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전계효과 트랜지스터형 바이오 센서 어레이 제조방법 및 미세유체소자를 포함하는 전계효과 트랜지스터형 바이오 센서 어레이 제조방법(METHOD FOR MANUFACTURING FIELD EFFECT TRANSISTOR TYPE BIO SENSOR ARRAY AND METHOD FOR MANUFACTURING FIELD EFFECT TRANSISTOR TYPE BIO SENSOR COMPRISING MICROFLUDIC DEVICE)

  • 기술번호 : KST2017007601
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 전계효과 트랜지스터형 바이오 센서 어레이 제조방법이 개시된다. 전계효과 트랜지스터형 바이오 센서 어레이 제조방법은 기판 상에 2차원 나노재료로 이루어진 채널층을 배치하는 단계; 상기 채널층 상에 희생층을 배치하는 단계; 상기 희생층 상에 제1 포토레지스트를 배치하고 상기 제1 포토레지스트를 노광하여 제1 패턴을 형성하는 단계; 패터닝된 상기 제1 포토레지스트를 마스크로 이용하고 상기 채널층 및 상기 희생층을 식각하여 상기 기판 상에 상기 제1 패턴에 대응하는 복수 개의 나노재료 구조체들을 형성하는 단계; 상기 복수 개의 나노재료 구조체들 상에 제2 포토레지스트를 배치하고 상기 제2 포토레지스트를 노광하여 제2 패턴을 형성하는 단계; 패터닝된 상기 제2 포토레지스트를 마스크로 이용하고 상기 복수 개의 나노재료 구조체의 희생층을 식각하여 상기 복수 개의 나노재료 구조체의 채널층 상에 소스 전극과 드레인 전극이 각각 형성될 영역을 형성하는 단계; 상기 복수 개의 나노재료 구조체의 채널층 상에 소스 전극과 드레인 전극을 각각 형성하는 단계; 상기 기판, 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극을 각각 보호하는 보호층을 배치하는 단계; 및 상기 보호층을 마스크로 이용하고 상기 소스 전극과 상기 드레인 전극 사이의 채널층을 노출시키는 단계를 포함한다.
Int. CL G01N 27/414 (2015.12.04) B82B 3/00 (2015.12.04) B82Y 15/00 (2015.12.04) B82Y 30/00 (2015.12.04)
CPC G01N 27/4145(2013.01) G01N 27/4145(2013.01) G01N 27/4145(2013.01) G01N 27/4145(2013.01) G01N 27/4145(2013.01)
출원번호/일자 1020150149985 (2015.10.28)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0049073 (2017.05.10) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.10.28)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이내응 대한민국 서울특별시 마포구
2 손일융 대한민국 경기도 수원시 장안구
3 김보영 대한민국 경상북도 상주시 경상대로 ***
4 손영민 대한민국 경기도 수원시 장안구
5 이원일 대한민국 서울특별시 도봉구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2015-1046352-67
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.09.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.11.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0149676-18
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.11.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0819584-19
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2017-0029557-11
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.01.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0029576-89
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2017.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0379887-84
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2017.06.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0624761-75
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2017-0624736-33
11 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2017.07.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0504297-56
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번호 청구항
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기판 상에 2차원 나노재료로 이루어진 채널층을 배치하는 단계; 상기 채널층 상에 무기 절연체로 이루어진 희생층을 배치하는 단계; 상기 희생층 상에 제1 포토레지스트를 배치하고 상기 제1 포토레지스트를 노광하여 제1 패턴을 형성하는 단계; 패터닝된 상기 제1 포토레지스트를 마스크로 이용하고 상기 채널층 및 상기 희생층을 식각하여 상기 기판 상에 상기 제1 패턴에 대응하는 복수 개의 나노재료 구조체들을 형성하는 단계; 상기 복수 개의 나노재료 구조체들 상에 제2 포토레지스트를 배치하고 상기 제2 포토레지스트를 노광하여 제2 패턴을 형성하는 단계; 패터닝된 상기 제2 포토레지스트를 마스크로 이용하고 상기 복수 개의 나노재료 구조체의 희생층을 식각하여 상기 복수 개의 나노재료 구조체의 채널층 상에 소스 전극과 드레인 전극이 각각 형성될 영역을 형성하는 단계; 상기 복수 개의 나노재료 구조체의 채널층 상에 소스 전극과 드레인 전극을 각각 형성하는 단계; 상기 기판, 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극을 각각 보호하는 보호층을 배치하는 단계; 및 상기 보호층을 마스크로 이용하고 상기 소스 전극과 상기 드레인 전극 사이의 채널층을 노출시키는 단계를 포함하는 방법에 의해 전계효과 트랜지스터형 바이오 센서 어레이를 제조하는 단계;상기 제조된 전계효과 트랜지스터형 바이오 센서 어레이의 보호층 상에 미세유체소자를 접촉시키는 단계; 및 상기 보호층과 미세유체소자가 접촉된 상태에서 가열하는 단계를 포함하고,상기 전계효과 트랜지스터형 바이오 센서 어레이의 보호층 상에 미세유체소자를 접촉시키는 단계 전에, 상기 보호층과 접촉하는 상기 미세유체소자의 표면을 산소 플라즈마로 친수처리하는 단계; 및 상기 미세유체소자의 표면을 아민화 시키는 단계를 더 포함하는,미세유체소자를 포함하는 전계효과 트랜지스터형 바이오 센서 어레이 제조방법
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제6항에 있어서, 상기 미세유체소자는 폴리디메틸실록사인(PDMS)으로 이루어진, 미세유체소자를 포함하는 전계효과 트랜지스터형 바이오 센서 어레이 제조방법
8 8
삭제
9 9
제6항의 방법으로 제조된 미세유체소자를 포함하는 전계효과 트랜지스터형 바이오 센서 어레이
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 성균관대학교(자연과학캠퍼스) 중견연구자지원 선택적 자극감응 증폭형 나노하이브리드 소재 기반 고기능성-다기능성 전계효과트랜지스터 검지소자