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1
기판 상에 서로 이격되어 배치된 복수의 도전 패턴들;상기 도전 패턴들 사이에 배치된 제1 광도전층; 및상기 도전 패턴들 또는 상기 제1 광도전층 상에 배치된 제2 광도전층을 포함하고,상기 제1 광도전층은 제1 조명 패턴의 광 조사에 의하여 상기 도전 패턴들을 전기적으로 연결하고,상기 제2 광도전층은 제2 조명 패턴의 광 조사에 의하여 상기 도전 패턴들 또는 상기 제1 광도전층을 상기 기판에 수직한 방향으로 전기적으로 연결하는 광도전 전극으로 동작하여 제2 광도전층 상에 배치된 대상물에 전기 배선을 제공하고,상기 제1 광도전층은 상기 도전 패턴들 사이의 공간을 채우고,상기 제1 조명 패턴은 이웃한 상기 도전 패턴들 사이의 공간에서 국부적으로 광 조사를 제공하고,상기 제2 광도전층은 상기 도전 패턴들 및 상기 제1 광도전층 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 광도전 전기 배선 칩
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2 |
2
제1 항에 있어서,상기 도전 패턴들은 제1 방향 및 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 매트릭스 형태로 배열되는 것을 특징으로 하는 광도전 전기 배선 칩
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3 |
3
제1 항에 있어서,상기 제1 광도전층은 제1 파장 대역에서 광도전성을 제공하고,상기 제2 광도전층은 상기 제1 파장 대역과 다른 제2 파장 대역에서 광도전성을 제공하는 것을 특징으로 하는 광도전 전기 배선 칩
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4 |
4
제3 항에 있어서,상기 제1 광도전층은 비정질 실리콘(a-Si)이고,상기 제2 광도전층은 TiO2인 것을 특징으로 하는 광도전 전기 배선 칩
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5 |
5
기판 상에 서로 이격되어 배치된 복수의 도전 패턴들;상기 도전 패턴들 사이에 배치된 제1 광도전층; 및상기 도전 패턴들 또는 상기 제1 광도전층 상에 배치된 제2 광도전층을 포함하고,상기 제1 광도전층은 제1 조명 패턴의 광 조사에 의하여 상기 도전 패턴들을 전기적으로 연결하고,상기 제2 광도전층은 제2 조명 패턴의 광 조사에 의하여 상기 도전 패턴들 또는 상기 제1 광도전층을 상기 기판에 수직한 방향으로 전기적으로 연결하는 광도전 전극으로 동작하여 제2 광도전층 상에 배치된 대상물에 전기 배선을 제공하고,상기 도전 패턴들 사이에 배치된 상기 제1 광도전층 상에 정렬되어 배치된 제1 조명 흡수 패턴을 더 포함하고,상기 제1 광도전층과 상기 제2 광도전층은 동일한 물질이고,상기 제1 조명 흡수 패턴은 상기 제1 조명 패턴의 광 조사를 흡수하여 상기 제2 광도전층으로 광투과를 억제하는 것을 특징으로 하는 광도전 전기 배선 칩
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6 |
6
제5 항에 있어서,상기 제1 조명 패턴의 파장 대역은 상기 제2 조명 패턴의 파장 대역과 동일한 것을 특징으로 하는 광도전 전기 배선 칩
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7
제1 항에 있어서,상기 도전 패턴들 각각은 사각형이고, 상기 도전 패턴들 사이의 간격은 일정하고, 10 나노미터 내지 100 마이크로미터 인 것을 특징으로 하는 광도전 전기 배선 칩
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8
제1 항에 있어서,상기 도전 패턴들 중에서 최외곽에 배치된 도전 패턴들은 외부 시스템과 전기적 연결을 위한 접속 패드들에 각각 연결된 것을 특징으로 하는 광도전 전기 배선 칩
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9
제1 항에 있어서,상기 도전 패턴들은 투명 전도성 물질인 것을 특징으로 하는 광도전 전기 배선 칩
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10
삭제
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전기적 연결을 제공받는 대상물이 안착된 광도전 전기 배선 칩; 및 상기 광도전 전기 배선 칩에 재구성 가능한 전기 배선을 제공하는 조명 패턴 제공부를 포함하고,상기 광도전 전기 배선 칩은:기판 상에 서로 이격되어 배치된 복수의 도전 패턴들;상기 도전 패턴들 사이에 배치된 제1 광도전층; 및상기 도전 패턴들 또는 상기 제1 광도전층 상에 배치된 제2 광도전층을 포함하고,상기 제1 광도전층은 제1 조명 패턴의 광 조사에 의하여 상기 도전 패턴들을 전기적으로 연결하고, 상기 제2 광도전층은 제2 조명 패턴의 광 조사에 의하여 상기 도전 패턴들 또는 상기 제1 광도전층을 상기 기판에 수직한 방향으로 전기적으로 연결하는 광도전 전극으로 동작하여 상기 제2 광도전층 상에 배치된 대상물에 전기 배선을 제공하고,상기 조명 패턴 제공부는:상기 제1 조명 패턴을 생성하기 위하여 주기적으로 제1 조명 광을 생성하는 제1 광원;상기 제2 조명 패턴을 생성하기 위하여 주기적으로 제2 조명 광을 생성하는 제2 광원;상기 제1 조명광과 상기 제2 조명광에 동일한 광경로를 제공하는 광 결합기;상기 광 결합기를 통하여 제공받은 상기 제1 조명 광과 상기 제2 조명광을 시분할하여 상기 제1 조명광을 이용하여 상기 제1 조명 패턴을 형성하고 상기 제2 조명 광을 이용하여 상기 제2 조명 패턴을 형성하는 공간 변조부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광도전 전기 배선 장치
