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페라이트 구조체; 및상기 페라이트 구조체를 사이에 두고 서로 이웃하며 전기적으로 커플링(coupling)된 제1 분할전극 및 제2 분할전극을 포함하는 분할전극쌍을 포함하고,상기 페라이트 구조체는,플레이트 형태의 베이스부; 및상기 베이스부의 일면으로부터 돌출되고 상기 베이스부의 일측 변과 평행하게 연장되는 삽입돌기부를 포함하고,상기 페라이트 구조체는 상기 삽입돌기부가 상기 제1 분할전극 및 제2 분할전극의 사이로 삽입되고 상기 베이스부는 상기 제1 분할전극 및 제2 분할전극의 위로 위치하도록 상기 제1 분할전극 및 제2 분할전극 사이에 결합되는 것을 특징으로 하는,플라즈마 소스
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제1항에 있어서,상기 페라이트 구조체 및 분할전극쌍이 제1 방향을 따라 다수로 나열되어 선형 배열되고,상기 페라이트 구조체는 서로 이격된 각각의 분할전극쌍들 사이에도 추가로개재되는 것을 특징으로 하는,플라즈마 소스
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제1항에 있어서,상기 분할전극쌍이 제1 방향 및 상기 제1 방향에 수직하는 제2 방향을 따라 다수로 나열되어 매트릭스 구조로 선형 배열되되 각각의 분할전극쌍은 일정 간격 이격되게 배치되고, 상기 페라이트 구조체는 매트릭스 구조로 서로 이격된 각각의 분할전극쌍들 사이에도 추가로 개재되는 것을 특징으로 하는,플라즈마 소스
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,유전체 플레이트를 더 포함하고,상기 분할전극쌍 및 페라이트 구조체는 상기 유전체 플레이트 상에 선형 배열되는 것을 특징으로 하는,플라즈마 소스
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,유전체 플레이트를 더 포함하고,상기 분할전극쌍 및 페라이트 구조체는 상기 유전체 플레이트 내로 임베딩(embedding)되어 선형 배열되는 것을 특징으로 하는,플라즈마 소스
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제1항에 있어서,상기 제1 분할전극 및 제2 분할전극은 직사각형 플레이트 형상이고,상기 제1 분할전극 및 제2 분할전극은 각각의 장축변이 서로 전기적으로 커플링되는 것을 특징으로 하는,플라즈마 소스
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내부에 처리기판을 지지하는 스테이지를 구비하는 진공 챔버;페라이트 구조체; 및 상기 페라이트 구조체를 사이에 두고 서로 이웃하며 전기적으로 커플링(coupling)된 제1 분할전극 및 제2 분할전극을 포함하고, 전원이 인가되면 일방향으로 자기장을 형성하는 분할전극쌍을 포함하는 플라즈마 소스; 및상기 제1 분할전극 및 제2 분할전극 중 어느 하나에 연결되어 상기 분할전극쌍에 전원을 인가하는 전원공급부를 포함하고,상기 플라즈마 소스는 상기 스테이지 상에 놓이는 처리기판과 일정 거리 이격되게 배치되되 상기 자기장이 상기 처리기판을 향하도록 배치되며,상기 페라이트 구조체는,플레이트 형태의 베이스부; 및상기 베이스부의 일면으로부터 돌출되고 상기 베이스부의 일측 변과 평행하게 연장되는 삽입돌기를 포함하고,상기 페라이트 구조체는 상기 삽입돌기가 상기 제1 분할전극 및 제2 분할전극의 사이로 삽입되고 상기 베이스부는 상기 제1 분할전극 및 제2 분할전극의 위로 위치하도록 상기 제1 분할전극 및 제2 분할전극 사이에 결합되는 것을 특징으로 하는,플라즈마 발생장치
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제8항에 있어서,상기 플라즈마 소스는상기 페라이트 구조체 및 분할전극쌍이 제1 방향을 따라 다수로 나열되어 선형 배열되는 것을 특징으로 하는,플라즈마 발생장치
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제8항에 있어서,상기 플라즈마 소스는 상기 분할전극쌍이 제1 방향 및 상기 제1 방향에 수직하는 제2 방향을 따라 다수로 나열되어 매트릭스 구조로 선형 배열되되 각각의 분할전극쌍은 일정 간격 이격되게 배치되고, 상기 페라이트 구조체가 매트릭스 구조로 서로 이격된 각각의 분할전극쌍들 사이에도 추가로 개재되어 구성된 것을 특징으로 하는,플라즈마 발생장치
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제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,상기 플라즈마 소스는 유전체 플레이트를 더 포함하고,상기 분할전극쌍 및 페라이트 구조체는 상기 유전체 플레이트 상에 선형 배열되는 것을 특징으로 하는,플라즈마 발생장치
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제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,상기 플라즈마 소스는 유전체 플레이트를 더 포함하고,상기 분할전극쌍 및 페라이트 구조체는 상기 유전체 플레이트 내로 임베딩(embedding)되어 선형 배열되는 것을 특징으로 하는,플라즈마 발생장치
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제8항에 있어서,상기 제1 분할전극 및 제2 분할전극은 직사각형 플레이트 형상이고,상기 제1 분할전극 및 제2 분할전극은 각각의 장축변이 서로 전기적으로 커플링되는 것을 특징으로 하는,플라즈마 발생장치
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