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SPM 탐침을 이용한 전하주입 방식의 메모리 소자

  • 기술번호 : KST2019023144
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일실시예인 SPM 탐침을 이용한 전하주입 방식의 메모리 소자는 전도체 또는 반도체 물질로 이루어진 기판층; 상기 기판층의 일면에 위치된 유전체층, 상기 유전체층의 일면에 위치된 2D 물질층, 및 상기 2D 물질층에 접촉 모드(contact mode)에서, 마찰되어 전하를 전달하여, 상기 유전체층으로 전하를 주입할 수 있는 주사 탐침 현미경(Scanning probe microscopy, SPM) 탐침을 포함한다.
Int. CL G03F 1/74 (2012.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01) G03F 9/00 (2006.01.01)
CPC G03F 1/74(2013.01) G03F 1/74(2013.01) G03F 1/74(2013.01) G03F 1/74(2013.01)
출원번호/일자 1020170068478 (2017.06.01)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1910278-0000 (2018.10.15)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20181019) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.06.01)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김상우 대한민국 경기도 용인시 수지구
2 크리스티안 팔코니 이탈리아 이태리 ***** 로마 비아 델 폴리테크니코 *
3 김태윤 대한민국 인천광역시 남동구
4 김성수 대한민국 서울특별시 성동구
5 이강혁 대한민국 경기도 수원시 장안구
6 김태호 대한민국 서울특별시 송파구
7 최승 대한민국 경기도 안산시 상록구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2017-0525830-83
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.11.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.12.11 수리 (Accepted) 9-1-2017-0042901-39
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.05.03 수리 (Accepted) 1-1-2018-0437257-78
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.05.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0329551-88
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.07.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0678292-07
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.07.10 수리 (Accepted) 1-1-2018-0678291-51
8 등록결정서
Decision to grant
2018.10.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0687250-47
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번호 청구항
1 1
전도체 또는 반도체 물질로 이루어진 기판층;상기 기판층 상에 위치된 절연체층; 상기 절연체층 위에 위치된 2D(2-Dimensional) 물질층; 및상기 2D 물질층에 접촉 모드(contact mode)에서 마찰되어 전하를 전달하여, 상기 절연체층으로 전하를 주입할 수 있는 주사 탐침 현미경(Scanning probe microscopy, SPM) 탐침을 포함하고,상기 SPM 탐침을 이용하여 전하를 주입한 후, 비-접촉 모드에서, 상기 탐침에 전압을 가하면서, 상기 절연체층의 표면을 스캔하며,상기 탐침은 상기 표면 포텐셜이 변화된 부분에서 휘게 되고, 상기 탐침에 흐르는 전류 값이 변화하게 되어, 데이터를 읽을 수 있는, SPM 탐침을 이용한 전하주입 방식의 메모리 소자
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 2D 물질층은 반금속(semi-metal), 반도체, 절연체 중 어느 하나인, SPM 탐침을 이용한 전하주입 방식의 메모리 소자
4 4
제1항에 있어서, 상기 2D 물질층은 그래핀, MoS2, WSe2, 및 h-BN 중 어느 하나인, SPM 탐침을 이용한 전하주입 방식의 메모리 소자
5 5
제1항에 있어서, 상기 2D 물질층의 두께는 원자단위 두께로, 상기 SPM 탐침에 의하여 주입된 전하 터널링효과로 투과되는, SPM 탐침을 이용한 전하주입 방식의 메모리 소자
6 6
제1항에 있어서, 상기 2D 물질층은 단일층 또는 다층인, SPM 탐침을 이용한 전하주입 방식의 메모리 소자
7 7
제1항에 있어서,상기 절연체층은 PET, SiO2, 및 Al2O3 중 어느 하나를 포함하는, SPM 탐침을 이용한 전하주입 방식의 메모리 소자
8 8
제1항에 있어서,상기 SPM 탐침은 도체 또는 반도체로 이루어진, SPM 탐침을 이용한 전하주입 방식의 메모리 소자
9 9
제1항에 있어서,상기 SPM 탐침의 직경은 나노크기인, SPM 탐침을 이용한 전하주입 방식의 메모리 소자
10 10
제1항에 있어서, 상기 SPM 탐침은 하나의 탐침으로 구비되거나, 탐침 어레이(array)로 구비되는, SPM 탐침을 이용한 전하주입 방식의 메모리 소자
11 11
제1항에 있어서, 상기 SPM 탐침에 가해진 전압에 따라 양전하 또는 음전하가 상기 2D 물질층으로 주입되고, 반대방향의 전압을 다시 가해줌에 따라 전하가 방출되는, SPM 탐침을 이용한 전하주입 방식의 메모리 소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 성균관대학교(자연과학캠퍼스) 중견연구자지원 압전/강유전 특성과 광전 특성의 커플링 현상 규명 및 차세대 에너지 하베스터 응용