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전기방사 나노섬유 매트릭스;유연 소재 또는 경질 소재로 구성된, 상부 기판 및 하부 기판; 및전극;을 포함하고,상기 상부 기판 또는 하부 기판은 전기방사 나노섬유 매트릭스 접촉면에 미세돌기 패턴이 형성되어 있어서 미세돌기가 전기방사 나노섬유 매트릭스에 박혀 들어가 있으며,상기 전기방사 나노섬유 매트릭스는 전극에 연결되어 있는 구성을 가진, 기계적 변형모드에 대한 반응성을 갖는 압전소자
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제 1항에 있어서,상기 전기방사 나노섬유 매트릭스는 랜덤한 배열 형태, 한방향으로 정렬되어 있는 배열 형태, 및 격자 배열 형태로 구성된 군으로부터 선택된 배열 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 기계적 변형모드에 대한 반응성을 갖는 압전소자
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제 1항에 있어서,상기 전극은 전기방사 나노섬유 매트릭스에 대해 상하단 전체면, 양끝단, 또는 하단의 부분적 다수면에 연결되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기계적 변형모드에 대한 반응성을 갖는 압전소자
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제 1항에 있어서, 상기 미세돌기 패턴은 몰딩 또는 임프린팅 방법을 통해 형성된 것을 특징으로 하는 기계적 변형모드에 대한 반응성을 갖는 압전소자
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제 1항에 있어서,상기 전극은 스퍼터링(sputtering), 증착(evaporation), 전사(transfer), 삽입(insertion) 및 도포(spreading)로 구성된 군으로부터 선택된 방법을 통해 기판에 형성된 것을 특징으로 하는 기계적 변형모드에 대한 반응성을 갖는 압전소자
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제 1항에 있어서, 상기 기판은 박막화된 것을 특징으로 하는 기계적 변형모드에 대한 반응성을 갖는 압전소자
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전기방사법으로 압전소재를 나노섬유 매트릭스로 제조하는 제 1단계;유연 소재 또는 경질 소재로 구성된, 상부 기판 또는 하부 기판에 미세돌기 패턴을 형성시키는 제 2단계; 및상부 기판 및 하부 기판을 전극 및 나노섬유 매트릭스와 연결하되, 전기방사 나노섬유 매트릭스 접촉면에 미세돌기 패턴이 형성되어 있어서 미세돌기가 전기방사 나노섬유 매트릭스에 박혀 들어가 있도록 연결하는 제 3단계;를 포함하는,기계적 변형모드에 대한 반응성을 갖는 압전소자의 제조 방법
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제 8항에 있어서, 상기 압전소재는 폴리비닐리덴플루오리드(Polyvinylidene fluoride, PVDF), 폴리트리플루오르에틸렌(polytrifluoroethylene, PTrFE), 폴리비닐리덴플루오리드-코-트리플루오르에틸렌(Polyvinylidene fluoride-co-trifluoroethylene, PVDF-TrFE), 폴리비닐리덴플루오리드-코-헥사플루오르프로필렌(Polyvinylidene-co-hexafluoropropylene), PVDF-HFP), 폴리비닐리덴플루오리드-코-테트라플루오르에틸렌 (Polyvinlidene-co-tetrafluoroethylene, PVDF-TFE), 폴리아미드(Polyamide), 폴리우레아(Polyurea), 폴리운데칸아미드(Polyundecaneamide, nylon-11), 폴리비닐클로라이드(Polyvinylchloride, PVC), 폴리비닐아세테이트(Polyvinylacetate, PVAc), 폴리아크릴로니트릴(Polyacrylonitrile, PAN), 폴리비닐리덴시아나이드-코-비닐아세테이트(Polyvinylidenecyanide-co-vinylacetate, PVDCN-VAc), 폴리페닐에테르니트릴(Polyphenylethernitrile, PPEN) 및 폴리-1-바이시클로부탄카르보니트릴(Poly-1-bicyclobutanecarbonitrile)로 구성된 군으로부터 선택된 것을 특징으로 하는 기계적 변형모드에 대한 반응성을 갖는 압전소자의 제조방법
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제 8항에 있어서, 상기 나노섬유 매트릭스는 랜덤한 배열 형태, 한방향으로 정렬되어 있는 배열 형태, 및 격자 배열 형태로 구성된 군으로부터 선택된 배열 형태로 제조하는 것을 특징으로 하는 기계적 변형모드에 대한 반응성을 갖는 압전소자의 제조방법
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제 8항에 있어서, 상기 전극은 나노섬유 매트릭스에 대해 상하단 전체면, 양끝단, 또는 하단의 부분적 다수면에 연결되도록 제조하는 것을 특징으로 하는 기계적 변형모드에 대한 반응성을 갖는 압전소자의 제조방법
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제 8항에 있어서, 상기 상부 기판 및 하부 기판은 박막으로 제작하는 것을 특징으로 하는 기계적 변형모드에 대한 반응성을 갖는 압전소자의 제조방법
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제 1항 내지 제 5항, 또는 제 7항 중 어느 한 항의 압전소자에 있어서,하부 기판의 물체 접촉면에 미세돌기 패턴이 형성되어 있는 기계적 변형모드에 대한 반응성을 갖는 압전소자
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제 13항에 있어서,상기 미세돌기는 하부 기판의 나노섬유 매트릭스 접촉면과 물체 접촉면을 각각 미세돌기를 형성한 후 부착하는 방법, 하부 기판의 상·하면에 미세돌기를 한번에 몰딩하는 원 바디 몰딩 방법, 또는 하부 기판의 상·하면에 미세돌기를 부착하는 방법으로 형성시키는 것을 특징으로 하는 기계적 변형모드에 대한 반응성을 갖는 압전소자
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제 1항 내지 제 5항, 또는 제 7항 중 어느 한 항의 압전소자에 있어서,기판이 곡면화되어 있는 기계적 변형모드에 대한 반응성을 갖는 압전소자
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16
제 15항에 있어서,상기 곡면화는 상부 기판 또는 하부 기판의 상부면 또는 하부면 중 어느 하나 또는 둘 이상이 곡면화되어 있는 것을 특징으로 하는 기계적 변형모드에 대한 반응성을 갖는 압전소자
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