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기판 검사 및 재생 방법

  • 기술번호 : KST2019022433
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판 검사 방법 및 재생 방법에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 의한 기판 검사 방법의 일 양태는, 적어도 일부가 투명한 기판 검사 방법에 있어서: 검사 대상인 기판의 표면 일지점(point)에 기설정된 양의 양자점이 드로핑(dropping)되는 양자점 드로핑 단계(S10); 상기 양자점 드로핑 단계(S10)에서 표면에 양자점이 드로핑된 상기 기판의 표면에 자외선을 조사하는 자외선 조사 단계(20); 및 상기 자외선 조사 단계(S20)에서 조사된 자외선에 의하여 상기 기판의 표면 일지점에 드로핑된 상기 양자점이 발광하면 이에 의하여 상기 기판의 테두리에서 광이 검출되었는지 여부에 따라서 상기 기판의 표면에 형성되는 홈의 존부가 판단되는 기판 검사 단계(S30); 를 포함한다.
Int. CL G01N 21/956 (2006.01.01) G01N 33/58 (2006.01.01) G01N 21/88 (2006.01.01)
CPC G01N 21/956(2013.01) G01N 21/956(2013.01) G01N 21/956(2013.01) G01N 21/956(2013.01)
출원번호/일자 1020160090478 (2016.07.18)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1707547-0000 (2017.02.10)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170228) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.07.21)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김범성 대한민국 인천광역시 연수구
2 정다운 대한민국 인천광역시 남구
3 박경태 대한민국 인천광역시 연수구
4 박지영 대한민국 경기도 안산시 상록구
5 최원정 대한민국 경기도 김포시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 배동환 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, *층 ***호 (가산동, 뉴티캐슬)(특허법인빛과소금)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.07.18 수리 (Accepted) 1-1-2016-0690286-35
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2016.07.21 수리 (Accepted) 1-1-2016-0708861-45
3 등록결정서
Decision to grant		 2017.02.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0089602-10
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2017.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2017-0613098-54
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
적어도 일부가 투명한 기판 검사 방법에 있어서:검사 대상인 기판의 표면 일지점(point)에 기설정된 양의 양자점이 드로핑(dropping)되는 양자점 드로핑 단계(S10); 상기 양자점 드로핑 단계(S10)에서 표면에 양자점이 드로핑된 상기 기판의 표면에 자외선을 조사하는 자외선 조사 단계(20); 및 상기 자외선 조사 단계(S20)에서 조사된 자외선에 의하여 상기 기판의 표면 일지점에 드로핑된 상기 양자점이 발광하면 이에 의하여 상기 기판의 테두리에서 광이 검출되었는지 여부에 따라서 상기 기판의 표면에 형성되는 홈의 존부가 판단되는 기판 검사 단계(S30); 를 포함하는 기판 검사 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 기판은 유리 또는 사파이어 재질인 기판 검사 방법
3 3
적어도 일부가 투명한 기판 재생 방법에 있어서:검사 대상인 기판의 표면 일지점(point)에 기설정된 양의 양자점이 드로핑(dropping)되는 양자점 드로핑 단계(S10); 상기 양자점 드로핑 단계(S10)에서 표면에 양자점이 드로핑된 상기 기판의 표면에 자외선을 조사하는 자외선 조사 단계(20); 상기 자외선 조사 단계(S20)에서 조사된 자외선에 의하여 상기 기판의 표면 일지점에 드로핑된 상기 양자점이 발광하면 이에 의하여 상기 기판의 테두리에서 광이 검출되었는지 여부에 따라서 상기 기판의 표면에 형성되는 홈의 존부가 판단되는 기판 검사 단계(S30); 및 상기 기판 검사 단계(S30)에서 상기 기판의 표면에 홈이 존재하는 것으로 판단된 경우에 상기 기판의 표면을 연마하는 기판 연마 단계(S40); 를 포함하는 기판 재생 방법
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 기판은 유리 또는 사파이어 재질인 기판 재생 방법
5 5
제 3 항에 있어서,상기 기판 연마 단계(S40)는, 상기 기판의 표면 일지점에 드로핑된 상기 양자점의 발광에 의하여 상기 기판의 테두리에서 광이 검출되지 않을 때까지 계속적으로 수행되는 기판 재생 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (주)앰트 경제협력권산업육성사업(비즈니스협력형 R and D) 차세대 LED 조명용 고감성, 고기능성 유무기 복합 플라스틱 소재 개발