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도펀트 물질이 형성된 반도체 기판을 지지하는 기판 지지 수단;상기 도펀트 물질에 플라즈마를 분사하여 상기 반도체 기판의 소정 영역에 도펀트를 선택적으로 도핑시켜 상기 반도체 기판의 소정 영역에 도핑 영역을 선택적으로 형성하는 플라즈마 도핑 부재;상기 플라즈마 도핑 부재에 불활성 가스를 공급하는 가스 공급부; 및상기 플라즈마 도핑 부재에 플라즈마 전원을 공급하고 상기 기판 지지 수단을 접지시키는 전원 공급부를 포함하여 구성되고, 상기 플라즈마 도핑 부재는 상기 가스 공급부로부터 공급되는 불활성 가스와 상기 전원 공급부로부터 공급되는 플라즈마 전원에 따라 소정의 직경을 가지는 플라즈마를 발생시키는 금속관, 및 상기 금속관의 하부를 감싸는 절연관을 포함하여 이루어지고, 상기 금속관은 상기 플라즈마가 분사되는 가스 배출구를 구비하고, 상기 절연관은 상기 가스 배출구를 감싸면서 상기 가스 배출구보다 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 기판형 태양 전지의 도핑 장치
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제 1 항에 있어서,상기 금속관은 상기 불활성 가스가 공급되는 가스 공급구와 상기 플라즈마가 분사되는 가스 배출구를 가지도록 금속 재질로 형성되어 상기 전원 공급부에 접속된 몸체를 포함하여 구성되고,상기 가스 배출구는 상기 가스 공급구보다 상대적으로 작은 직경을 가지는 것을 특징으로 하는 기판형 태양 전지의 도핑 장치
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도펀트 물질이 형성된 반도체 기판을 지지하는 기판 지지 수단;복수의 플라즈마 분사 노즐 각각을 통해 상기 도펀트 물질에 플라즈마를 분사하여 상기 반도체 기판에 도펀트를 도핑시켜 상기 반도체 기판에 도핑 영역을 형성하는 플라즈마 도핑 모듈;상기 플라즈마 도핑 모듈에 불활성 가스를 공급하는 가스 공급부; 및상기 플라즈마 도핑 모듈에 플라즈마 전원을 공급하고 상기 기판 지지 수단을 접지시키는 전원 공급부를 포함하여 구성되고, 상기 플라즈마 도핑 모듈은 상기 가스 공급부로부터 공급되는 불활성 가스와 상기 전원 공급부로부터 공급되는 플라즈마 전원에 따라 플라즈마를 발생하여 상기 도펀트 물질의 분사하는 상기 복수의 플라즈마 분사 노즐을 포함하는 플라즈마 전극 프레임을 포함하고, 상기 플라즈마 전극 프레임은,상기 전원 공급부로부터 플라즈마 전원이 공급되고 복수의 플라즈마 분사 홀을 가지는 전극 플레이트;상기 전극 플레이트로부터 소정 높이로 돌출된 상기 복수의 플라즈마 분사 노즐; 및상기 복수의 플라즈마 분사 노즐 각각의 하부를 감싸는 복수의 절연관을 포함하여 구성되고, 상기 복수의 절연관은 상기 복수의 플라즈마 분사 노즐의 하부에서 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 기판형 태양 전지의 도핑 장치
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제 4 항에 있어서,상기 플라즈마 도핑 모듈은,상기 복수의 플라즈마 분사 노즐 각각에 연통되는 복수의 가스 공급 홀을 가지도록 형성되어 상기 플라즈마 전극 프레임 상에 설치된 절연 프레임; 및상기 가스 공급부로부터 공급되는 불활성 가스가 공급되고, 상기 복수의 가스 공급 홀 각각에 공통적으로 연통되는 가스 분배 공간을 가지도록 형성되어 상기 절연 프레임을 덮는 가스 분배 프레임을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판형 태양 전지의 도핑 장치
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제 5 항에 있어서,상기 전극 플레이트는 상기 절연 프레임의 하부에 결합되고, 상기 복수의 플라즈마 분사 홀은 상기 복수의 가스 공급 홀 각각에 연통되고, 상기 복수의 플라즈마 분사 노즐은 상기 복수의 플라즈마 분사 홀 각각에 연통되는 것을 특징으로 하는 기판형 태양 전지의 도핑 장치
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제 1 항 또는 제 3 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 플라즈마는 50㎛ ~ 2mm 범위의 직경을 가지도록 상기 도펀트 물질에 분사되는 것을 특징으로 하는 기판형 태양 전지의 도핑 장치
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제 4 항에 있어서,상기 복수의 플라즈마 분사 노즐은 라인 빔(Line Beam) 형태의 플라즈마를 발생하여 분사하도록 구비된 것을 특징으로 하는 기판형 태양 전지의 도핑 장치
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제 8 항에 있어서,상기 플라즈마 도핑 모듈은,상기 복수의 플라즈마 분사 노즐 각각에 연통되는 복수의 가스 공급 슬릿을 가지도록 형성되어 상기 플라즈마 전극 프레임 상에 설치된 절연 프레임; 및상기 가스 공급부로부터 공급되는 불활성 가스가 공급되고, 상기 복수의 가스 공급 슬릿 각각에 공통적으로 연통되는 가스 분배 공간을 가지도록 형성되어 상기 절연 프레임을 덮는 가스 분배 프레임을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판형 태양 전지의 도핑 장치
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제 9 항에 있어서,상기 전극 플레이트는 상기 절연 프레임의 하부에 결합되고, 상기 복수의 플라즈마 분사 슬릿은 상기 복수의 가스 공급 슬릿 각각에 연통되고, 상기 복수의 플라즈마 분사 노즐은 상기 복수의 플라즈마 분사 슬릿 각각에 연통되는 것을 특징으로 하는 기판형 태양 전지의 도핑 장치
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