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기판;상기 기판 상에 형성된 전극층;상기 전극층 상에 형성된 환원된 산화그래핀층(R-GO, Reduced Graphene Oxide); 및상기 환원된 산화그래핀층 상에 형성된 브로모페놀 블루층(BPB, bromophenol blue)을 포함하고,상기 브로모페놀 블루층과 대상가스와의 전기화학적 상호작용에 따른 브로모페놀 블루층의 색변화 및 환원된 산화그래핀층의 전기적 변화가 동시에 일어나게 되고, 이를 감지하여 광학적 및 전기적 감지가 가능한,전기적 감지 및 광학적 감지가 동시에 가능한 유해 가스 감지 센서
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제 1 항에 있어서,상기 기판은 유연성 기판인,전기적 감지 및 광학적 감지가 동시에 가능한 유해 가스 감지 센서
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제 1 항에 있어서,상기 전극층은 제 1 전극 패턴 및 제 2 전극 패턴인 2개의 전극 패턴으로 이루어져 있으며,상기 제 1 전극 패턴 및 제 2 전극 패턴은 전기적으로 절연되어 있고, 각각 서로 맞물리는(interdigitated) 전극 패턴을 형성하는,전기적 감지 및 광학적 감지가 동시에 가능한 유해 가스 감지 센서
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제 1 항에 있어서,상기 환원된 산화그래핀층은 자가 조립에 의해 형성된,전기적 감지 및 광학적 감지가 동시에 가능한 유해 가스 감지 센서
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제 1 항에 있어서,상기 브로모페놀 블루층은 상기 환원된 산화그래핀층의 패시베이션(passivation) 층으로 이용되는,전기적 감지 및 광학적 감지가 동시에 가능한 유해 가스 감지 센서
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제 1 항 내지 제 5 항에 중 어느 한 항에 따른 전기적 감지 및 광학적 감지가 동시에 가능한 유해 가스 감지 센서를 장착한, 웨어러블 스마트 장치
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기판을 준비하는 단계;상기 준비된 기판 상에 전극층을 형성하는 단계;상기 전극층이 형성된 기판 상에 환원된 산화그래핀층을 형성하는 단계; 및상기 환원된 산화그래핀층 상에 브로모페놀 블루층을 형성하는 단계를 포함하고,상기 브로모페놀 블루층과 대상가스와의 전기화학적 상호작용에 따른 브로모페놀 블루층의 색변화 및 환원된 산화그래핀층의 전기적 변화가 동시에 일어나게 되고, 이를 감지하여 광학적 및 전기적 감지가 가능한,전기적 감지 및 광학적 감지가 동시에 가능한 유해 가스 감지 센서의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 기판은 유연성 기판인,전기적 감지 및 광학적 감지가 동시에 가능한 유해 가스 감지 센서의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 전극층은 제 1 전극 패턴 및 제 2 전극 패턴인 2개의 전극 패턴으로 이루어져 있으며,상기 제 1 전극 패턴 및 제 2 전극 패턴은 전기적으로 절연되어 있고, 각각 서로 맞물리는(interdigitated) 전극 패턴을 형성하는,전기적 감지 및 광학적 감지가 동시에 가능한 유해 가스 감지 센서의 제조 방법
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제 9 항에 있어서,상기 제 1 전극 패턴 및 상기 제 2 전극 패턴의 형성은,상기 기판 상에 전극층을 코팅하는 단계;상기 전극층이 코팅된 기판 상에 포토레지스트 마스크 패턴을 형성하는 단계;산을 이용하여 상기 포토레지스트 마스크 패턴을 제외한 부분의 전극층을 제거하는 단계; 및상기 포토레지스트 마스크 패턴을 제거하는 단계를 포함하는,전기적 감지 및 광학적 감지가 동시에 가능한 유해 가스 감지 센서의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 환원된 산화그래핀층을 형성하는 단계는 자가 조립에 의해 이루어지는,전기적 감지 및 광학적 감지가 동시에 가능한 유해 가스 감지 센서의 제조 방법
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제 11 항에 있어서,상기 자가 조립은,투명 접착제를 이용해 상기 전극 상에 접착층을 형성하는 단계;상기 접착층 상에 수용성 산화 그래핀층을 형성시키는 단계; 및상기 산화 그래핀을 환원시키는 단계를 포함하는,전기적 감지 및 광학적 감지가 동시에 가능한 유해 가스 감지 센서의 제조 방법
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제 12 항에 있어서,상기 산화 그래핀을 환원시키는 단계는,히드라진 증기에 노출시키고, 이후 질소 분위기에서 열 환원을 하는,전기적 감지 및 광학적 감지가 동시에 가능한 유해 가스 감지 센서의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 환원된 산화그래핀층 상에 브로모페놀 블루층을 형성하는 단계는,딥 코팅 방법으로 BPB 용액에 담금으로서 이루어지는,전기적 감지 및 광학적 감지가 동시에 가능한 유해 가스 감지 센서의 제조 방법
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