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서로 마주보는 제1 및 제2 기판들;상기 제1 및 제2 기판들 사이에서, 상기 제1 기판 상에 위치되고, 긴 유기 리간드가 짧은 리간드로 치환된 은 나노 입자를 포함하는 제1 전극; 상기 제1 전극 및 상기 제2 기판 사이에서, 상기 제2 기판 상에 위치되는 제2 전극; 및상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에서, 상기 제1 전극 상에 위치되고, 상기 제2 전극에서 상기 제1 전극을 향하는 두께방향으로 관통하는 적어도 하나의 에어 갭을 갖는 절연 층을 포함하는 압력 측정 장치
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제1항에 있어서, 상기 짧은 리간드는, Cl, SCN, Br, ethanedithiol (EDT), 또는 mercaptopropionic acid (MPA) 리간드인 압력 측정 장치
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제2항에 있어서, 상기 제1 전극은:상기 긴 유기 리간드가 ethanedithiol (EDT)로 치환된 은 나노 입자를 포함하는 제1 치환 층; 및상기 제1 치환 층, 및 상기 절연 층 사이에 위치되고, 상기 긴 유기 리간드가 Cl 또는 Br으로 치환된 은 나노 입자를 포함하는 제2 치환 층을 포함하는 압력 측정 장치
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제3항에 있어서, 상기 절연 층은, 상기 긴 유기 리간드를 갖는 은 나노 입자를 포함하는 압력 측정 장치
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제1항에 있어서, 상기 제1 기판은:상기 제2 기판과 마주보는 제1 면; 상기 제1 면의 반대 면인 제2 면; 및상기 제1 면으로부터 상기 제2 면을 향해 함몰 형성되는 복수의 노치 홈들을 포함하는 압력 측정 장치
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제1 기판을 준비하는 것;제1 기판 상에 긴 유기 리간드를 갖는 은 나노 입자를 포함하는 제1 예비 전극 층을 형성하는 것;상기 제1 예비 전극 층에 포함된 상기 긴 유기 리간드를 짧은 리간드로 치환하여 제1 전극으로 형성하는 것;상기 제1 전극 상에 상기 긴 유기 리간드를 갖는 은 나노 입자를 포함하는 절연 층을 형성하는 것; 및상기 절연 층에 상기 제1 전극을 노출시키는 적어도 하나의 에어 갭을 형성하는 것을 포함하는 압력 측정 장치의 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 제1 전극을 형성하는 것은: 상기 짧은 리간드를 포함하는 리간드 치환 용액을 상기 제1 예비 전극 층 상에 떨어뜨리거나, 상기 리간드 치환 용액에 상기 제1 예비 전극 층을 침지하여, 상기 긴 유기 리간드를 상기 짧은 리간드로 치환하는 압력 측정 장치의 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 짧은 리간드는, Cl, SCN, Br, ethanedithiol (EDT), 또는 mercaptopropionic acid (MPA) 리간드인 압력 측정 장치의 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 제1 전극을 형성하는 것은:상기 긴 유기 리간드를 EDT로 치환하여 제1 치환 층을 형성하는 것;상기 긴 유기 리간드를 갖는 상기 은 나노 입자를 상기 제1 치환 층 상에 코팅하여, 제1 치환 층 상에 제2 예비 전극 층을 형성하는 것; 및상기 제2 예비 전극 층에 포함된 상기 은 나노 입자의 상기 긴 유기 리간드를 Cl 또는 Br으로 치환하여 제2 치환 층을 형성하는 것을 포함하는 압력 측정 장치의 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 제1 기판을 준비하는 것은, 상기 제1 기판 상에 자기조립 단분자 층(self-assembled monolayers, SAM)을 형성하는 것을 포함하고, 상기 제1 예비 전극 층은 상기 자기조립 단분자 층 상에 형성되는 압력 측정 장치의 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 제1 기판은 제1 면과 상기 제1 면의 반대면인 제2 면을 포함하고, 상기 제1 기판을 준비하는 것은, 상기 제1 면으로부터 상기 제2 면을 향해 함몰된 복수의 노치 홈들을 형성하는 것을 포함하는 압력 측정 장치의 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 에어 갭이 형성되기 전 또는 상기 에어 갭이 형성된 후에, 제2 기판 상에 제2 전극을 형성하는 것; 및상기 에어 갭이 형성된 후에, 상기 제2 전극 상에 상기 절연 층을 위치시키는 것을 더 포함하는 압력 측정 장치의 제조 방법
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13
제6항에 있어서, 상기 제1 예비 전극 층을 형성하는 것은, 상기 은 나노 입자를 포함하는 용액을 상압에서 저온 용액공정을 통해 상기 제1 기판 상에 코팅하는 것을 포함하고, 상기 절연 층을 형성하는 것은, 상기 은 나노 입자를 포함하는 용액을 상압에서 저온 용액 공정을 통해 상기 제1 전극 상에 코팅하는 것을 포함하는 압력 측정 장치의 제조 방법
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