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12
기판 상에 서로 이격되어 배치된 복수의 하부 도전 패턴들;서로 이격되어 배치되고 이웃한 하부 도전 패턴들 상에 중첩되도록 배치된 상부 도전 패턴들;상기 하부 도전 패턴들과 상기 상부 도전 패턴들 사이에 개재된 제1 광도전층; 및상기 상부 도전 패턴들 상에 배치된 제2 광도전층을 포함하고,상기 제1 광도전층은 제1 조명 패턴의 광 조사에 의하여 하부 도전 패턴과 상부 도전 패턴을 기판에 수직한 방향으로 전기적으로 연결하고,상기 제2 광도전층은 제2 조명 패턴의 광 조사에 의하여 상기 상부 도전 패턴 또는 상기 제1 광도전층과 상기 기판에 수직한 방향으로 전기적으로 연결되어 상기 제2 광도전층 상에 배치된 대상물에 전기 배선을 제공하는 것을 특징으로 하는 광도전 전기 배선 칩
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13
제12 항에 있어서,상기 상부 도전 패턴들은 제1 방향 및 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 매트릭스 형태로 배열되고,상기 하부 도전 패턴들은 상기 상부 도전 패턴들이 교차하는 교점에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 광도전 전기 배선 칩
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14
제12 항에 있어서,상기 하부 도전 패턴들은 제1 방향 및 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 매트릭스 형태로 배열되고,상기 상부 도전 패턴들은 상기 하부 도전 패턴들이 교차하는 교점에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 광도전 전기 배선 칩
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15
제12 항에 있어서,상기 상부 도전 패턴들 및 상기 하부 도전 패턴들 중에서 적어도 하나는 투명 전도성 물질인 것을 특징으로 하는 광도전 전기 배선 칩
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제12 항에 있어서,상기 상부 도전 패턴들 중에서 최외곽에 배치된 상부 도전 패턴들은 외부 시스템과 전기적 연결을 위한 접속 패드들에 각각 연결된 것을 특징으로 하는 광도전 전기 배선 칩
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17
제12 항에 있어서,상기 하부 도전 패턴들 중에서 최외곽에 배치된 하부 도전 패턴들은 외부 시스템과 전기적 연결을 위한 접속 패드들에 각각 연결된 것을 특징으로 하는 광도전 전기 배선 칩
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18
제12 항에 있어서,상기 하부 도전 패턴들 사이에 배치된 절연층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광도전 전기 배선 칩
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제12 항에 있어서,상기 상부 도전 패턴들 사이에 배치된 절연층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광도전 전기 배선 칩
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20
전기적 연결을 제공 받는 대상물이 안착된 광도전 전기 배선 칩; 및 상기 광도전 전기 배선 칩에 재구성 가능한 전기 배선을 제공하는 조명 패턴 제공부를 포함하고,상기 광도전 전기 배선 칩은:기판 상에 서로 이격되어 배치된 복수의 하부 도전 패턴들;서로 이격되어 배치되고 이웃한 하부 도전 패턴들 상에 중첩되도록 배치된 상부 도전 패턴들;상기 하부 도전 패턴들과 상기 상부 도전 패턴들 사이에 개재된 제1 광도전층; 및상기 상부 도전 패턴들 상에 배치된 제2 광도전층을 포함하고,상기 제1 광도전층은 제1 조명 패턴의 광 조사에 의하여 하부 도전 패턴과 상부 도전 패턴을 기판에 수직한 방향으로 전기적으로 연결하고,상기 제2 광도전층은 제2 조명 패턴의 광 조사에 의하여 상기 상부 도전 패턴 또는 상기 제1 광도전층과 상기 기판에 수직한 방향으로 전기적으로 연결되어 상기 제2 광도전층 상에 배치된 대상물에 전기 배선을 제공하는 것을 특징으로 하는 재구성 가능한 광도전 전기 배선 장치
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21
제20 항에 있어서,상기 조명 패턴 제공부는:상기 제1 조명 패턴을 생성하기 위하여 주기적으로 제1 조명 광을 생성하는 제1 광원;상기 제2 조명 패턴을 생성하기 위하여 주기적으로 제2 조명 광을 생성하는 제2 광원;상기 제1 조명 광과 상기 제2 조명 광에 동일한 광경로를 제공하는 광 결합기;상기 광 결합기를 통하여 제공받은 상기 제1 조명 광과 상기 제2 조명 광을 시분할하여 상기 제1 조명광을 이용하여 상기 제1 조명 패턴을 형성하고 상기 제2 조명 광을 이용하여 상기 제2 조명 패턴을 형성하는 공간 변조부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광도전 전기 배선 장치
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