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플라즈마 발생기 내로 플라즈마를 점화하기 위한 전력공급장치에 있어서,정류기와 인버터를 구비하는 스위칭 전원;일차 권선 및 상기 일차 권선이 권선되는 페라이트 코어를 구비하는 변압기; 및상기 스위칭 전원과 상기 일차 권선 사이에 연결되며, 상기 일차 권선과 직렬로 연결되는 공진 인덕터 및 상기 일차 권선에 병렬로 연결되며 상기 공진 인덕터와 직렬로 연결되는 공진 캐패시터를 구비하는 공진 네트워크를 포함하고, 상기 공진 네트워크는, 상기 공진 캐패시터와 일단이 직렬로 연결되고, 타단이 접지로 연결되는 수동소자를 포함하고, 상기 수동소자에 의해 상기 인버터의 전압 및 전류의 크기가 조절되며, 상기 조절된 인버터의 전압 및 전류의 크기에 따라 스위칭 주파수 대역이 조정되고,상기 수동소자는,저항, 인덕터, 캐패시터, 트랜스 또는 릴레이 중 적어도 하나 이상을 포함하는, 수동소자를 구비한 전력공급장치
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제1항에 있어서,상기 플라즈마 발생기는,하나 이상의 가스 입구와 하나 이상의 가스 출구가 구비되며, 내부에 토로이달 형상의 플라즈마 방전 채널을 갖는 토로이달 형상의 플라즈마 챔버를 포함하고,상기 변압기의 상기 페라이트 코어는 상기 플라즈마 방전 채널에 쇄교하도록 상기 플라즈마 챔버에 설치되는 수동소자를 구비한 전력공급장치
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제1항에 있어서, 상기 스위칭 전원은, 하프 브리지 인버터를 포함하는 수동소자를 구비한 전력공급장치
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제1항에 있어서, 상기 스위칭 전원은,풀 브리지 인버터를 포함하는 수동소자를 구비한 전력공급장치
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제3항에 있어서,상기 하나 이상의 가스 출구는, 기판을 처리하는 공정챔버와 연결되는 수동소자를 구비한 전력공급장치
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제3항에 있어서,상기 플라즈마 챔버는,상기 플라즈마 방전 채널로 상기 플라즈마를 점화하기 위한 점화전극을 포함하는 수동소자를 구비한 전력공급장치
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플라즈마 발생기 내로 플라즈마를 점화하기 위한 전력을 제공하는 방법에 있어서,정류기와 인버터를 구비하는 스위칭 전원과 변압기의 일차 권선 사이에 연결되고, 상기 일차 권선과 직렬로 연결되는 공진 인덕터 및 상기 일차 권선에 병렬로 연결되며 상기 공진 인덕터와 직렬로 연결되는 공진 캐패시터 및 수동소자를 갖는 공진 네트워크를 구비하는 단계; 및상기 공진 네트워크로부터 공진된 전압을 상기 일차 권선의 양단에 제공하여 상기 일차 권선에 공진 전류를 유도하여 플라즈마를 생성하는 단계를 포함하고,상기 공진 네트워크는, 상기 공진 캐패시터와 일단이 직렬로 연결되고, 타단이 접지로 연결되는 수동소자를 포함하고, 상기 수동소자에 의해 상기 인버터의 전압 및 전류의 크기가 조절되며, 상기 조절된 인버터의 전압 및 전류의 크기에 따라 스위칭 주파수 대역이 조정되고,상기 수동소자는,저항, 인덕터, 캐피시터, 트랜스 또는 릴레이 중 적어도 하나 이상을 포함하는
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제8항에 있어서,상기 플라즈마를 생성하기 전 단계에서 상기 수동소자를 이용하여 상기 인버터의 전압, 전류의 위상차 및 상기 플라즈마 점화 전 전류의 크기를 확인하는 수동소자를 구비한 전력공급장치를 이용한 플라즈마 점화를 위한 전력제공방법
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