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정밀층상복합소재 제조 시스템을 이용한 이종극박소재 제조 방법으로서,상기 정밀층상복합소재 제조 시스템을 이용하여 베이스 메탈(base metal)로서 12㎛의 두께를 가지는 구리를 모재로 사용하고 오버레이어 메탈(overlayer metal)로서 25㎛의 두께를 가지는 알루미늄(Al), 20㎛의 두께를 가지는 은(Ag), 그리고 60㎛의 두께를 가지는 은주석(AgSn) 중 어느 하나를 모재로 사용하여 미리 설정된 공정 조건을 통해 접합하여 하나의 이종극박소재를 제조하되,상기 정밀층상복합소재 제조 시스템은,제1 챔버(chamber), 제2 챔버, 그리고 상기 제1 및 제2 챔버를 서로 연결하는 연결 통로를 형성하는 하우징(housing),상기 제1 챔버가 제1 챔버 진공도가 되도록 하고 상기 제2 챔버가 제2 챔버 진공도가 되도록 작동하는 적어도 하나의 펌프,상기 두 모재를 고정하며 상기 두 모재를 순차적으로 풀어낼 수 있도록 형성되는 언와인더(un-winder),상기 제1 챔버에 배치되며 상기 언와인더로부터 풀려 나온 두 모재의 서로 마주하는 면이 활성화되도록 상기 두 모재의 서로 마주하는 면에 대해 플라즈마 처리를 수행하는 플라즈마 처리 유닛,상기 제2 챔버에 배치되며 상기 플라즈마 처리 유닛에 의해 활성화된 두 모재의 서로 마주하는 면이 접합되도록 상기 플라즈마 처리 유닛에 의해 플라즈마 처리된 후 상기 연결 통로를 통해 유입되는 상기 두 모재를 저압 압연하는 저압 압연 유닛,상기 저압 압연 유닛에 의해 접합된 두 모재를 감는 와인더(winder), 그리고상기 모재의 횡 위치를 조절하기 위한 에지 포지션 컨트롤 유닛(edge position control unit)을 포함하고,상기 미리 설정된 공정 조건은상기 정밀층상복합소재 제조 시스템을 통하여 각 모재에 적용되는 플라즈마 파워(plasma power), 텐션(tension), 감김속도(winding velocity) 및 압력하중(pressing load)을 포함하되,상기 감김속도는 0
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제1항에서,상기 에지 포지션 컨트롤 유닛은상기 모재의 에지(edge) 위치를 검출하는 에지 위치 센서(edge position sensor),상기 언와인더의 횡 위치를 조절할 수 있도록 구성되는 액추에이터, 그리고상기 에지 위치 센서에 의해 검출되는 상기 모재의 에지 위치 값과 설정된 에지 위치 값에 기초하여 상기 액추에이터를 제어하는 컨트롤러를 포함하는 정밀층상복합소재 제조 시스템을 이용한 이종극박소재 제조 방법
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제1항에서,상기 정밀층상복합소재 제조 시스템은 상기 모재의 텐션(tension)을 조절하기 위한 텐션 컨트롤 유닛(tension control unit)을 더 포함하는 정밀층상복합소재 제조 시스템을 이용한 이종극박소재 제조 방법
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제3항에서,상기 텐션 컨트롤 유닛은상기 언와인더로부터 풀려 나온 모재의 텐션을 검출하는 텐션 센서(tension sensor),상기 언와인더의 풀림 기능을 선택적으로 잠글 수 있도록 형성되는 브레이크(brake), 그리고상기 텐션 센서에 의해 검출된 모재의 텐션 값과 설정된 텐션 값에 기초하여 상기 브레이크의 작동을 제어하는 컨트롤러(controller)를 포함하고,상기 두 모재의 텐션 값이 상기 설정된 텐션 값 보다 작은 경우, 상기 컨트롤러는 상기 언와인더의 풀림 기능이 잠기도록 상기 브레이크를 제어하며,상기 두 모재의 텐션 값이 상기 설정된 텐션 값 보다 클 경우, 상기 컨트롤러는 상기 언와인더가 풀림 기능을 가지도록 상기 브레이크를 제어하는 정밀층상복합소재 제조 시스템을 이용한 이종극박소재 제조 방법
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제1항에서,상기 플라즈마 처리 유닛은상기 제1 챔버로 플라즈마 발생 가스를 공급하는 가스 공급기, 그리고상기 가스 공급기에 의해 공급된 플라즈마 발생 가스를 이용하여 플라즈마를 생성하는 이온 건(ion gun)을 포함하고,상기 이온 건은 플라즈마 발생 가스의 이온이 방출되는 이온 방출부를 포함하며,상기 이온 방출부는 높이 보다 폭이 더 긴 형상을 가지고,상기 이온 방출부는 400㎜ 이상의 유효 처리 폭을 가지는 정밀층상복합소재 제조 시스템을 이용한 이종극박소재 제조 방법
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제1항에서,상기 저압 압연 유닛은 서로 마주하게 배치되는 한 쌍의 롤러를 포함하며,상기 롤러는 열처리된 스틸로 형성되며 90 내지 110 정도의 쇼어(shore) 경도를 가지는 정밀층상복합소재 제조 시스템을 이용한 이종극박소재 제조 방법
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에서,상기 제2 챔버 진공도는 상기 제1 챔버 진공도보다 높게 설정되는 정밀층상복합소재 제조 시스템을 이용한 이종극박소재 제조 방법
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