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(a) 투명 기판상에서 성장된 Ⅲ-Ⅴ족 반도체의 표면에 금속을 코팅하는 단계;(b) 상기 금속이 코팅된 기판에 투명 기판 방향에서 레이저를 조사하여 반도체-금속 박막을 박리하는 단계;(c) 상기 박리된 반도체-금속 박막상의 반도체를 선택적으로 에칭(etching)하여 마이크로 LED 칩을 형성하는 단계;(d) 상기 마이크로 LED칩이 형성된 박막의 표면을 제 1 고분자 화합물로 패터닝하여 마이크로 LED칩의 n-type 영역 및 금속박막의 일부가 노출되도록 컨텍트 홀(Connect Hole)을 형성하는 단계;(e) 상기 제1고분자 화합물로 패터닝된 표면에 나노와이어를 코팅 및 패터닝하여 상기 마이크로 LED칩의 n-type 영역 및 금속박막의 일부를 연결하는 전극을 형성하는 단계;(f) 상기 (e)단계에서 형성된 전극의 표면을 제2고분자 화합물로 코팅하는 단계;(g) 상기 (a)단계에서 코팅된 금속박막을 제거하며 반도체를 노출시키는 단계;(h) 상기 노출된 반도체의 표면을 제 3 고분자 화합물로 패터닝하여 마이크로 LED칩의 p-type 영역이 노출되도록 컨텍트 홀(Connect Hole)을 형성하는 단계;(i) 상기 제3고분자 화합물로 패터닝된 표면에 나노와이어를 코팅 및 패터닝하여 상기 마이크로 LED칩의 p-type 영역을 연결하는 전극을 형성하는 단계; 및(j) 상기 (i)단계에서 형성된 전극의 표면을 제4고분자 화합물로 코팅하는 단계;를 포함하는 초박막 투명 플렉서블 수직형 마이크로 발광 다이오드 제조방법
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제1항에 있어서,상기 투명기판은 유리, 고분자, 실리콘 또는 사파이어로 제작된 투명기판인 것을 특징으로 하는 초박막 투명 플렉서블 수직형 마이크로 발광 다이오드 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (a)단계의 금속은 구리, 알루미늄, 니켈, 철 또는 크롬인 것을 특징으로 하는 초박막 투명 플렉서블 수직형 마이크로 발광 다이오드 제조방법
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제1항에 있어서,상기 Ⅲ-Ⅴ족 반도체는 GaN, AlN, InN, AlGaN, InGaN, AlInGaN, GaAs, AlAs, InAs, AlGaAs, InGaAs, InAlGaAs, InP, InGaP, AlGaP, AlGaAsP, InAlGaAsP 또는 InGaAsP인 것을 특징으로 하는 초박막 투명 플렉서블 수직형 마이크로 발광 다이오드 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (b) 단계의 레이저는 엑시머 레이저, 이산화탄소 레이저, 루비 레이저, 헬륨-네온레이저 또는 Nd-YAG 레이저이며, 180~380nm의 파장을 가지는 것을 특징으로 하는 초박막 투명 플렉서블 수직형 마이크로 발광 다이오드 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (c) 단계의 에칭은 ？？ 에칭(Wet etching) 또는 드라이 에칭(Dry etching)인 것을 특징으로 하는 초박막 투명 플렉서블 수직형 마이크로 발광 다이오드 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1고분자 화합물 및 제3고분자 화합물은 자외선 경화형 고분자 인 것을 특징으로 하는 초박막 투명 플렉서블 수직형 마이크로 발광 다이오드 제조방법
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제7항에 있어서,상기 자외선 경화형 고분자는 에폭시계 또는 폴리우레탄계 고분자인 것을 특징으로 하는 초박막 투명 플렉서블 수직형 마이크로 발광 다이오드 제조방법
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제1항에 있어서,상기 나노와이어는 은, 구리, 철, ITO, 탄소, 니켈, 크롬 또는 티타늄을 포함하는 것을 특징으로 하는 초박막 투명 플렉서블 수직형 마이크로 발광 다이오드 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제2고분자 화합물 및 제4고분자 화합물은 생체적합성 물질인 것을 특징으로 하는 초박막 투명 플렉서블 수직형 마이크로 발광 다이오드 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (g) 단계의 코팅된 금속박막 제거는 ？？ 에칭(Wet etching) 또는 드라이 에칭(Dry etching)으로 수행되며, 금속 박막을 선택적으로 제거할 수 있는 용액 또는 가스를 사용하여 에칭되는 것을 특징으로 하는 초박막 투명 플렉서블 수직형 마이크로 발광 다이오드 제조방법
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제1항 내지 제11항 중 어느 한 항의 제조방법으로 제조되는 초박막 투명 플렉서블 수직형 마이크로 발광 다이오드
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제12항에 있어서,상기 발광 다이오드는 한변의 크기가 5~100㎛인 것을 특징으로 하는 초박막 투명 플렉서블 수직형 마이크로 발광 다이오드
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제12항에 있어서,상기 발광 다이오드는 2~100개가 평면상에 일정한 간격으로 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 초박막 투명 플렉서블 수직형 마이크로 발광 다이오드
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