치
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제 1 항에 있어서,상기 가압부는,통전 시 과열을 방지할 수 있도록 내부에 냉매가 흐를 수 있도록 냉매 유로가 형성되는 제 1 냉각부;를 포함하는, 확산 접합 장치
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제 1 항에 있어서,상기 플라즈마 생성부는,상기 피접합체를 가열 시 과열을 방지할 수 있도록 내부에 냉매가 흐를 수 있도록 수냉 코일이 형성되는 제 2 냉각부;를 포함하는, 확산 접합 장치
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챔버 내부에 형성된 피접합체의 표면과 플라즈마를 반응시켜 상기 피접합체의 표면을 세정하는 플라즈마 클리닝 단계; 및상기 피접합체의 중심부를 통전가열하고 상기 피접합체의 표면부를 유도가열하여, 상기 피접합체를 접합하는 확산접합 단계;를 포함하고,상기 플라즈마 클리닝 단계는,가스 유입부를 통하여 상기 챔버 내부에 혼합가스를 투입하는 가스 유입 단계;상기 피접합체의 주변부에 형성된 코일에 전류를 인가하여 상기 혼합가스를 플라즈마 상태로 활성화시켜 상기 피접합체를 세정하는 플라즈마 세정 단계; 및가스 배출부를 통하여 상기 챔버 내부에 상기 혼합가스를 배출하는 가스 배출 단계;를 포함하고,상기 확산 접합 단계는,상기 챔버의 상부 및 하부에 형성되는 가압부를 이용하여 상기 피접합체를 가압하는 가압 단계;상기 가압부에 전류가 인가되면, 상기 가압부에 형성된 제 1 가압 전극과 제 2 가압 전극을 통하여 상기 피접합체의 중심부가 통전가열 되는 제 1 가열 단계; 및상기 피접합체의 주변부에 형성된 상기 코일에 전류를 인가하여 생성된 고주파 교류전류를 이용하여 상기 피접합체에 전압이 유도되어 상기 피접합체의 표면부가 유도가열 되는 제 2 가열 단계;를 포함하고,상기 코일은,상기 플라즈마 클리닝 단계에서, 상기 피접합체의 표면을 세정하기 위하여, 상기 챔버 내에 플라즈마를 발생시킬 수 있도록 형성되는 인덕션 코일; 및상기 확산 접합 단계에서, 상기 피접합체를 유도 가열시키기 위하여, 고주파 교류전류를 이용하여 상기 피접합체에 전압이 유도될 수 있도록 형성되는 유도 코일;을 포함하고,상기 인덕션 코일과 상기 유도 코일은 하나의 코일로 형성되어, 상기 플라즈마 클리닝 단계에 사용되었던 상기 인덕션 코일을 이용하여 상기 피접합체를 유도 가열하는, 확산 접합 방법
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제 8 항에 있어서,상기 피접합체의 접합이 중심부와 표면부에서 동시에 이루어지도록 상기 제 1 가열 단계와 상기 제 2 가열단계는 동시에 이루어지는 것인, 확산 접합 방법
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